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    • 5. 发明申请
    • SEMICONDUCTOR DEVICE
    • 半导体器件
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    • A semiconductor device includes a cell semiconductor pattern disposed on a semiconductor substrate. A semiconductor dummy pattern is disposed on the semiconductor substrate. The semiconductor dummy pattern is co-planar with the cell semiconductor pattern. A first circuit is disposed between the semiconductor substrate and the cell semiconductor pattern. A first interconnection structure is disposed between the semiconductor substrate and the cell semiconductor pattern. A first dummy structure is disposed between the semiconductor substrate and the cell semiconductor pattern. Part of the first dummy structure is co-planar with part of the first interconnection structure. A second dummy structure not overlapping the cell semiconductor pattern is disposed on the semiconductor substrate. Part of the second dummy structure is co-planar with part of the first interconnection structure. A conductive shielding pattern is disposed between the cell semiconductor pattern and the semiconductor substrate and above the first circuit and the first interconnection structure.
    • 半导体器件包括设置在半导体衬底上的单元半导体图案。 在半导体衬底上设置半导体虚设图案。 半导体虚拟图案与单元半导体图案共面。 第一电路设置在半导体衬底和单元半导体图案之间。 第一互连结构设置在半导体衬底和单元半导体图案之间。 第一虚拟结构设置在半导体衬底和单元半导体图案之间。 第一虚拟结构的一部分与第一互连结构的一部分共面。 与半导体图案不重叠的第二虚拟结构设置在半导体衬底上。 第二虚拟结构的一部分与第一互连结构的一部分共面。 在电池半导体图案和半导体衬底之间以及第一电路和第一互连结构之上设置导电屏蔽图案。