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1. 发明申请

WO2007119569A1 磁気センサ及びその製造方法审中-公开
标题翻译：磁传感器及其制造方法
公开(公告)号：WO2007119569A1
公开(公告)日：2007-10-25
申请号：PCT/JP2007/056710
申请日：2007-03-28
申请人：旭化成エレクトロニクス株式会社 , 片岡誠 , 角田勝己 , 山縣曜 , 金山裕一
发明人：片岡誠 , 角田勝己 , 山縣曜 , 金山裕一
IPC分类号： G01R33/07 , H01L43/06
CPC分类号： G01R33/07 , G01R33/0011 , H01L27/22 , H01L43/06
摘要：　磁性体の下地層と半導体基板との接触面積を考慮して磁気特性の極めて安定した磁気センサに関する。半導体基板（１１）上には、この半導体基板の表面と同一の平面になるように互いに所定の距離を隔てて埋め込まれた複数のホール素子（１２ａ，１２ｂ）が設けられ、ホール素子上及び半導体基板上には、保護膜（１５）を介して、金属あるいは樹脂からなり、複数のホール素子と異なる熱膨張率を有し、この複数のホール素子の領域の少なくとも部分的に覆う面積を有する下地層（１４）が設けられ、下地層上には、この下地層の面積よりも大きい面積の磁気増幅機能を有する磁気収束板（１５）が設けられている。磁性体の下地層と半導体基板との接触面積を小さくしてオフセット電圧の発生を少なくする。
摘要翻译：考虑到磁体的下层和半导体衬底之间的接触面积，磁特性被极大地稳定的磁传感器。在半导体衬底（11）上，多个霍尔元件（12a，12b）被设置成与半导体衬底的表面齐平并隔开预定距离。在霍尔元件和半导体衬底上，由金属或树脂构成的具有与多个霍尔元件的热膨胀系数不同的热膨胀系数的下层（14）和至少部分地覆盖多个霍尔元件的区域的区域霍尔元件通过保护膜（15）提供。在下层，提供具有比下层更大面积的磁放大功能的磁会聚板（15）。通过减小磁性体的下层与半导体衬底之间的接触面积来抑制偏移电压的产生。

2. 发明专利

JP2021120619A 磁場計測装置、磁場計測方法、および磁場計測プログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2021120619A
公开(公告)日：2021-08-19
申请号：JP2020013460
申请日：2020-01-30
申请人：旭化成エレクトロニクス株式会社
发明人：片岡誠 , 市村翔
IPC分类号： G01R33/09 , G01R35/00 , A61B5/05 , G01R33/02
摘要：【課題】微弱な磁場を、より高精度に計測することができる磁場計測装置を実現することが望まれる。【解決手段】三次元空間内の複数の箇所において3軸方向の入力磁場を検出可能な磁気センサアレイと、磁気センサアレイによって計測された計測データを取得する計測データ取得部と、計測データを処理する信号処理部とを備え、磁気センサアレイは、被計測体の一部に対向するように三次元に配列される複数の第1磁気センサセルと、前記複数の第1磁気センサセルの配列に対して前記被計測体へと突出して配列される複数の第2磁気センサセルとを有する磁場計測装置を提供する。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2021023670A 心磁計測装置、心磁計測方法、および、心磁計測プログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2021023670A
公开(公告)日：2021-02-22
申请号：JP2019145587
申请日：2019-08-07
申请人：旭化成エレクトロニクス株式会社
发明人：片岡誠 , 中村威信 , 岡武茂樹 , 加藤静一 , 市村翔
IPC分类号： G01R33/02 , G01R33/10 , G01R35/00 , A61B5/05
摘要：【課題】微弱な心磁をより高精度に計測するためには、複数の磁気センサの特性を精度よく較正することが望ましい。【解決手段】各々が磁場を3軸方向で検出可能な複数の磁気センサセルを配列して構成される磁気センサアレイと、複数の磁気センサセルのうちの1つの磁気センサセルを基準セルとして、基準セルに近接する近接セルの計測値を較正し、較正済みの近接セルを新たな基準セルとして、新たな基準セルに近接する近接セルの計測値を較正する較正演算部と、を備える、心磁計測装置を提供する。【選択図】図11

