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1. 发明申请

WO2004031838A1 ANAODNUNG ZUR VERMINDERUNG DER KOHÄRENZ EINES LICHTBÜNDELS 审中-公开
标题翻译： ANAODNUNG以减少光束的协调性
公开(公告)号：WO2004031838A1
公开(公告)日：2004-04-15
申请号：PCT/EP2003/010075
申请日：2003-09-11
申请人： CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , MENCK, Alexander , BISCHOFF, Jörg
发明人： MENCK, Alexander , BISCHOFF, Jörg
IPC分类号： G02B27/48
CPC分类号： G02B27/144 , G02B27/143 , G02B27/48
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels, insbesondere eines Laserlichtbündels zur Beleuchtung einer Bildfläche oder einer Probe. Erfindungsgemäß umfaßt eine solche Anordnung einen Strahlteiler (2), an dem ein einfallendes Lichtbündel (1) in zwei orthogonale Teilbündel (4,6) aufgespalten wird, und zwei reflektierende Elemente, von denen mindestens eines als Umkehrprisma (7) ausgebildet ist. Dabei ist jeweils ein Teilbündel (4,6) auf ein reflektierendes Element gerichtet und wird von dort zum Strahlteiler (2) zurückgeworfen. Die reflektierenden Elemente sind in unterschiedlichen Abständen vom Strahlteiler (2) positioniert, so daß die Teilbündel (4,6) den Strahlteiler (2) in umgekehrter Richtung wieder passieren und dabei zu einem abgehenden Lichtbündel (8) vereinigt werden, in dem die Kohärenz vermindert ist.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于减少光束的相干性，特别是激光束用于照射的图像区域或样品。根据本发明，这样的装置包括在其上的入射光束（1）被划分为两个正交子光束（4,6），和两个反射元件，它们被作为反向棱镜（7）的至少一种形成的分束器（2）。在此，子光束（4,6）是在每种情况下针对一个反射元件并且从那里向分束器（2）反射。反射元件被定位在从分束器（2）不同的距离，从而使子光束（4,6）穿过在相反方向上的光束分离器（2）再次，从而出射光束（8）相结合，在降低的一致性是。

2. 发明申请

WO2003029873A3 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR VERMINDERUNG VON SPECKLE IN EINEM OPTISCHEN SYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：WO2003029873A3
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP2002/010626
申请日：2002-09-21
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , BRUNNER, Robert , BURKHARDT, Matthias , ERDMANN, Lars , MENCK, Alexander
发明人： BRUNNER, Robert , BURKHARDT, Matthias , ERDMANN, Lars , MENCK, Alexander
IPC分类号： G02B27/48
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verminderung von Speckle in einem optischen System durch Verringerung der räumlichen Kohärenz eines Lichtstrahlenbündels. Erfindungsgemäss wird ein Lichtstrahlenbündel an wenigstens zwei reflektierenden Oberflächen reflektiert, die jeweils eine phasenverschiebende Mikro-strukturierung aufweisen, über welche das Lichtstrahlenbündel (B) in Teilstrahlenbündel (B') aufgespalten wird, deren optische Weglängen sich um mehr als die zeitliche Kohärenzlänge unterscheiden. Damit werden bei weitestgehender Aufrechterhaltung der Leuchtintensität des Lichtstrahlenbündels Speckle vermindert.

