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1. 发明专利

JPWO2020158573A1 バルブ装置、流量制御方法、流体制御装置、半導体製造方法、および半導体製造装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020158573A1
公开(公告)日：2021-12-09
申请号：JP2020002341
申请日：2020-01-23
申请人：株式会社フジキン
发明人：丹野竜太郎 , 吉田俊英 , 土口大飛 , 鈴木裕也 , 近藤研太 , 中田知宏 , 篠原努 , 滝本昌彦
IPC分类号： F16K7/17 , F16K31/02 , F16K37/00
摘要：流量を精密に調整可能なバルブ装置を提供する。ダイヤフラム(20)に流路を閉鎖させる閉位置(CP)とダイヤフラム(20)に流路を開放させる開位置(OP)との間で移動可能に設けられたダイヤフラムを操作する操作部材(40)と、供給される駆動流体の圧力を受けて、前記操作部材を前記開位置又は閉位置に移動させる主アクチュエータ(60)と、開位置に位置付けられた操作部材(40)の位置を調整するための調整用アクチュエータ(100)と、バルブボディ(10)に対する操作部材(40)の変位を検出するための位置検出機構(85)と、を有する。

2. 发明专利

JP6938036B2 濃度検出方法および圧力式流量制御装置有权
公开(公告)号：JP6938036B2
公开(公告)日：2021-09-22
申请号：JP2018542642
申请日：2017-09-27
申请人：株式会社フジキン
发明人：永瀬正明 , 相川献治 , 平田薫 , 今井嵩浩 , 成冨哲央 , 篠原努 , 松田隆博 , 西野功二
IPC分类号： G01N9/26

3. 发明专利

JPWO2020021911A1 バルブ装置、流体制御装置、流体制御方法、半導体製造装置及び半導体製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020021911A1
公开(公告)日：2021-08-02
申请号：JP2019024000
申请日：2019-06-18
申请人：株式会社フジキン
发明人：佐藤龍彦 , 中田知宏 , 篠原努 , 三浦尊
IPC分类号： F16K7/17
摘要：シール性能が改善され、小型化されつつより安定的に大きな流量を制御することのできるバルブ装置を提供する。バルブボディ(2)と、収容凹部(23)内に設けられ第1の流路(21)と連通する筒状部材(3)と、筒状部材(3)に支持されるバルブシート(48)と、収容凹部(23)の底面の第1の流路(21)の開口周囲と筒状部材(3)の下端部との間に介在するシール部材(49)と、バルブボディ(2)の収容凹部(23)の内周面に形成された環状の支持部(24)に気密又は液密に固定されかつ筒状部材(3)の外周面に形成された環状の支持部(37)に気密又は液密に固定され第2の流路(22)と連通する複数の開口を有する可撓性を有する環状プレート(11)と、バルブシート(48)に対して接触しない開位置及び接触する閉位置の間で移動することにより第1の流路(21)と第2の流路(22)との連通及び遮断を行うダイヤフラム(41)と、を有する。

4. 发明专利

JPWO2020003799A1 ダイヤフラムバルブおよびその監視方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020003799A1
公开(公告)日：2021-08-02
申请号：JP2019019635
申请日：2019-05-17
申请人：株式会社フジキン
发明人：鈴木裕也 , 丹野竜太郎 , 土口大飛 , 中村伸夫 , 篠原努
IPC分类号： F16K7/12 , F16J3/02 , F16K37/00
摘要：ダイヤフラムの破損によるダイヤフラムバルブ内の流体が外部に漏出するのを未然に回避できるダイヤフラムバルブを提供する。流体が流通する流路(11)と、当該流路の途中で外部に開口する開口部(12)とを画定するバルブボディ(10)と、開口部(12)を覆いつつ流路(11)と外部とを隔て、かつ、流路(11)の断面積を変更する可撓性隔壁部材(21)と、可撓性隔壁部材(21)の流路側とは反対の裏面側に配置された可撓性支持部材(22)と、バルブボディ(10)に可撓性隔壁部材(21)および可撓性支持部材(22)の周縁部を介して固定されるハウジング(41)と、可撓性支持部材(22)およびハウジング(41)の内面が画定する空間内の雰囲気の状態またはその変化を検出する湿度センサ(100)とを有する。

5. 发明专利

JP2021071165A 流体制御装置および半導体製造装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021071165A
公开(公告)日：2021-05-06
申请号：JP2019198284
申请日：2019-10-31
申请人：株式会社フジキン
发明人：相川献治 , 松田隆博 , 稲田敏之 , 渡辺一誠 , 茂木雄太 , 中田知宏 , 篠原努
IPC分类号： F16K27/00
摘要：【課題】小型化、集積化を実現しつつ供給流量も確保できる流体制御装置を提供する。【解決手段】標準規格サイズの幅Wを有しかつ第1方向A1、A2に沿って配置された複数の継手ブロックからなる第1ブロック列BA1、BA2および第2ブロック列BA3、BA4が、第1方向に直交する第2方向B1、B2に所定間隔で配列された流体制御装置であって、第1ブロック列BA1、BA2を構成する複数の継手ブロックの各々は、単一ラインLを形成するための大径流路を有し、第2ブロック列BA3、BA4を構成する複数の継手ブロックの各々は、第1ラインL1および第2ラインL2を形成するための、大径流路よりも小径の小径流路を有する。【選択図】図4

