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1. 发明专利

JP2014041141A Nano mechanical test system 有权
标题翻译：纳米机械试验系统
公开(公告)号：JP2014041141A
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：JP2013213291
申请日：2013-10-11
申请人： Hysitron Inc , ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人： DAVID JAMES VODNICK , ARPIT DWIVEDI , LUCAS PAUL KERANEN , MICHAEL DAVID OKERLUND , ROGER SCHMITZ , ODEN LEE WARREN , YOUNG CHRISTOPHER DAVID
IPC分类号： G01N3/40 , G01N3/42 , G01N3/46
CPC分类号： G01P21/00 , G01B11/27 , G01B21/047 , G01N3/02 , G01N3/42 , G01N19/00 , G01N2203/0082 , G01N2203/0286 , G01Q40/00 , G01Q60/366 , Y10T29/49826
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an automatic test system performing an inline manufacturing test on a sample on a micron or smaller scale.SOLUTION: An automatic test system 600 includes a probe change assembly for connecting and removing a probe of a device. A cantilever device column 606 includes one or more device stages 608. One of the device stages 608 includes an optical device 610 and a mechanical test device 612. The mechanical test device 612 is so constituted as to perform a mechanical (such as indentation and scratch) test on a micron or nano scale on a sample arranged on a sample stage surface 616. A stage actuator assembly 618 is so constituted as to move the sample stage surface 616 along or around a plurality of axes.
摘要翻译：要解决的问题：提供对微量或更小规模的样品进行在线制造测试的自动测试系统。解决方案：自动测试系统600包括用于连接和移除设备探头的探针更换组件。悬臂装置列606包括一个或多个装置级608.装置级608之一包括光学装置610和机械测试装置612.机械测试装置612被构造成执行机械（例如压痕和划痕）在布置在样品台表面616上的样品上以微米或纳米级进行测试。级致动器组件618被构造成沿着或围绕多个轴移动样品台表面616。

2. 发明专利

JP2014038108A Nanomechanical test system 有权
标题翻译：纳米试验系统
公开(公告)号：JP2014038108A
公开(公告)日：2014-02-27
申请号：JP2013213290
申请日：2013-10-11
申请人： Hysitron Inc , ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人： DAVID JAMES VODNICK , ARPIT DWIVEDI , LUCAS PAUL KERANEN , MICHAEL DAVID OKERLUND , ROGER SCHMITZ , ODEN LEE WARREN , YOUNG CHRISTOPHER DAVID
IPC分类号： G01N3/42 , G01N3/46
CPC分类号： G01P21/00 , G01B11/27 , G01B21/047 , G01N3/02 , G01N3/42 , G01N19/00 , G01N2203/0082 , G01N2203/0286 , G01Q40/00 , G01Q60/366 , Y10T29/49826
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system for automatically performing a plurality of types of mechanical tests on a sample.SOLUTION: An automated testing system 600 includes a probe changing assembly for coupling and decoupling a probe of an instrument. The probe changing assembly includes a probe change unit configured to grasp one of a plurality of probes within a probe magazine and couple one of the probes to an instrument probe receptacle. An actuator is coupled to the probe change unit, and the actuator is configured to move the probe change unit to the probe magazine and the instrument probe receptacle so as to perform alignment. The automated testing system 600 includes a multiple degree of freedom stage for aligning a sample testing location with the instrument. The stage includes a sample stage and a stage actuator assembly 618 including translational and rotational actuators.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于自动执行对样品的多种类型的机械测试的系统。解决方案：自动化测试系统600包括用于耦合和去耦合仪器的探针的探针更换组件。探针更换组件包括探针改变单元，其被配置为抓住探针盒内的多个探针中的一个探针，并将一个探针耦合到仪器探针插座。致动器联接到探针更换单元，并且致动器构造成将探针更换单元移动到探针盒和仪器探针插座以便进行对准。自动测试系统600包括用于将样本测试位置与仪器对准的多自由度级。舞台包括样本台和包括平移和旋转致动器的舞台致动器组件618。