4. 发明专利

JP6664568B1 磁場計測装置、磁場計測方法、磁場計測プログラム有权
公开(公告)号：JP6664568B1
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：JP2019565966
申请日：2019-08-21
申请人：旭化成エレクトロニクス株式会社
发明人：中村威信 , 岡武茂樹 , 森安嘉貴 , 片岡誠
IPC分类号： G01R33/02 , G01R35/00 , A61B5/05 , H01L43/08 , G01R33/09
摘要：各々が磁気抵抗素子と磁気抵抗素子の両端に配置された磁気収束板とを有する磁気センサを複数有し、磁場を3軸方向で検出可能な複数の磁気センサセルを三次元に配列して構成される磁気センサアレイと、磁気センサアレイによって計測された計測データを取得する磁場取得部と、計測データによって示される磁場の空間分布を、正規直交関数の空間分布を持つ磁場を磁気センサアレイで検出したときに複数の磁気センサのそれぞれが出力する信号ベクトルを基底ベクトルとして信号分離する信号空間分離部と、を備える磁場計測装置を提供する。

5. 发明专利

JP2017181026A 故障診断装置、回転角センサ、故障診断方法、およびプログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2017181026A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2014167209
申请日：2014-08-20
申请人：旭化成エレクトロニクス株式会社
发明人：岡武茂樹 , 赤松謙 , 山本剛生 , 深瀬智史 , 片岡誠
IPC分类号： G01D5/12
CPC分类号： G01D5/12
摘要：【課題】回転角度センサを動作させつつ、回転角度センサの角度非線形性誤差を検出する。【解決手段】第1の軸の磁場と第2の軸の磁場の検出結果に応じて、回転体の角度信号および振幅信号を出力する回転角センサの出力を取得する取得部と、回転角センサの故障モードに対応する予め定められた周期関数と、振幅信号に基づく被測定信号との相関信号を算出する相関信号算出部と、相関信号に基づいて、回転角センサの故障を判定する故障判定部と、を備える故障診断装置、故障診断方法、およびプログラムを提供する。【選択図】図4

6. 发明专利

JP2021177159A 磁場計測装置、磁場計測方法、および、磁場計測プログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2021177159A
公开(公告)日：2021-11-11
申请号：JP2020082873
申请日：2020-05-08
申请人：旭化成エレクトロニクス株式会社
发明人：岡武茂樹 , 片岡誠 , 中村威信
IPC分类号： G01R35/00 , H01L43/08 , A61B5/05 , G01R33/09
摘要：【課題】磁場再構成部を備えた磁場計測装置、磁場計測方法、および、磁場計測プログラムを提供する。【解決手段】各々が磁気センサと出力信号を出力する出力部とを有する複数の磁気センサセルがそれぞれ一方向に湾曲させた2つの曲面の間の格子点に配置されるように三次元に配列して構成され、3軸方向の入力磁場を検出可能な磁気センサアレイ210と、磁気センサアレイ210によって計測された計測データを取得する計測データ取得部1020と、計測データを用いて、三次元空間内において指定された平面である仮想センサアレイ面上の1つ以上の位置について仮想センサアレイ面に直交する成分の磁場を再構成する磁場再構成部1080とを備える、磁場計測装置を提供する。【選択図】図10

7. 发明专利

JP2021113801A 磁場計測装置、磁場計測方法、および、磁場計測プログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2021113801A
公开(公告)日：2021-08-05
申请号：JP2020198312
申请日：2020-11-30
申请人：旭化成エレクトロニクス株式会社
发明人：岡武茂樹 , 片岡誠 , 中村威信 , 加藤静一
IPC分类号： G01R33/09 , G01R33/10 , A61B5/05 , G01R33/02
摘要：【課題】キャリブレーション磁場発生装置を備えた磁場計測装置を提供する。【解決手段】各々が磁気抵抗素子と磁気収束板とを含む磁気センサを有する複数の磁気センサセルを、計測対象物の少なくとも一部を覆う面を形成するように配列して構成される磁気センサアレイによって計測された計測データを取得し、各磁気センサの位置および磁気感度に基づき、計測データによって示される磁場の空間分布を信号分離し、断面視において複数の磁気センサセルを全て含む最小の凸多角形により構成される閉空間のうち複数の磁気センサセルが配列されていない測定空間の外側において、測定空間から複数の磁気センサセルを介することなく引くことが可能な直線上の位置で、キャリブレーション磁場を発生させ、キャリブレーション磁場の空間分布を信号分離した場合における分離誤差に基づいて、磁気センサにおけるセンサ誤差を較正する。【選択図】図1

