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1. 发明专利

JP2016126955A 電子検出装置および走査電子顕微鏡有权
标题翻译：电子检测装置和扫描电子显微镜
公开(公告)号：JP2016126955A
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：JP2015001343
申请日：2015-01-07
申请人：日本電子株式会社
发明人：山下健一 , 工藤政都 , 中村元弘
IPC分类号： H01J37/244
摘要：【課題】S/Nの良い検出信号を取得可能な電子検出装置を提供する。【解決手段】二次電子の検知面(受光面)Sを、一次電子線の光軸Oの周りに当該光軸Oと平行になるように形成し、検知面Sの内側に円環状の分光器30を配置する。分光器30の外側に、内面が検知面Sとなるシールド部21を円環状に設け、その外側にシンチレータ部22を円環状に設け、試料から放出される二次電子をシンチレータ部22で光に変換し、シンチレータ部22から放出される光を検出信号として導出する。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供允许以良好S / N获取检测信号的电子检测装置。解决方案：在一次电子的光轴O周围形成二次电子检测表面（光接收表面）S 光束与光轴O平行，并且环形光谱仪30设置在检测表面S的内侧。在光谱仪30的外侧，具有成为检测表面S的内表面的屏蔽21环形设置，闪烁体22环形地设置在其外部。从样品发射的二次电子在闪烁体22中被转换成光，并且从闪烁体22发射的光作为检测信号被引出。图2

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