3. 发明申请

WO2004031837A1 ANORDNUNG ZUR KOHÄRENZMINDERUNG 审中-公开
标题翻译：安排一致性还原
公开(公告)号：WO2004031837A1
公开(公告)日：2004-04-15
申请号：PCT/EP2003/010074
申请日：2003-09-11
申请人： CARL ZEISS SMS GMBH , BRUNNER, Robert , BURKHARDT, Matthias , ERDMANN, Lars , MENCK, Alexander
发明人： BRUNNER, Robert , BURKHARDT, Matthias , ERDMANN, Lars , MENCK, Alexander
IPC分类号： G02B27/48
CPC分类号： G02B27/144 , G02B27/143 , G02B27/145 , G02B27/48
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels, insbesondere eines Laserlichtbündels zur Beleuchtung einer Bildfläche oder einer Probe. Erfindungsgemäss umfasst eine solche Anordnung eine Einrichtung zur Strahlteilung, z.B. einen ersten Teilerwürfel (2), an dem ein einfallendes Lichtbündel (1) in zwei Teilbündel (4, 5) aufgespalten wird, eine Einrichtung zur Strahlvereinigung, z.B. einen zweiten Teilerwürfel (6), an dem die Teilbündel (4, 5) zu einem abgehenden Lichtbündel (10) zusammengeführt werden, und Umlenkelemente, z.B. Spiegel (8, 9), die in den Lichtwegen der Teilbündel (4, 5) zwischen diesen beiden Einrichtungen positioniert sind, wobei die Lichtweglängen der Teilbündel (4, 5) verschieden sind und der Längenunter schied so gross ist, dass die Kohärenz der Wellenzüge/Phasenraumzellen in den Teilbündeln (4, 5) überschritten und damit deren Fähigkeit, miteinander zu interferieren, vermindert bzw. aufgehoben ist.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于减少光束的相干性，特别是激光束用于照射的图像区域或样品。根据本发明，这样的布置包括一设备，用于分束，例如第一分束器立方体（2）中，在其中入射光束（1）分割成两个部分光束（4,5），用于组合光束的装置，例如第二分束器立方体（6）在其上的部分光束（4,5）被组合以形成一个输出光束（10）和偏转元件，例如反射镜（8,9）布置在所述部分光束的光路（4,5）这两个装置之间被定位，其中，所述副光束的光路长度（4，5）是不同的，在长度上的差异是如此之大，使得波列的相干在部分光束/相位空间的细胞（图4，5）的上限，因此，它们彼此干扰能力降低或取消。

4. 发明申请

WO2005019900A1 KOHÄRENZMINDERER MIT STUFENSPIEGEL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN EINES KOHÄRENZMINDERERS 审中-公开
标题翻译：与STAGES镜像一致性监管机构和一致性减速方法
公开(公告)号：WO2005019900A1
公开(公告)日：2005-03-03
申请号：PCT/EP2004/008118
申请日：2004-07-20
申请人： CARL ZEISS SMS GMBH , MENCK, Alexander
发明人： MENCK, Alexander
IPC分类号： G02B27/48
CPC分类号： G03F7/70075 , G02B27/123 , G02B27/144 , G02B27/48 , G03F7/70583
摘要： Es wird ein Kohärenzminderer mit einem Stufenspiegelelement (2), bereitgestellt, wobei das Stufenspiegelelement (2) eine Mehrzahl von im wesentlichen parallel zueinander angeordneten Stäben (6) mit reflektiven Endflächen (8) umfasst und die reflektiven Endflächen (8) in Längsrichtung der Stäbe (6) zueinander versetzt angeordnet sind.
摘要翻译：它是一个阶梯式反射镜元件（2）的相干降低装置被提供，其中，所述阶梯反射镜元件（2）包括基本上相互平行的杆（6）与所述反射端面的多个（8）和（反射端面（8）在所述杆的纵向方向上 6）被布置成彼此错开。

5. 发明申请

WO2004031837A8 DEVICE FOR REDUCING COHERENCE 审中-公开
标题翻译：安排一致性还原
公开(公告)号：WO2004031837A8
公开(公告)日：2004-10-28
申请号：PCT/EP0310074
申请日：2003-09-11
申请人： ZEISS CARL SMS GMBH , BRUNNER ROBERT , BURKHARDT MATTHIAS , ERDMANN LARS , MENCK ALEXANDER
发明人： BRUNNER ROBERT , BURKHARDT MATTHIAS , ERDMANN LARS , MENCK ALEXANDER
IPC分类号： G02B27/14 , G02B27/48
CPC分类号： G02B27/144 , G02B27/143 , G02B27/145 , G02B27/48
摘要： The invention relates to a device for reducing the coherence of a light beam, especially a laser light beam for illuminating the image surface of a probe. According to the invention, said device comprises a beam divider, e.g. a first divider cube (2) whereon an incident beam (1) is divided into two partial beams (4,5), a device for reconstituting a beam, e.g. a second divider cube (6) whereon the partial beams (4,5) are recombined to form an outgoing light beam (10), and deflector elements, e.g. mirrors (8,9) which are positioned in the light paths of the partial beams (4,5) between the two devices. The lengths of the light paths of the partial beams (4,5) vary and the length difference is such that the coherence of the wave trains/phase space cells is exceeded, whereby the ability to cause mutual interference is reduced or removed.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于减少光束的相干性，特别是激光束用于照射的图像区域或样品。根据本发明，这样的布置包括一设备，用于分束，例如第一分束器立方体（2）中，在其中入射光束（1）分割成两个部分光束（4,5），用于组合光束的装置，例如第二分束器立方体（6）在其上的部分光束（4,5）被组合以形成一个输出光束（10）和偏转元件，例如反射镜（8,9）布置在所述部分光束的光路（4,5）这两个装置之间被定位，其中，所述副光束的光路长度（4，5）是不同的，在长度上的差异是如此之大，使得波列的相干在部分光束/相位空间的细胞（图4，5）的上限，因此，它们彼此干扰能力降低或取消。

