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    • 7. 发明专利
    • KR102239182B1 - POLISHING COMPOSITIONS FOR Fe-Ni ALLOY FOIL AND POLISHING METHOD USING THE SAME
    • KR102239182B1
    • 2021-04-12
    • KR1020190069989A
    • 2019-06-13
    • 주식회사 포스코
    • 이재륭
    • C09G1/18B24B31/00B24B37/015C09G1/04
    • C09G1/18B24B31/003B24B37/015C09G1/04
    • 본 발명은 과산화수소 0.1 내지 10중량%, 과황산염 0.1 내지 3.0 중량%, 황산 0.01 내지 3.0 중량%, 유기산 0.1 내지 2.0 중량%, 불소 함유 화합물 0.01 내지 2.0 중량%, 안정제 0.05 내지 3.0 중량% 및 잔부 물을 포함하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 압연법 또는 전주법에 의해 제조된 철-니켈 합금 포일의 표면 조도 및 표면 균일성을 최적화하고, 유기발광 다이오드용 미세패턴 금속마스크(Fine Metal Mask)를 제조할 수 있는 연마 조성물이 제공된다. 본 발명에 따른 연마 조성물은 색변화 없이 맑은 상태를 유지하는 것으로 용액 안정성이 우수하며, 환경규제 물질을 포함하고 있지 않으므로, 폐액 처리시에도 안전하다. 또한, 본 발명에 따른 연마 조성물은 높은 철 및 니켈 농도에서도 안정하며, 연마율의 변화가 적으므로 같은 양의 연마액으로 처리할 수 있는 소재의 면적이 증가된되며, 이에 따라 연마액의 교체 시기를 연장하여 보다 경제적인 화학 연마 조성물을 제공할 수 있다. 나아가, 본 발명에 따른 연마 조성물 및 연마방법으로 철-니켈 합금 포일을 화학 연마함으로써, 표면 조도 및 표면 균일성이 우수한 철-니켈 합금 포일을 용이하게 제조할 수 있다. 또한, 낮은 표면 조도 및 이물, 스머트(smut) 및 금속 파티클 등이 없고, 표면 균일성이 우수한 철-니켈 합금 포일을 저비용으로 제조할 수 있으므로 상업적 가치가 우수하다.