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    • 9. 发明申请
    • 有機分子検出素子および有機分子検出装置
    • 有机分子检测元件和有机分子检测装置
    • WO2004038398A1
    • 2004-05-06
    • PCT/JP2003/013133
    • 2003-10-14
    • 株式会社ニコン八木 健
    • 八木 健
    • G01N27/414
    • G01N27/4145
    • 本発明は、有機分子の検出に用いられる素子などにおいて、作業効率の向上と検出装置の小型化および簡素化とを実現すると共に、検出感度を向上させることを目的とする。そのため、半導体基板11の主面に一対の電極領域21,22を設ける。また、半導体基板の主面に形成された絶縁膜12,13と、絶縁膜を介して電極領域の間の主面側の所定領域11aを覆うように形成された金属膜17と、金属膜の表面に配置された有機分子の固定領域19とを含むようにする。所定領域11aには、少なくとも固定領域19に有機分子が固定されたとき、該固定された有機分子の帯電量に応じて電流経路が形成される。
    • 用于检测有机分子的元素,其可以提高工作效率,减小尺寸并简化检测装置,并提高检测灵敏度。 该元件包括设置在半导体衬底(11)的主表面上的一对电极区域(21,22),形成在半导体衬底的主表面上的绝缘膜(12,13),形成的金属膜 通过绝缘膜以覆盖主表面侧和电极区域之间的特定区域(11a)以及设置在金属膜表面上的区域(19)以固定有机分子。 根据固定在至少固定区域(19)中的那些有机分子的带电量,在指定区域(11a)中形成电流路径。