6. 发明申请

WO2003029879A1 ANORDNUNG ZUR VERMINDERUNG DER KOHÄRENZ EINES KOHÄRENTEN STRAHLENBÜNDELS 审中-公开
标题翻译：布置，降低相干光束梁的一致性
公开(公告)号：WO2003029879A1
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP2002/010475
申请日：2002-09-18
申请人： CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , BURKHARDT, Matthias , MENCK, Alexander , BISCHOFF, Jörg , STEINER, Reinhard , ERDMANN, Lars
发明人： BURKHARDT, Matthias , MENCK, Alexander , BISCHOFF, Jörg , STEINER, Reinhard , ERDMANN, Lars
IPC分类号： G02B27/48
CPC分类号： G02B5/0221 , G02B5/0284 , G02B27/48
摘要： Bei einer Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines kohärenten Strahlenbündels (6) ist ein einen Innenraum begrenzender Reflektor (1) mit einer diffus reflektierenden Innenfläche (4) vorgesehen, wobei der Reflektor (1) eine Eintrittsöffnung (2), durch die das Strahlenbündel (6) in den Innenraum einkoppelbar ist, sowie eine Austrittsöffnung (3), durch die Strahlen des Strahlenbündels (6) nach zumindest einmaliger Reflexion an der Innenfläche (4) austreten, aufweist.
摘要翻译：在用于降低相干光束的相干性的装置（6）是一个内部限制反射器（1）设置有漫反射内表面（4），其中，所述反射器（1）的入口开口（2），通过该（光束6 ）可以按照一个出口开口（3），（由光束6）的光线到内表面上的至少一个反射（4）出现，其具有被耦合到内部，和。

7. 发明申请

WO03029873A2 METHOD AND DEVICE FOR REDUCING SPECKLE IN AN OPTICAL SYSTEM 审中-公开
标题翻译：方法和装置的光学系统，减少斑点
公开(公告)号：WO03029873A2
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP0210626
申请日：2002-09-21
申请人： ZEISS CARL JENA GMBH , BRUNNER ROBERT , BURKHARDT MATTHIAS , ERDMANN LARS , MENCK ALEXANDER
发明人： BRUNNER ROBERT , BURKHARDT MATTHIAS , ERDMANN LARS , MENCK ALEXANDER
IPC分类号： G02B27/48 , G03F7/20 , G02B26/00
CPC分类号： G03F7/70583 , G02B27/48
摘要： The invention relates to a method and device for reducing speckle in an optical system by decreasing the spatial coherence of a bundle of light beams. According to the invention, a bundle of light beams is reflected by at least two reflective surfaces each having a phase-shifting microstructuring via which the bundle of light beams (B) is split into partial bundles of beams (B') whose optical paths differ by more than the temporal coherence length. This enables the reduction of speckle while maintaining, to the greatest possible extent, the luminous intensity of the bundle of light beams.
摘要翻译：本发明涉及一种通过减少光束的空间相干性的减少光学系统中的散斑的方法和装置。根据本发明，体现在至少两个反射面的光束，每一个都具有相移的微结构，通过该在分光束（B“）的光束（B）被分割时，光路长度由除了时间相干长度更不同。使得光束光斑的光强度是在最大限度维护减少。

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