3. 发明专利

JP6162770B2 ミクロ電気機械ヒータ有权
公开(公告)号：JP6162770B2
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：JP2015202642
申请日：2015-10-14
申请人：ハイジトロン,インク. , HYSITRON,INC.
发明人：オー,ユンジェ , アシフ,サイドアマヌラサイド , サイランコウスキー,エドワード , ウォーレン,オーデンエル.
IPC分类号： G01N3/42 , H01J37/20
CPC分类号： G01N1/42 , G01N3/08 , H01J37/20 , H05B1/023 , H05B3/06 , H05B3/22 , G01N2203/0226 , G01N2203/0286 , G01N2203/04 , G01N2223/418 , G01N3/18 , G01N3/42

4. 发明专利

JP2015503112A 複数自由度ステージを含むテストアセンブリ有权
标题翻译：测试组件包括一个多自由度阶段
公开(公告)号：JP2015503112A
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：JP2014533420
申请日：2012-09-28
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：サイランコウスキー，エドワード , アマヌラサイドアシフ，サイド , アマヌラサイドアシフ，サイド , メジャー，ライアン , ラスグ，デレク , フォン，ユーシン
IPC分类号： G02B21/26 , G12B5/00
CPC分类号： G01N3/04 , G01N3/42 , G01N2203/0026 , G01N2203/0206 , G02B21/26 , G02B21/32 , G21K5/10 , H01J37/20 , H01J2237/202 , H01J2237/2062 , H01J2237/28
摘要：複数自由度サンプルステージあるいは複数自由度サンプルステージを含むテストアセンブリ。複数自由度サンプルステージは、複数自由度サンプルステージを閉じ込めるクラスタ化された体積内の、複数装置によるアクセスあるいは観察のための複数の方向に、サンプルを配置するように構成された、線形、1以上の回転あるいは傾きステージを含む複数のステージを含む。複数自由度サンプルステージは、例えば、機械的テスト装置によってサンプルに力を加えることにより、観察の間、サンプルを所定位置に静的に保持するための1以上のクランプアセンブリを含む。更に、複数自由度サンプルステージは、各ステージの動き軸に直交する方向の、1以上のステージの構成要素間の機械的許容量を実質的に消去する、1以上のクロスローラベアリングアセンブリを含む。【選択図】図2
摘要翻译：自由样品台或测试组件的多个度包括多自由度样品台。更多的灵活性样品台，其被群集限制多个自由度的样品台，在多个用于由多个设备访问或观察方向的体积，用于放置样品，直链的，一个或多个内包括旋转或多个阶段中，包括倾斜的阶段。更多的灵活性样品台包括，例如，通过观察，为保持在适当位置的静态样品的一个或多个夹持组件期间由机械测试装置将力施加到所述样品。此外，在垂直于每个阶段的移动轴线的方向上的多个挠性样品台，以擦除一个或多个级的各部件之间的机械公差基本上包含一种或多种交叉滚子轴承组件。 .The

5. 发明专利

JP2016027567A 複数自由度ステージを含むテストアセンブリ有权
标题翻译：包含自由度的测试装置
公开(公告)号：JP2016027567A
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：JP2015150364
申请日：2015-07-30
申请人：ハイジトロン,インク. , HYSITRON,INC.
发明人：サイランコウスキー,エドワード , アシフ,サイドアマヌラサイド , メジャー,ライアン , ラスグ,デレク , フォン,ユーシン
IPC分类号： G02B21/26 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： G01N3/04 , G01N3/42 , G02B21/26 , G02B21/32 , G21K5/10 , H01J37/20 , G01N2203/0026 , G01N2203/0206 , H01J2237/202 , H01J2237/2062 , H01J2237/28
摘要：【課題】複数の観察加工装置のチャンバー内で使用可能な、複数自由度のサンプルステージと機械的テスト装置を含むテストアセンブリを提供する。【解決手段】機械的テスト装置114および複数自由度サンプルステージアセンブリ116が、それぞれ線形ステージアセンブリ210、204により移動可能にテストアセンブリプラットフォーム200に結合される。複数自由度サンプルステージ116は、線形ステージアセンブリに結合される回転及び傾きアセンブリ206を含む。機械的テスト装置114はサンプルステージ面208に対して移動可能に構成される。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种包含多个自由度的样品台和可用于观察处理装置的多个室的机械测试装置的测试组件。解决方案：机械测试装置114和样品台组件116 多个自由度分别通过线性平台组件210,204可移动地联接到测试组件平台200。多个自由度的样品台116包括联接到线性台组件的旋转和倾斜组件206。机械测试装置114被配置为相对于样品台面208可移动。选择的图示：图2

