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1. 发明专利

TWI689039B 具有最小交擾的熱隔絕區之靜電夾盤有权
简体标题：具有最小交扰的热隔绝区之静电夹盘
公开(公告)号：TWI689039B
公开(公告)日：2020-03-21
申请号：TW108102874
申请日：2014-05-07
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：帕克維傑D , PARKHE, VIJAY D. , 馬可拉契夫空斯坦汀 , MAKHRATCHEV, KONSTANTIN , 戴拉羅沙傑森 , DELLA ROSA, JASON , 挪貝克許哈密 , NOORBAKHSH, HAMID , 梅斯貝德L , MAYS, BRAD L. , 布希博格二世道格拉斯A , BUCHBERGER JR., DOUGLAS A.
IPC分类号： H01L21/687

2. 实用新型

TWM599470U 用於電漿處理腔室中之基板支撐件的邊緣環組合件有权
简体标题：用于等离子处理腔室中之基板支撑件的边缘环组合件
公开(公告)号：TWM599470U
公开(公告)日：2020-08-01
申请号：TW109205200
申请日：2019-06-14
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：挪貝克許哈密 , NOORBAKHSH, HAMID , 胡沙因安瓦爾 , HUSAIN, ANWAR , 若林萊恩 , WAKABAYASHI, REYN
IPC分类号： H01J37/32 , H01J37/20 , H01J23/46 , H01L21/3065 , H01L21/687 , H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/02

3. 实用新型

TWM588358U 電漿篩設備，及包含其之基板支撐件設備和處理腔室有权
简体标题：等离子筛设备，及包含其之基板支撑件设备和处理腔室
公开(公告)号：TWM588358U
公开(公告)日：2019-12-21
申请号：TW108210495
申请日：2019-06-14
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：挪貝克許哈密 , NOORBAKHSH, HAMID , 胡沙因安瓦爾 , HUSAIN, ANWAR , 若林萊恩 , WAKABAYASHI, REYN
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/3065 , H01L21/02

4. 发明专利

TW201834111A 用於有效氣體分配組件冷卻的具有同心或螺旋通道的兩區域流動冷卻板設計审中-公开
简体标题：用于有效气体分配组件冷却的具有同心或螺旋信道的两区域流动冷却板设计
公开(公告)号：TW201834111A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106140295
申请日：2017-11-21
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：薛卡提克 , SHAH, KARTIK , 霍拉尼夏布拉卡許 , HOLLA, NISHA PRAKASH , 克利堤法桑維傑庫瑪 , KRITHIVASAN, VIJAYKUMAR , 沙布藍尼安納薩K , SUBRAMANI, ANANTHA K. , 挪貝克許哈密 , NOORBAKHSH, HAMID
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683
摘要：一種用於以冷卻板冷卻氣體分配組件的設備和方法。冷卻板具有主體，該主體具有頂表面、外周、中心、內部區域和外部區域。穿過頂表面形成的複數個通道。複數個通道具有第一外部通道和第一內部通道，該第一外部通道具有一個或更多個第一外部通道區段，該第一外部通道經配置而使第一冷卻流體從冷卻流體入口流到冷卻流體出口，該第一內部通道設置在該第一外部通道與該中心之間，該第一內部通道具有一個或更多個第一內部通道區段，該第一內部通道經配置而使第二冷卻流體從冷卻流體入口流至冷卻流體出口，其中相鄰區段中的流在相反方向上。
简体摘要：一种用于以冷却板冷却气体分配组件的设备和方法。冷却板具有主体，该主体具有顶表面、外周、中心、内部区域和外部区域。穿过顶表面形成的复数个信道。复数个信道具有第一外部信道和第一内部信道，该第一外部信道具有一个或更多个第一外部信道区段，该第一外部信道经配置而使第一冷却流体从冷却流体入口流到冷却流体出口，该第一内部信道设置在该第一外部信道与该中心之间，该第一内部信道具有一个或更多个第一内部信道区段，该第一内部信道经配置而使第二冷却流体从冷却流体入口流至冷却流体出口，其中相邻区段中的流在相反方向上。

5. 实用新型

TWM596452U 用於電漿處理腔室中之基板支撐件的邊緣環組合件有权
简体标题：用于等离子处理腔室中之基板支撑件的边缘环组合件
公开(公告)号：TWM596452U
公开(公告)日：2020-06-01
申请号：TW108207580
申请日：2019-06-14
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：挪貝克許哈密 , NOORBAKHSH, HAMID , 胡沙因安瓦爾 , HUSAIN, ANWAR , 若林萊恩 , WAKABAYASHI, REYN
IPC分类号： H01L21/368 , H01L21/3065

6. 发明专利

TW201834108A 具有V形密封帶的陶瓷靜電吸盤审中-公开
简体标题：具有V形密封带的陶瓷静电吸盘
公开(公告)号：TW201834108A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106135236
申请日：2017-10-16
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：挪貝克許哈密 , NOORBAKHSH, HAMID
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683
摘要：本案所述之實施提供包括密封帶的基板支撐組件。密封帶保護設置在靜電吸盤（ESC）和基板支撐組件的冷卻板之間的黏著層。在一個實例中，基板支撐組件包括靜電吸盤和冷卻板。接合層將靜電吸盤的底表面固定於冷卻板的頂表面。接合層具有黏著層和密封帶。密封帶限制並保護黏著層。密封帶具有環形主體。環形主體具有頂表面，該頂表面藉由內表面與外表面連接至底表面。頂表面和底表面與內表面成角度小於85度。外表面具有形成在其中的凹部。
简体摘要：本案所述之实施提供包括密封带的基板支撑组件。密封带保护设置在静电吸盘（ESC）和基板支撑组件的冷却板之间的黏着层。在一个实例中，基板支撑组件包括静电吸盘和冷却板。接合层将静电吸盘的底表面固定于冷却板的顶表面。接合层具有黏着层和密封带。密封带限制并保护黏着层。密封带具有环形主体。环形主体具有顶表面，该顶表面借由内表面与外表面连接至底表面。顶表面和底表面与内表面成角度小于85度。外表面具有形成在其中的凹部。

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