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1. 发明申请

WO2018087326A1 BESCHICHTUNGSVERFAHREN, BESCHICHTUNGSEINRICHTUNG UND BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：涂层工艺，涂层装置和部件
公开(公告)号：WO2018087326A1
公开(公告)日：2018-05-17
申请号：PCT/EP2017/078947
申请日：2017-11-10
申请人： EMDE, Thomas
发明人： KOWALSKY, Wolfgang , FRANKE, Sebastian , MONTZKA, Sebastian , SCHMIDT, Hans , NOWAK, Christine , WOLF, Lisa , FÜNDLING, Sönke
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/046 , C23C14/12 , C23C14/24
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrats (1) mit einem Beschichtungsmaterial (8), wobei das Beschichtungsmaterial (8) von einer Materialabgabeeinrichtung (7) an einer Materialabgabestelle (11) abgegeben wird, einen Transportbereich (5) von der Materialabgabestelle (11) zu einer zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) zurücklegt und sich an der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) abscheidet, mit folgenden Schritten: a) Eliminieren von für den Beschichtungsprozess unerwünschten gasförmigen Medien (34) zumindest im Bereich der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1), der Materialabgabestelle (11) und des dazwischen liegenden Transportbereichs (5), b) Einbringen eines für den Beschichtungsprozess gewünschten gasförmigen Mediums (4, 33) in den Transportbereich (5) mit einem Druck im Bereich von 10 -5 mbar bis 10 -1 mbar, c) Abgeben des Beschichtungsmaterials (8) von der Materialabgabestelle (11), während sich das gewünschte gasförmige Medium (4, 33) im Transportbereich (5) in dem im Merkmal b) angegebenen Druckbereich befindet, wobei das Beschichtungsmaterial (8) den Transportbereich (5) zu der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) zurücklegt und sich an der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) abscheidet, ohne dass das gewünschte gasförmige Medium (4, 33) ein Trägergas für das Beschichtungsmaterial (8) bildet. Die Erfindung betrifft ferner eine Beschichtungseinrichtung zur Beschichtung eines Substrats mit einem Beschichtungsmaterial gemäß Anspruch 14 sowie ein Bauteil mit einem Substrat.
摘要翻译：
本发明涉及一种用于用涂覆材料（8），其中所述涂层材料（8）由一个材料排出装置（7）到材料排出点（11）被释放时，一个传输区域涂覆基材（1）（5）从材料排出点（11）要被涂覆的表面BEAR表面（2）的基板（1）导航使用cklegt和待涂表面上的承受沉积表面（2）的基板（1），包括以下步骤：一）消除˚F导航用途r是涂敷处理不需要的导航用途nschten气态＆oUML;至少在表面＆AUML的面积形介质（34），待涂覆;枝（2）在基板（1），该材料排出点（11）和中间输送部（5） b）将A F导航用途r为涂覆过程GEW导航用途nschten气态＆oUML;在传输部形介质（4，33）（5）与在10的范围内的压力^{-5 毫巴至10 ^{-1 mbar，c）提交Beschic htungsmaterials（8）的材料排出点（11）的，瓦特BEAR而重量导航用途WANTED位于运架区气态WAVY介质（4，33））（5）其中，特性b所示的压力范围，其中该涂层材料（8）至将衬底（1）的待涂覆表面（2）的并且粘附到衬底（1）的待涂覆表面（2）的传输区域（5）沉积而没有期望的气体介质（4,33）形成用于涂层材料（8）的载气。本发明还涉及用于根据本发明用涂料涂覆基材的涂布装置。权利要求14和一种带有衬底的组件。}}

