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    • 9. 发明申请
    • SENSOR ZUR DETEKTION ELEKTRISCH LEITFÄHIGER UND/ODER POLARISIERBARER PARTIKEL, SENSORSYSTEM, VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES SENSORS UND VERWENDUNG EINES DERARTIGEN SENSORS
    • 传感器,用于检测导电性和/或颗粒极化,传感器系统,方法操作此类传感器的传感器和使用
    • WO2017186840A1
    • 2017-11-02
    • PCT/EP2017/060037
    • 2017-04-27
    • HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH
    • ASMUS, TimWIENAND, KarlheinzDIETMANN, StefanKUNZ, Martin
    • G01N15/06G01N15/00
    • Die Erfindung betrifft einen Sensor (10) zur Detektion elektrisch leitfähiger und/oder polarisierbarer Partikel, insbesondere zur Detektion von Rußpartikel, umfassend ein Substrat (11), wobei auf mindestens einer Seite des Substrates (11) mittelbar oder unmittelbar - in einer ersten Ebene (E1) ein erster strukturierter Isolator (20), - in einer zweiten Ebene (E2) eine erste strukturierte Elektrodenschicht (31), - in einer dritten Ebene (E3) ein zweiter strukturierter Isolator (21) und - in einer vierten Ebene (E4) eine zweite strukturierte Elektrodenschicht (32) derart angeordnet sind, dass in mindestens einer strukturierten Elektrodenschicht (31, 32) und/oder einem strukturierten Isolator (20, 21) mindestens eine Öffnung (25, 26, 35, 36) ausgebildet ist, die für die zu detektierenden Partikel (30, 30') zugänglich ist, wobei die Elektrodenschichten (31, 32) jeweils mindestens zwei Elektroden (40, 40', 41, 41') oder mindestens zwei Leiterbahnen (38, 39) oder eine Kombination aus mindestens einer Elektrode und mindestens einer Leiterbahn aufweisen.
    • 本发明涉及的传感器(10),用于检测导电BEAR海格和/或可极化颗粒,特别是用于检测孺ROAD粒子的方法,包括在基板(11),所述基板的其特征在于,在至少一个侧 (11)直接或间接地 - 在第一平面(E1),第一结构化绝缘体(20), - 在第二平面(E2)的第一图案化电极层(31), - 在第三平面(E3),第二图案化绝缘体 (21),以及 - 在第四平面(E4)的第二图案化电极层(32)被布置成使得在至少一个结构化电极层(31,32)和/或图案化的绝缘体(20,21)的至少一个Ö开口 (25,26,35,36)形成,在F导航用R来检测(30,30 ')列车BEAR是可访问的,其中,所述电极层(31,32)的至少两个电极(40,40',41中的颗粒 ,41')或至少两个印刷导体(3 8,39)或至少一个电极和至少一个轨道的组合。