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    • 9. 发明专利
    • フォトマスクブランク、フォトマスク及び光パターン照射方法
    • 照片空白,光照和光图案照射方法
    • JP2016170447A
    • 2016-09-23
    • JP2016127196
    • 2016-06-28
    • 信越化学工業株式会社凸版印刷株式会社
    • 吉川 博樹稲月 判臣小板橋 龍二金子 英雄原口 崇小嶋 洋介廣瀬 智一
    • G03F7/20G03F1/32
    • 【解決手段】モリブデンと、ケイ素と、酸素及び窒素とを含有し、4×C Si /100−6×C M /100>1(式中、C Si はケイ素の含有率(原子%)、C M は遷移金属の含有率(原子%)を示す)を満たすモリブデンケイ素系材料で構成されたハーフトーン位相シフト膜を有するフォトマスクブランク及びフォトマスク並びにフォトマスクを用いた光パターン照射方法。 【効果】遷移金属ケイ素系材料で形成されたハーフトーン位相シフト膜や遮光膜などにおいて、ArFエキシマレーザー光等の高エネルギー光の累積照射によるMoSi系材料膜等の遷移金属ケイ素系材料膜の変質を伴うパターン寸法変動劣化が大きく抑制され、従来と比べて高エネルギー光の照射が累積した場合であっても、露光装置のパターン露光条件を変更せずに、光リソグラフィーにおける光パターン照射を実施することができる。 【選択図】なし
    • 解决方案:提供一种光掩模坯料,其具有由含有钼,硅,氧和氮的钼硅基材料构成的半色调相移膜,并满足4×C / 100-6×C / 100> 1,其中Cis百分比 硅含量(原子%),C是过渡金属的含量百分含量(原子%),光掩模和使用光掩模的光图案照射方法。可以在不改变图案的情况下进行光学光刻的光图案照射 曝光装置的曝光条件即使当与常规技术相比,与常规技术相比,通过显着减少通过累积的诸如MoSi基材料膜的过渡金属硅基材料膜的退化而显着减少图案尺寸变化的劣化, 将诸如ArF准分子激光的高能量光照射在半色调相移膜上或由过渡金属硅 - 基底形成的遮光膜 材料选择:无