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1. 发明专利

JP2015102370A 供給機器、処理装置及び供給方法审中-公开
标题翻译：供应设备，处理设备和供应方法
公开(公告)号：JP2015102370A
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：JP2013241840
申请日：2013-11-22
申请人：日本写真印刷株式会社
发明人：中山鉄矢 , 阪下麻子
IPC分类号： G01N15/14
CPC分类号： G01N35/1095 , B01L3/0206 , C12M23/16 , C12M29/00 , C12M33/04 , B01L2300/0877 , B01L2400/0487 , G01N2035/00158
摘要：【課題】処理機器で処理の施される処理空間に粒子群と流体とを供給する供給機器や供給方法において供給の精度を向上させる。【解決手段】供給機器11は、シリンジ21と第1流路30と導入用液溜め部50とシリンジポンプ20とを備えている。導入用液溜め部50は、第1流路30に接続されている筒状部分51aと筒状部分51aに繋がるところから先端が細くなっている漏斗状部分51bとを有している。筒状部分51aと漏斗状部分51bとの境界が第1流路30の断面積よりも大きな断面積を持ちかつ筒状部分51aと漏斗状部分51bがシリンジ21よりも小さな体積を持つように形成されている。外部容器91から与えられる粒子群と流体とを吸入して一時的に貯留するため筒状部分が上に漏斗状部分が下に配置されている。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提高供给装置的供给精度以及将粒子群和流体供给到在处理装置中进行处理的处理空间的供给方法。解决方案：供给装置11包括注射器 21，第一流路30，引入液储存器50和注射泵20.引入液储存器50具有连接到第一流动通道30的圆柱形部分51a和漏斗形部分51b，其具有从与圆筒部51a的连接部。圆筒部51a和漏斗状部51b形成为使得其间的边界的截面大于第一流路30的截面，圆筒部51a和漏斗状部51b的体积比引入液储存器50被设置为使得用于引入颗粒群的圆柱形部分和从外部容器91给出的流体临时存储在其中，并且漏斗形部分是底部。

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