6. 发明专利

JP2015521734A ミクロンまたはナノスケールでの機械的試験用環境コンディショニングアセンブリ有权
标题翻译：机械测试环境调节组件在微米级或纳米级
公开(公告)号：JP2015521734A
公开(公告)日：2015-07-30
申请号：JP2015517243
申请日：2013-03-14
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：ウィリアムシュミッツ，ロジャー , ウィリアムシュミッツ，ロジャー , ディー．ハンゲン，ウベ , ディー．ハンゲン，ウベ , ポールケラネン，ルーカス , ポールケラネン，ルーカス , メジャー，ライアン , オー，ユンジェ , ヴィーレッジ，ジェレミア , デイビッドヤング，クリストファー , デイビッドヤング，クリストファー
IPC分类号： G01N3/42 , G01N3/00
CPC分类号： G01N1/28 , F28F9/26 , G01B3/00 , G01N1/44 , G01N3/42 , G01N19/00 , G01N27/14
摘要：ミクロン以下のスケールでの機械的試験に使用する環境コンディショニングアセンブリ。アセンブリは、内部に環境キャビティを有する包囲筐体を含む。試料ステージは環境キャビティ内に配置され、任意で試料ヒーターを含む。包囲筐体は試料ステージを取り囲むキャビティ周囲を含み、包囲筐体は、環境キャビティと試料ステージを包囲筐体の外部の環境から隔離する。一つの実施例において、膨張・縮小リンケージは、環境キャビティ内での加熱または冷却の変動によって試料ステージ上の試料の高さが変わらないよう維持する。試験機器アクセスポートは包囲筐体を通り環境キャビティ内へと延在する。【選択図】図2
摘要翻译：美光环境调节组件，在规模以下的机械测试使用。组件包括其中具有腔室的环境周围的外壳。样品台被放置在腔体包括一个样本加热器是可选的环境中。封闭外壳包括围绕所述样品台的腔体周边，围绕壳体隔离环绕壳体外部环境的环境腔和样品台。在一个实施例中，膨胀和收缩连杆保持不通过在环境中的腔中的加热或冷却的变化而变化在样品台上的样品的高度。测试仪接入口延伸周围的外壳到街道环境腔。 .The

7. 发明专利

JP2014533365A プローブ先端加熱アセンブリ有权
标题翻译：探针尖端加热组件
公开(公告)号：JP2014533365A
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：JP2014541415
申请日：2012-11-14
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：シュミッツ，ロジャー , オー，ユンジェ
IPC分类号： G01N3/42
CPC分类号： G01N3/40 , G01N3/42 , G01N2203/0226 , G01N2203/0282 , G01Q30/02 , G01Q30/10 , G01Q60/366 , H05B3/03
摘要：ミクロン以下のスケールでの機械的テスト用に構成された加熱アセンブリ。加熱アセンブリは、機械的テストシステムのトランスデューサと結合するために構成されたプローブ先端アセンブリを含む。プローブ先端アセンブリは、加熱素子を有するプローブ先端ヒータシステムと、プローブ先端ヒータシステムと結合するプローブ先端と、ヒータソケットアセンブリとを含む。ヒータソケットアセンブリは、一例では、ヒータソケットアセンブリ内でソケットを形成するヨーク及びヒータインタフェースを含む。プローブ先端と結合する、プローブ先端ヒータシステムは、ソケット内にスライド自在に受け取られ且つクランプされる。【選択図】図6
摘要翻译：配置加热组件，其用于以下尺度微米的机械测试。加热组件包括被配置为耦合机械测试系统的所述换能器的探针尖端组件。探针尖端组件包括具有加热元件的探针尖端加热器系统，探针的尖端结合到探针尖端加热器系统，加热器插座组件。加热器插座组件在一个示例中包括一磁轭和加热器接口，以形成在加热器插座组件的插座。结合到探针尖端，该探针尖端加热器系统是和在插座钳位接收滑动。点域6

