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1. 发明专利

JP2020197152A 真空ポンプ、および連結型ネジ溝スペーサ审中-公开
公开(公告)号：JP2020197152A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：JP2019102755
申请日：2019-05-31
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：三枝健吾 , 吉原菜穂子 , 大立好伸
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】固定ボルトで連結型ネジ溝スペーサを締結しても、真空ポンプの排気性能の低下を防止することができる真空ポンプを提供する。【解決手段】本発明の実施形態に係る連結型ネジ溝スペーサは、シグバーンポンプ部とネジ溝ポンプ部とを連結させる構造を備える。この連結型ネジ溝スペーサを締結する際、予め排気流路部にザグリ穴を設けておき、固定ボルトで、ベースと締結する。こうすることで、固定ボルトの頭部が排気流路に突出しなくなり、固定ボルトの頭部が排気ガスに対する抵抗とならない。こうして、真空ポンプの排気性能が低下することを抑制できる。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2017106365A 連結型ネジ溝スペーサ、および真空ポンプ审中-公开
公开(公告)号：JP2017106365A
公开(公告)日：2017-06-15
申请号：JP2015240009
申请日：2015-12-09
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：坂口祐幸 , 三輪田透 , 三枝健吾 , 吉原菜穂子
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】ネジ溝ポンプ部の排気性能を維持しつつ小型化を実現する連結型ネジ溝スペーサ、および、当該連結型ネジ溝スペーサが配設された真空ポンプを提供する。【解決手段】連結型ネジ溝スペーサ20は、シグバーンポンプ部とネジ溝ポンプ部とを連結させる構造を備える。より詳しくは、排気要素部であるネジ溝ポンプ部の構造を、円筒状ネジの上にシグバーン形の構造が取り付けられた構造にし、当該取り付け部分において各部品が連結する構成にする。つまり、シグバーン部と円筒状ネジ(ネジ溝ポンプ部)の流路の境目を、真空ポンプの軸線方向から見て略直角になるように繋ぎ、シグバーン部とネジ溝ポンプ部の流路を繋ぐ。この構成により、ネジ溝ポンプ部の圧縮流路長を、連結されたシグバーン部によって径方向に伸ばすことができる。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2019143486A 真空ポンプと真空ポンプの制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019143486A
公开(公告)日：2019-08-29
申请号：JP2018025854
申请日：2018-02-16
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：孫彦斌 , 三枝健吾
IPC分类号： F04B39/06 , F04B39/00 , F04D19/04
摘要：【課題】電装機器を効率よく冷却することが可能な真空ポンプを提供する。【解決手段】ポンプ本体11と、ポンプ本体11の外側に配置された電装ケース31とを備え、電装ケース31は、内部に冷却媒体流路38aが形成された冷却ジャケット36と、回路部品62を備え冷却ジャケット36による冷却が可能な電源回路部33と、を有し、冷却ジャケット36には電源回路部33が熱移動可能に取り付けられ、冷却ジャケット36は、ジャケット本体37と、ジャケット本体37内に冷却水を循環させるための冷却管38と、を備え、冷却管38を電源回路部33の側に向けて部分的に露出させている。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2018115631A 真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ审中-公开
公开(公告)号：JP2018115631A
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：JP2017008275
申请日：2017-01-20
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：坂口祐幸 , 孫彦斌 , 三枝健吾 , 大森秀樹
IPC分类号： F04D29/64 , F04D29/52 , F04B37/16 , F04D19/04
CPC分类号： F04B37/16 , F04B39/00 , F04D19/04 , F04D29/52 , F04D29/64 , H05K5/02
摘要：【課題】真空ポンプ制御装置の薄形・軽量化とコンパクト化、並びにコストの低減を可能にする真空ポンプ装置を提供する。【解決手段】ポンプ本体ユニット11とポンプ本体ユニット11の駆動を制御する制御ユニット12を一体化した真空ポンプ装置10であって、制御ユニットユニット12の筐体22に加わる荷重を支えるスペーサ13を、ポンプ本体ユニット11のベース15と制御ユニット12の筐体22との間に備える構成とした。【選択図】図2

5. 发明专利

JP2018109371A 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用されるコネクタ、制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018109371A
公开(公告)日：2018-07-12
申请号：JP2016256649
申请日：2016-12-28
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：孫彦斌 , 三枝健吾 , 坂口祐幸 , 大森秀樹
IPC分类号： H01R9/16 , F04D19/04
CPC分类号： F04D19/04 , H01R9/16
摘要：【課題】現場での保守作業の効率を上げられ、かつ、これまでよりも小型のポンプに構成できる一方で製造の容易な真空ポンプ及び該真空ポンプに適用されるコネクタ、制御装置を提供する。【解決手段】横長構造のハーメチックコネクタ220を採用したことで、ケーブルを水平方向に分散できるためポンプ本体100の高さを低くすることができる。また、基板230を用いて多層の配線パターンでピンと端子241間を接続したので、従来のようにハーネスで渡した場合に比べて、径方向にケーブルが嵩張って膨らむということが無い。このため、径方向にも小さく構成できる。更に、ハーメチックコネクタ220と基板230とは、内側に許容電流の大きい太いピンを配設し、その太いピンの周囲に許容電流の小さいピンを配設した。固くて曲げにくいケーブルを中央にまとめたことでケーブルを束ねたときにねじり易くできる。【選択図】図2