6. 发明专利

JPWO2019087879A1 流路アセンブリおよびバルブ装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019087879A1
公开(公告)日：2020-12-17
申请号：JP2018039424
申请日：2018-10-24
申请人：株式会社フジキン
发明人：渡辺一誠 , 執行耕平 , 相川献治 , 中田知宏 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K27/00 , F16K27/02 , F16K7/16 , F16L55/00
摘要：オリフィスやフィルター等の機能部品が組み込まれた流路アセンブリであって、機能部品と流路を画定する流路部品との間が長期間確実に密封された流路アセンブリを提供する。流路部材(51,52)の対向面(51f,52f)の外側において流路部材(51,52)の間に介在する環状の弾性部材(54)を有し、流路部材(52)はカシメ部(52e_c)を有し、カシメ部(52e_c)は流路部材(51,52)とプレート状部材とを一体化し、対向面(51f,52f)の一方が対向面(51f,52f)の他方に向かうように流路部材(52)に力を及ぼし、プレート状部材であるオリフィスプレート(53)と対向面(51f,52f)との間をシールし、弾性部材(54)は、流路部材(51,52)の間で圧し潰されて流路部材(51,52)の間をシールする。

7. 发明专利

JPWO2019111846A1 工具、作業管理装置、作業管理方法及び作業管理システム审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019111846A1
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：JP2018044357
申请日：2018-12-03
申请人：コネクテックジャパン株式会社 , 株式会社フジキン
发明人：堀川和俊 , 根橋徹 , 町田秀和 , 下石坂望 , 原田章弘 , 落石将彦 , 大和義昭 , 軽部浩樹 , 小艾睦典 , 篠原努
IPC分类号： G05B19/418 , B25B23/14
摘要：【課題】組み立てに多数の締結部品を要し、かつ、締結部品にアクセスできるスペースが狭い流体制御装置のような装置における締結部品の締付作業に適しかつ締付トルクの検出が自動化されたトルクセンサ付きの工具を提供する。【解決手段】ビット(20)に作用する締結部品を締め付ける締付トルクを検出可能なトルクセンサ(30)を備える工具(1)であって、トルクセンサ(30)は、検出される締付トルクが設定閾値Thを越えると締付トルクの測定を開始し、検出される締付トルクが設定閾値Thよりも下がり、かつ、設定時間T1を経過すると測定を終了し、測定開始から測定終了までの間の測定データに基づいて形成されかつ測定時刻を含むトルク関連データを出力する。トルク関連データは、測定データの中のピーク値を含む。

8. 发明专利

JPWO2019003900A1 バルブ装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019003900A1
公开(公告)日：2020-05-21
申请号：JP2018022440
申请日：2018-06-12
申请人：株式会社フジキン
发明人：相川献治 , 篠原努 , 松田隆博
IPC分类号： H02N2/18 , F16K7/17
摘要：【課題】各種電子機器を搭載可能で、配線や電池交換の問題が解消された発電機能を有するガス駆動式のバルブ装置を提供する。【解決手段】筐体部10,11と、駆動流体により駆動されて弁体を閉方向又は開方向に移動させる筐体部10,11に収容された可動部13とを有するアクチュエータ7と、可動部13を駆動流体の駆動力に抗する方向に付勢するばね部材30と、圧電素子の圧電効果を利用した、アクチュエータ7の作動により生じる振動系の振動を電力に変換する発電機能と装置に加わる振動を抑制する制振機能とを備える発電制振ユニット100とを有する。【選択図】図1C

9. 发明专利

JP6694618B2 流体制御装置有权
公开(公告)号：JP6694618B2
公开(公告)日：2020-05-20
申请号：JP2018524085
申请日：2017-06-19
申请人：株式会社フジキン
发明人：相川献治 , 篠原努 , 中川一 , 松田隆博 , 原田章弘
IPC分类号： F16K27/00

10. 发明专利

JP2020052648A 流量制御装置および流量制御方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020052648A
公开(公告)日：2020-04-02
申请号：JP2018180516
申请日：2018-09-26
申请人：株式会社フジキン
发明人：木村純 , 篠原努
IPC分类号： G05D7/06
摘要：【課題】検出した圧力にフィルタリング処理を施すことなく、目標流量の変更に素早く流量が追従し、かつ流量のオーバーシュートやアンダーシュートが抑制された流量制御装置を提供する。【解決手段】制御弁2と、流体抵抗要素としてのオリフィス5hと、上流側圧力センサ31と、下流側圧力センサ32と、オリフィス5hを通過する流体の流量を計量する流量計量部11と、流量計量部11で計量される流量が制御弁2により制御されるべき目標流量TAに追従するように制御弁2を制御するフィードバック制御部12と、を有する流量制御装置1であって、流量計量部11は、検出された一次側圧力P1および二次側圧力P2を使用して流量Q1を計量する計量部11Aと、流量Q1を二次側圧力P2の時間変化に基づいて算出される補正流量Q2で補正する補正部11Bと、を有する。【選択図】図1

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