8. 发明专利

JP2014511566A Nano-mechanical test system 审中-公开
公开(公告)号：JP2014511566A
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：JP2013553607
申请日：2012-02-10
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：ジェイムズヴォドニック，デイビッド , ドワイヴェディ，アーピット , ポールケラネン，ルーカス , デイビッドオカールンド，マイケル , シュミッツ，ロジャー , リーウォーレン，オーデン , デイビッドヤング，クリストファー
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： G01P21/00 , G01B11/27 , G01B21/047 , G01N3/02 , G01N3/42 , G01N19/00 , G01N2203/0082 , G01N2203/0286 , G01Q40/00 , G01Q60/366 , Y10T29/49826
摘要：自動テストシステムは、メカニカルテスト装置で、ミクロン（数ミクロン）あるいは、それ以下のスケールで、サンプルのインライン製造テストを促進するシステムと方法を含む。一例では、システムは、装置のプローブを結合、離脱するプローブ変更アセンブリを含む。プローブ変更アセンブリは、プローブマガジン内の複数のプローブの一つをつかみ、プローブの一つを装置プローブ受けに結合するように構成されたプローブ変更ユニットを含む。アクチュエータは、プローブ変更ユニットに結合され、アクチュエータは、プローブ変更ユニットを、プローブマガジンと装置プローブ受けへと移動し、アラインメントさせるように構成されている。他の例では、自動テストシステムは、サンプルテスト位置を装置とアラインメントするための複数自由度ステージを含む。ステージは、サンプルステージと、並進及び回転アクチュエータを含むステージアクチュエータアセンブリを含む。

9. 发明申请

US20130247682A1 MICRO/NANO-MECHANICAL TEST SYSTEM EMPLOYING TENSILE TEST HOLDER WITH PUSH-TO-PULL TRANSFORMER 有权
标题翻译：微型/纳米机械测试系统采用推拉变压器的拉伸测试台
公开(公告)号：US20130247682A1
公开(公告)日：2013-09-26
申请号：US13888959
申请日：2013-05-07
申请人： Hysitron Inc.
发明人： Yunje Oh , Edward Cyrankowski , Zhiwei Shan , Syed Amanula Syed Asif
IPC分类号： G01L1/00
CPC分类号： G01L1/005 , B81C99/005 , G01N3/08 , G01N2203/0286 , G01N2203/0647
摘要： A micromachined or microelectromechanical system (MEMS) based push-to-pull mechanical transformer for tensile testing of micro-to-nanometer scale material samples including a first structure and a second structure. The second structure is coupled to the first structure by at least one flexible element that enables the second structure to be moveable relative to the first structure, wherein the second structure is disposed relative to the first structure so as to form a pulling gap between the first and second structures such that when an external pushing force is applied to and pushes the second structure in a tensile extension direction a width of the pulling gap increases so as to apply a tensile force to a test sample mounted across the pulling gap between a first sample mounting area on the first structure and a second sample mounting area on the second structure.
摘要翻译：一种用于对包括第一结构和第二结构的微米至纳米尺度材料样品的拉伸测试的基于微机械或微机电系统（MEMS）的推挽式机械变压器。第二结构通过至少一个可使第二结构相对于第一结构运动的柔性元件耦合到第一结构，其中第二结构相对于第一结构设置，以便在第一结构之间形成牵引间隙以及第二结构，使得当在拉伸延伸方向上施加外推力并推动所述第二结构时，所述牵引间隙的宽度增加，以便对安装在所述牵引间隙上的第一样品第一结构上的安装区域和第二结构上的第二样品安装区域。

10. 发明专利

JP6379197B2 アセンブリを変更する装置及びそのための方法审中-公开
公开(公告)号：JP6379197B2
公开(公告)日：2018-08-22
申请号：JP2016531930
申请日：2014-08-01
申请人：ハイジトロン,インク. , HYSITRON,INC.
发明人：ダーマ,ラジブ , ツィーゲルマン,スヴェトラーナ
IPC分类号： G01N3/42
CPC分类号： B23P19/04 , B23P19/10 , G01D18/00 , G01N3/42 , G01N19/04 , G01N2203/0078 , G01N2203/0202 , G01N2203/0206 , G01N2203/0286 , G01Q60/366 , G01Q70/02

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