2. 发明申请

WO2018086885A1 BESCHICHTUNGSVERFAHREN, BESCHICHTUNGSEINRICHTUNG UND BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：涂层工艺，涂层装置和部件
公开(公告)号：WO2018086885A1
公开(公告)日：2018-05-17
申请号：PCT/EP2017/077263
申请日：2017-10-25
申请人： EMDE, Thomas
发明人： FRANKE, Sebastian , NOWAK, Christine , MONTZKA, Sebastian , WOLF, Lisa , SCHMIDT, Hans , FÜNDLING, Dr. Ing. Sönke , KOWALSKY, Prof. Wolfgang
IPC分类号： H05B3/00 , C23C14/04 , C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/30
CPC分类号： C23C14/26 , C23C14/046 , C23C14/246 , C23C14/30
摘要： Die Erfindung betrifft eine Beschichtungseinrichtung zur Beschichtung eines Substrats (1) mit einem Beschichtungsmaterial (4), wobei die Beschichtungseinrichtung auf- weist: a) wenigstens eine Materialabgabeeinrichtung (5, 6) mit wenigstens einer Materialab- gabestelle (6), die zur Abgabe des Beschichtungsmaterials (4) eingerichtet ist, b) wenigstens eine Verdampfungseinrichtung (7, 8, 9), die zur Überführung des Be- schichtungsmaterials (4) von einem nichtgasförmigen Zustand in einen gasförmi- gen Zustand eingerichtet ist, dadurch gekennzeichnet, dass c) die wenigstens eine Verdampfungseinrichtung (7, 8, 9) wenigstens ein im Bereich der Materialabgabestelle (6) angeordnetes Glühelement (7) aufweist, das mittels durch das Glühelement (7) fließendem elektrischen Strom in einen glühenden Zu- stand versetzbar ist, d) das Glühelement (7) wenigstens mit einem ersten und einem zweiten Spannungs- versorgungsanschluss (12, 13) der Beschichtungseinrichtung elektrisch verbunden ist, wobei der erste und der zweite Spannungsversorgungsanschluss (12, 13) zum Anschluss einer ersten Spannungsversorgungseinrichtung (16) eingerichtet sind, um einen elektrischen Stromfluss in dem Glühelement (7) zu bewirken, e) das Beschichtungsmaterial (4) wenigstens mit einem dritten Spannungsversor- gungsanschluss (14) der Beschichtungseinrichtung elektrisch verbunden ist, wobei der dritte Spannungsversorgungsanschluss (14) zum Anschluss einer zweiten Spannungsversorgungseinrichtung (17) eingerichtet ist, um ein elektrisches Poten- tial am Beschichtungsmaterial (4) zu bewirken, das höher ist als das am Glühele- ment (7) anliegende elektrische Potential, um einen elektrischen Stromfluss in dem Beschichtungsmaterial (4) zu bewirken. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrats mit einem Beschichtungsmaterial sowie ein Bauteil mit einem Substrat.
摘要翻译：本发明涉及一种用涂覆材料（4）涂覆基材（1）的涂覆装置，其中涂覆装置包括：a）至少一个材料排出装置（5,6），其具有至少一个材料排出点（6），其布置成分配涂料（4）; b）至少一个蒸发装置（7,8,9），其适于将涂料（4）从不含气体的状态转移到 c）所述至少一个蒸发装置（7,8,9）具有布置在所述材料排放点（6）的区域中的至少一个螺旋（7），所述螺旋通过所述玻璃传送。（7）可以设置为发光状态，d）螺旋线（7）至少具有Bes的第一和第二电压源连接（12,13） chichtungseinrichtung电连接，其中所述第一和第二电源端子（12，13）适于连接到第一电压供应装置（16），以在胃肠导航中使用的电流流动以引起helement（7）中，e）将涂料（4）至少涂布装置的一个第三电源端子（14）电连接，其中，所述第三电压提供端（14），用于连接第二电源装置（17）适于在所述涂覆材料（4）H＆oUML实现电poten- TiAl金属施加在发光元件（7）上的电子电位是向前的，以便引起电流在涂层材料（4）中流动。本发明另外涉及用涂料涂覆基材的方法和具有基材的组分

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