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    • 9. 发明专利
    • 超純水製造方法および超純水製造装置
    • 生产超声波水的方法和装置
    • JP2016005829A
    • 2016-01-14
    • JP2014127312
    • 2014-06-20
    • 栗田工業株式会社
    • 田中 洋一森田 博志
    • C02F1/78C02F1/72C02F9/00C02F1/42C02F1/32
    • 【課題】TOC濃度の低い超純水を低コストにて製造することができ、またUVの過剰照射を防止することができる超純水製造方法及び装置を提供する。 【解決手段】被処理水に紫外線を照射して第1処理水を生成させ、この第1処理水をイオン交換処理して第2処理水を生成させ、第1処理水中の過酸化水素濃度又は第2処理水中のTOC濃度に基づいて紫外線の照射量を制御する超純水製造方法及び装置において、第1処理水又は第2処理水中の難分解性及び易分解性のTOCと易分解性TOCとの差が設定した値以上となったときに、紫外線の照射量を減少させる処理、及び、被処理水に対して難分解性TOC成分の分解及び/又は除去処理の少なくとも一方を行う。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:为了提供一种制造超纯水的方法和装置,可以低成本地制造具有低TOC(总有机碳)浓度的超纯水,并且可以防止紫外线的过度照射。 :超纯水的制造方法包括以下步骤:用紫外线照射待处理的水以产生第一处理水; 对第一处理水进行离子交换处理以产生第二处理水; 并且基于第一处理水的过氧化氢浓度或第二处理水的TOC浓度来控制紫外线的照射剂量。 当难分解TOC和第一处理水或第二处理水中容易分解的TOC和容易分解的TOC中的TOC之间的差异变为预设值或更大时,至少一种处理 进行紫外光的照射剂量的降低,分解和/或去除待处理水中难分解的TOC成分。