8. 发明专利

JP6761138B2 磁場計測装置、磁場計測方法、磁場計測プログラム有权
公开(公告)号：JP6761138B2
公开(公告)日：2020-09-23
申请号：JP2020025332
申请日：2020-02-18
申请人：旭化成エレクトロニクス株式会社
发明人：中村威信 , 岡武茂樹 , 森安嘉貴 , 片岡誠
IPC分类号： G01R33/09 , G01R35/00 , A61B5/05 , H01L29/82 , H01L43/08 , G01R33/02

9. 发明专利

JPWO2020040168A1 磁場計測装置、磁場計測方法、磁場計測プログラム审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020040168A1
公开(公告)日：2020-08-27
申请号：JP2019032548
申请日：2019-08-21
申请人：旭化成エレクトロニクス株式会社
发明人：中村威信 , 岡武茂樹 , 森安嘉貴 , 片岡誠
IPC分类号： G01R33/025 , G01R33/02 , G01R35/00 , H01L43/08 , A61B5/05 , G01R33/09
摘要：各々が磁気抵抗素子と磁気抵抗素子の両端に配置された磁気収束板とを有する磁気センサを複数有し、磁場を3軸方向で検出可能な複数の磁気センサセルを三次元に配列して構成される磁気センサアレイと、磁気センサアレイによって計測された計測データを取得する磁場取得部と、計測データによって示される磁場の空間分布を、正規直交関数の空間分布を持つ磁場を磁気センサアレイで検出したときに複数の磁気センサのそれぞれが出力する信号ベクトルを基底ベクトルとして信号分離する信号空間分離部と、を備える磁場計測装置を提供する。

10. 发明专利

JP2017003312A 検出装置、磁気センサ、検出方法、およびプログラム审中-公开
标题翻译：检测器，磁传感器，检测方法和程序
公开(公告)号：JP2017003312A
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2015114925
申请日：2015-06-05
申请人：旭化成エレクトロニクス株式会社
发明人：片岡誠 , 田島準也 , 森本暢明
IPC分类号： G01D5/245 , G01R33/02 , G01R33/07 , H01L43/06 , G01D5/244
摘要：【課題】回転角センサの他軸感度誤差および実装誤差を補正する補正パラメータを簡便に出力する。【解決手段】第1センサ対および第2センサ対を有する磁気センサの誤差を検出する検出装置であって、磁気センサの出力信号を取得する取得部と、第1センサ対の出力信号の差分信号および和信号を算出する第1信号算出部と、第2センサ対の出力信号の差分信号および和信号を算出する第2信号算出部と、第1信号算出部および第2信号算出部の算出結果に基づき、磁気センサの誤差パラメータを出力する誤差出力部と、を備える検出装置、検出方法、およびプログラムを提供する。【選択図】図4
摘要翻译：一种方便的，并输出用于校正其它轴敏感度误差和安装所述旋转角传感器的误差校正参数。本发明提供了一种检测装置，用于检测具有第一传感器对和第二传感器对，取得上述磁传感器的输出信号获取单元，所述第一传感器对输出信号的差信号的磁传感器的误差一个和所述第一信号计算单元，用于计算的和信号，用于计算差值信号和第二传感器对输出信号的和信号，所述第一信号计算单元的计算结果和所述第二信号计算器的第二信号计算单元该检测装置，包括一个错误输出单元，用于输出所述磁传感器的误差参数的基础上，并且提供一种检测方法，以及程序。点域4

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