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    • 2. 发明申请
    • PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE CARACTÉRISATION DE SURFACES
    • 用于表征表面的方法和装置
    • WO2012168436A1
    • 2012-12-13
    • PCT/EP2012/060909
    • 2012-06-08
    • UNIVERSITÉ DE SAVOIESAMPER, SergeFAVRELIERE, HuguesLE GOÏC, Gaëtan
    • SAMPER, SergeFAVRELIERE, HuguesLE GOÏC, Gaëtan
    • G01B11/14G01B11/30G01B11/24
    • G01B11/24G01B11/303
    • L'invention a pour objet un procédé de caractérisation de surface caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes : on mesure la topographie de la surface à caractériser (S, Pa, Lb) pour déterminer un vecteur mesure ( mes V), on interpole les vecteurs modaux d'une base modale (Q) d'un élément géométrique de référence, pour chaque emplacement (X i , Y j ) mesuré de la surface à caractériser (S, Pa, Lb), la base modale étant préalablement stockée en mémoire pour un nombre prédéterminé de modes, pour obtenir une base modale interpolée ( int Q) dans laquelle chaque vecteur modal présente une dimension identique à la dimension (n mes , 1) du vecteur mesure ( mes V), et on décompose le vecteur mesure ( mes V) dans la base modale interpolée ( int Q) par une opération de projection vectorielle du vecteur mesure ( mes V) dans la base modale interpolée ( int Q), pour le nombre prédéterminé de modes (Ν q ) afin de déterminer les contributions (λ 1 ) de chacun des modes dans la surface à caractériser. L'invention a aussi pour objet un dispositif de caractérisation de surfaces pour la mise en œuvre dudit procédé de caractérisation de surfaces.
    • 本发明涉及一种用于表征表面的方法,其特征在于包括以下步骤:测量要表征的表面(S,Pa,Lb)的形貌以确定测量矢量(mesV); 对要表征的表面(S,Pa,Lb)的每个测量位置(Xi,Yj)的参考几何元素的模态基底(Q)进行内插,将模态基底预先存储在存储器 预定数量的模式,以获得其中每个模态向量具有与测量向量(mesV)的维度(nmes,1)相同的维度的内插模态基数(intQ); 并且通过对于预定数量的模式(Δq)的内插模态基底(intQ)中的测量向量(mesV)的向量投影操作,在内插模态基底(intQ)中分解测量矢量(mesV), 以确定要表征的表面中的每种模式的贡献(α1)。 本发明还涉及一种用于表征表面以实现所述用于表征表面的方法的装置。