6. 发明专利

JP2020165313A 真空ポンプ及び該真空ポンプの制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020165313A
公开(公告)日：2020-10-08
申请号：JP2019063520
申请日：2019-03-28
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：三枝健吾
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/70
摘要：【課題】封止材を使用せずに水滴の侵入し難い構造を安価に実現し、かつ、ポンプ本体と制御装置とが分離し易く保守のし易い構造を備えた真空ポンプ及び該真空ポンプの制御装置を提供する。【解決手段】ベース部129の周囲等から漏れた水滴は隙間220に侵入する。特に、蓋219が外されているときには水滴が侵入し易い。この場合水滴は凹部200bに流れる可能性があるが、中空板状部221aは凹部200bに対し金属面同士で密封固着されているため制御装置200内部に水滴が侵入することはない。また、筒状部材221は隙間220を貫通し隙間220の厚さよりも高く形成されているので、隙間220で溢れた水滴が筒状部材221の内側から侵入することもない。更に、プレート150の上面に水滴がかかった場合であっても筒状部材221はプレート150の上面よりも高く突設されているので、筒状部材221を超えて侵入するおそれも少ない。【選択図】図2

7. 发明专利

JP6644813B2 真空ポンプ及び該真空ポンプに用いられる可撓性カバー及びロータ有权
公开(公告)号：JP6644813B2
公开(公告)日：2020-02-12
申请号：JP2017566493
申请日：2016-02-12
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：川西伸治 , 坂口祐幸 , 三枝健吾
IPC分类号： F04D29/32 , F04D19/04

8. 发明专利

JPWO2017138154A1 真空ポンプ及び該真空ポンプに用いられる可撓性カバー及びロータ审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017138154A1
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：JP2016054170
申请日：2016-02-12
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：川西伸治 , 坂口祐幸 , 三枝健吾
IPC分类号： F04D29/32 , F04D19/04
CPC分类号： F04D19/04 , F04D29/70
摘要：【課題】プロセスガスに起因する錆やパーティクル等の異物が半導体ウェハの製造工程に侵入することを抑制する真空ポンプ及び該真空ポンプに用いられる可撓性カバー及びロータを提供する。【解決手段】真空ポンプ1は、ガス吸気口12a及びガス排気口11aを有するケーシング10と、ガス吸気口12aに向けて開口する凹部29を有し、凹部29内に配置されたボルト25を介してロータシャフト21に締結されたロータ20と、を備えている。凹部29には、ロータ20のガス吸気口12aに対向する端面20aに外周部80aが支持されると共に、ロータ20の凹部29内に中央部80bが陥入し、凹部29に向けて凸状に弾性変形して凹部29を覆う可撓性カバー80が設けられている。

9. 发明专利

JP2018096346A 真空ポンプおよび真空ポンプに備わる制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018096346A
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：JP2016244436
申请日：2016-12-16
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：大森秀樹 , 孫彦斌 , 三枝健吾 , 坂口祐幸
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】回生抵抗の放熱性を簡単な構成で向上させる真空ポンプおよび真空ポンプに備わる制御装置を実現する。【解決手段】回生抵抗を制御装置から外し、真空ポンプ側に配設する。より詳しくは、制御回路が搭載された制御基板(制御装置)から回生抵抗を取り出し、配線経由で真空ポンプのベースに配設する。さらに、真空ポンプのベースと制御装置の間に隙間を設ける。加えて、真空ポンプのベース部分に配設された回生抵抗および配線部分に、カバー(外覆体)を設ける。これにより、回生抵抗が熱容量の大きい真空ポンプのベースに設けられるので、制御装置の温度上昇が低減する。また、真空ポンプのベースと制御装置との間に隙間を設けることで空気による断熱効果が向上し、制御装置の温度上昇が低減する。そして、回生抵抗が配設される部分にカバーを設けることで、発生する電気的なノイズが低減し、かつ、ベースの間接的な表面温度を低くすることができる。【選択図】図1

10. 发明专利

JP2018066368A 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用される防水構造、制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018066368A
公开(公告)日：2018-04-26
申请号：JP2016207396
申请日：2016-10-21
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：三枝健吾 , 孫彦斌
IPC分类号： F04B37/16 , F04B39/00 , F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04B37/14 , F04B37/16 , F04B39/00 , F04D19/04 , H01R13/52
摘要：【課題】現場での保守作業の効率を上げ、かつ、回路分離時等でカバーを外した際に、コネクタ接続部への水の侵入を防止する真空ポンプ及び該真空ポンプに適用される防水構造、制御装置を提供する。【解決手段】保守作業を行う際には制御装置200の筐体を数十ミリ程度下げてから、制御装置200の筐体をポンプの径方向に引き出す。このため、真空ポンプの軸方向には十分な空きスペースが無くても容易にポンプ本体100と制御装置200の着脱が行える。ベース部129及び制御装置200の側部には壁部202が周状に突設されている。このため、保守作業の際に壁部カバー201を取り外した場合であってもこの壁部202により水滴の侵入を防ぐことができる。更に、隙間210にはシール部材219と蓋217が挿入されている。このため、この隙間210には水滴が侵入し難い。【選択図】図2

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