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    • 4. 发明专利
    • HALBLEITERLASERELEMENT UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR
    • DE112009003719T5
    • 2012-08-16
    • DE112009003719
    • 2009-12-10
    • FURUKAWA ELECTRIC CO LTD
    • TAKAKI KEISHIIWAI NORIHIROISHII HIROTATSUIMAI SUGURUTANABE KINUKASHIMIZU HITOSHI
    • H01S5/183
    • Ein Halbleiterlaserelement ist ausgestattet mit einer ersten und zweiten Elektrode, einem ersten und zweiten Reflexionsspiegel und einem Resonator, der zwischen dem ersten und zweiten Reflexionsspiegel angeordnet ist, und ist mit einer aktiven Schicht, einer Strombegrenzungsschicht mit einem ersten Bereich, in dem ein Strom fließt, und einem zweiten Bereich, in dem ein Stromfluss blockiert wird, einer ersten Halbleiterschicht, die auf der auf der Strombegrenzungsschicht auf der der aktiven Schicht entgegengesetzten Seite ausgebildet ist, und einer zweiten Halbleiterschicht versehen, die zwischen der ersten Halbleiterschicht und der Strombegrenzungsschicht ausgebildet ist. Die erste Halbleiterschicht hat auf der der Strombegrenzungsschicht entgegengesetzten Seite eine Fläche und ist mit einer ersten Zone, die dem ersten Bereich der Strombegrenzungsschicht zugewandt ist, und einer zweiten Zone versehen, die dem zweiten Bereich der Strombegrenzungsschicht zugewandt ist. Eine erste Elektrode ist in Kontakt mit zumindest einem Teil der einen Fläche der zweiten Zone der ersten Halbleiterschicht vorgesehen, und die erste Halbleiterschicht besitzt einen Diffusionsbereich, in dem die Komponente der ersten Elektrode oder zumindest ein Teil der Komponenten der ersten Elektrode in die erste Halbleiterschicht diffundiert. Die zweite Halbleiterschicht hat eine höhere Dotierungskonzentration als die erste Halbleiterschicht, ist in Kontakt mit dem Diffusionsbereich der ersten Halbleiterschicht und erstreckt sich von dem Bereich, in dem die zweite Halbleiterschicht mit dem Diffusionsbereich in Kontakt ist, zu der Position, an der die zweite Halbleiterschicht dem ersten Bereich der Strombegrenzungsschicht zugewandt ist.
    • 5. 发明专利
    • Zweidimensionales, oberflächenemittierendes Laser-Anordnungselement, oberflächenemittierende Lasereinrichtung und Lichtquelle
    • DE112010000821T5
    • 2012-05-31
    • DE112010000821
    • 2010-01-20
    • FURUKAWA ELECTRIC CO LTD
    • ISHII HIROTATSUSHIMIZU HITOSHIIWAI NORIHIROTAKAKI KEISHI
    • H01S5/42
    • Enthalten sind mehrere oberflächenemittierende Laserelemente, die jeweils enthalten, ein Substrat; einen unteren Spiegel mit vielschichtigem reflektierenden Film und einen oberen Spiegel mit vielschichtigem reflektivem Film, die auf dem Substrat ausgebildet sind und aus einer periodischen Struktur einer Schicht mit hohem Brechungsindex und einer Schicht mit niedrigem Brechungsindex ausgebildet sind; eine aktive Schicht, die zwischen dem unteren Spiegel mit mehrschichtigem reflektivem Film und dem oberen Spiegel mit mehrschichtigem reflektivem Film zur Verfügung gestellt ist; eine untere Kontaktschicht, die zwischen der aktiven Schicht und dem unteren Spiegel mit vielschichtigem reflektivem Film angeordnet ist, und die zu einer äußeren peripheren Seite des oberen Spiegels mit vielschichtigem reflektivem Film erstreckt ist; eine untere Elektrode, die auf einer Oberfläche eines Abschnitts ausgebildet ist, wohin die untere Kontaktschicht erstreckt ist; und eine obere Elektrode zum Injizieren eines Stromes in die aktive Schicht, wobei die oberflächenemittierenden Laserelemente elektrisch in Serie bzw. in Reihe aneinander angeschlossen sind, um eine seriell angeschlossene Elementanordnung auszubilden. Dies ermöglicht die Bereitstellung eines zweidimensionalen oberflächenemittierenden Laserarrayelements, das dazu in der Lage ist, eine hohe Energiewandlungseffizienz mit einer einfachen Struktur und der Fähigkeit zu einer hohen Integration und eine oberflächenemittierende Lasereinrichtung und eine Lichtquelle, die diese verwendet, zu erzielen.