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1. 发明专利

TW201826439A 晶圓支承裝置以及晶圓處理裝置审中-公开
简体标题：晶圆支承设备以及晶圆处理设备
公开(公告)号：TW201826439A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106135802
申请日：2017-10-19
申请人：普雷帝克股份有限公司 , PRE-TECH CO., LTD.
发明人：古閑哲二 , KOGA, TETSUJI , 原田康之 , HARADA, YASUYUKI
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/304
摘要：提供一種晶圓支承裝置，能防止藥液對桌台內部的侵入，再者，能防止因晶圓滑移所產生的噴濺。一種晶圓支承裝置，係水平地支承晶圓，並使晶圓旋轉，該晶圓支承裝置包含：桌台，包括上桌台以及支撐上桌台的桌台本體；複數支夾持銷，於上桌台的上表面以圍繞晶圓的方式而配置，自側面支承晶圓；以及桌台支撐軸，其中夾持銷相對於回轉軸而偏心地立設於可旋轉的夾持從動部之上，該夾持從動部收納在該上桌台的內部，且於內部收納有磁鐵，夾持驅動部則與該夾持從動部非接觸地收納在桌台本體內的夾持從動部的下方的對應位置。
简体摘要：提供一种晶圆支承设备，能防止药液对桌台内部的侵入，再者，能防止因晶圆滑移所产生的喷溅。一种晶圆支承设备，系水平地支承晶圆，并使晶圆旋转，该晶圆支承设备包含：桌台，包括上桌台以及支撑上桌台的桌台本体；复数支夹持销，于上桌台的上表面以围绕晶圆的方式而配置，自侧面支承晶圆；以及桌台支撑轴，其中夹持销相对于回转轴而偏心地立设于可旋转的夹持从动部之上，该夹持从动部收纳在该上桌台的内部，且于内部收纳有磁铁，夹持驱动部则与该夹持从动部非接触地收纳在桌台本体内的夹持从动部的下方的对应位置。

2. 发明专利

TW201828398A 晶圓支承裝置以及晶圓處理裝置审中-公开
简体标题：晶圆支承设备以及晶圆处理设备
公开(公告)号：TW201828398A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106135803
申请日：2017-10-19
申请人：普雷帝克股份有限公司 , PRE-TECH CO., LTD.
发明人：古閑哲二 , KOGA, TETSUJI , 原田康之 , HARADA, YASUYUKI
IPC分类号： H01L21/683
摘要：一種晶圓支承裝置，係水平地支承晶圓，並使所支承的該晶圓能旋轉，該晶圓支承裝置包含：桌台，將該晶圓支承於上方；複數支夾持銷，於該桌台的上表面以圍繞於該晶圓的方式而配置，而與該晶圓的側面接觸，且能自側面支承該晶圓；夾持銷旋轉機構，以貫通該桌台上表面的方式配設於該桌台內，能旋轉且該夾持銷在該夾持銷旋轉機構的上部以相對於旋轉軸而偏心地立設；制動機構，能制動該夾持銷旋轉機構的旋轉；以及桌台支撐軸，自下方支撐該桌台，能使該桌台旋轉。
简体摘要：一种晶圆支承设备，系水平地支承晶圆，并使所支承的该晶圆能旋转，该晶圆支承设备包含：桌台，将该晶圆支承于上方；复数支夹持销，于该桌台的上表面以围绕于该晶圆的方式而配置，而与该晶圆的侧面接触，且能自侧面支承该晶圆；夹持销旋转机构，以贯通该桌台上表面的方式配设于该桌台内，能旋转且该夹持销在该夹持销旋转机构的上部以相对于旋转轴而偏心地立设；制动机构，能制动该夹持销旋转机构的旋转；以及桌台支撑轴，自下方支撑该桌台，能使该桌台旋转。

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