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1. 发明专利

JPWO2006008840A1 球面収差補正静電型レンズ、インプットレンズ、電子分光装置、光電子顕微鏡、および測定システム有权
公开(公告)号：JPWO2006008840A1
公开(公告)日：2008-05-01
申请号：JP2006527778
申请日：2004-11-09
申请人：国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学 , 国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学 , 日本電子株式会社
发明人：寛大門 , 寛大門 , 博之松田 , 博之松田 , 誠嘉藤 , 誠嘉藤 , 工藤　政都 , 政都工藤
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/12
CPC分类号： H01J37/12 , G01N23/227 , H01J37/153 , H01J37/244 , H01J37/285 , H01J49/067 , H01J49/48 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/2522
摘要：回転楕円面又はそれに近い形状のメッシュ(M)を、電極(EL1〜ELn)のうち電極(EL1)に設け、後段の電極(EL2〜ELn)の電圧を適宜設定することにより、メッシュ(M)により発生された局所的な負の球面収差を収束電場により生じる正の球面収差で相殺することで、最適な電場分布を形成する。これにより、取り込み角が±60°程度まで拡大された静電型レンズを実現できる。

4. 发明专利

JP3950593B2 Electron irradiation apparatus 有权
公开(公告)号：JP3950593B2
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：JP24814299
申请日：1999-09-02
申请人：日本電子株式会社
发明人：政都工藤
IPC分类号： H01J37/063 , H01J37/20 , G01N23/227
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To radiate a large quantity of low-energy electrons to a sample at uniform density by arranging an earth electrode protrusively from an extracting electrode on the outside of the extracting electrode, so that the electrons extracted by the extraction electrode are decelerated to reach the sample by the electric field formed in cooperation with the extraction electrode. SOLUTION: A filament 2 arranged around a grid 1 is excited and heated, and the thermoelectrons generated from the filament 2 are accelerated toward the grid 1. Since a repeller electrode 3 having the same potential as that of the filament 2 is arranged on the outside of the filament 2, the electrons passing through the grid 1 are again pushed back to the grid 1 side, thereby the space with a high electron density is formed in the cylindrical grid 1 to serve as an electron source. An electron beam from the electron source is generated by extracting the electrons existing in the grid 1 with the electric field formed by the extraction electrode 4, repeller electrode 3, and the grid 1.

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