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1. 发明申请

US20160131532A1 MEASUREMENT OBJECT, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF AND DEVICE FOR THE THERMAL TREATMENT OF SUBSTRATES 有权
标题翻译：测量对象及其生产方法及用于热处理基板的装置
公开(公告)号：US20160131532A1
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：US14898175
申请日：2014-06-13
申请人： CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人： Dieter Zernickel , Steffen Mueller
IPC分类号： G01J5/08
CPC分类号： G01J5/08 , F28F13/185 , G01J5/0007 , G01J5/0887 , G01J5/522 , H01L21/67115 , H01L21/68735 , H01L21/6875
摘要： A measuring object for use in a heating apparatus for the thermal treatment of substrates is described, wherein the measuring object is the substrate to be treated or an object which in use has a substantially known temperature relation to the substrate to be treated, wherein the measuring object comprises a surface having at least one surface area, which acts as a measuring surface for an optical temperature measurement. A predetermined structure in the form of a plurality of recessions is formed in the surface area, in order to influence the emissivity of the surface area.
摘要翻译：描述了用于基板热处理的加热装置中的测量对象，其中测量对象是待处理的基板或使用中的物体与待处理的基板具有基本上已知的温度关系，其中测量物体包括具有至少一个表面积的表面，其用作用于光学温度测量的测量表面。为了影响表面积的发射率，在表面区域形成有多个凹部形式的预定结构。

2. 发明专利

TW201704563A 晶舟以及晶圓處理裝置审中-公开
简体标题：晶舟以及晶圆处理设备
公开(公告)号：TW201704563A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW105110509
申请日：2016-04-01
申请人：山特森光伏股份有限公司 , CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人：科利克麥可 , KLICK, MICHAEL , 羅特拉爾夫 , ROTHE, RALF , 萊爾希韋費德 , LERCH, WILFRIED , 雷利約翰尼斯 , REHLI, JOHANNES
IPC分类号： C30B25/12 , H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/673 , C23C16/458
CPC分类号： C23C14/34 , B65G21/20 , H01J37/32715 , H01L21/28 , H01L21/67313 , H01L21/67316
摘要：用於盤狀晶圓的電漿處理的晶舟，盤狀晶圓尤其是用於半導體或光伏打應用的半導體晶圓；及一種晶圓用電漿處理裝置。晶舟包括：多個第一載體元件，平行於彼此而定位，每一載體元件具有用於固持晶圓或晶圓對的邊緣的多個載體縫隙；以及多個第二載體元件，平行於彼此而定位，多個第二載體元件各自導電且具有用於固持至少一個晶圓或一個晶圓對的邊緣區的至少一個凹痕。替代性晶舟包括多個導電板狀載體元件，多個導電板狀載體元件平行於彼此而定位且小於待攜載的晶圓的高度的一半，載體元件各自在其對置側上具有用於固持晶圓的至少三個載體元件。晶舟可固持於電漿處理裝置的處理腔室中，且電漿處理裝置包括控制或調節處理腔室中的處理氣體氣氛的工具，且電漿處理裝置亦包括至少一個電壓源，至少一個電壓源可以合適方式而與晶舟的導電載體元件連接以便在固持於晶舟中的直接鄰近晶圓之間供應電壓。
简体摘要：用于盘状晶圆的等离子处理的晶舟，盘状晶圆尤其是用于半导体或光伏打应用的半导体晶圆；及一种晶圆用等离子处理设备。晶舟包括：多个第一载体组件，平行于彼此而定位，每一载体组件具有用于固持晶圆或晶圆对的边缘的多个载体缝隙；以及多个第二载体组件，平行于彼此而定位，多个第二载体组件各自导电且具有用于固持至少一个晶圆或一个晶圆对的边缘区的至少一个凹痕。替代性晶舟包括多个导电板状载体组件，多个导电板状载体组件平行于彼此而定位且小于待携载的晶圆的高度的一半，载体组件各自在其对置侧上具有用于固持晶圆的至少三个载体组件。晶舟可固持于等离子处理设备的处理腔室中，且等离子处理设备包括控制或调节处理腔室中的处理气体气氛的工具，且等离子处理设备亦包括至少一个电压源，至少一个电压源可以合适方式而与晶舟的导电载体组件连接以便在固持于晶舟中的直接邻近晶圆之间供应电压。

3. 发明专利

TW200914634A 提供硫屬元素之方法及裝置 METHOD AND ARRANGEMENT FOR PROVIDING CHALCOGENS 审中-公开
简体标题：提供硫属元素之方法及设备 METHOD AND ARRANGEMENT FOR PROVIDING CHALCOGENS
公开(公告)号：TW200914634A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：TW097134932
申请日：2008-09-11
申请人：中心熱光電股份公司 CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人：迪特爾施密德 DIETER SCHMID , 藍哈爾德倫茨 REINHARD LENZ , 羅伯特麥克哈爾頓 ROBERT MICHAEL HARTUNG
IPC分类号： C23C , C03C
CPC分类号： C23C14/228 , C03C17/22 , C23C14/0623 , C23C14/50 , C23C14/541 , C23C14/564 , C23C14/5806
摘要：本發明係關於一種以薄層形式提供硫屬元素於基質上的方法及裝置,特別是於使用前驅物層所製備及由任何所欲物質所組成的平面基質上,較佳為在由浮式平板玻璃所組成的基質上。本發明係意欲提供一種非常快速及成本有效的硫屬元素塗佈方法,特別是用於施用在100奈米至10微米範圍內的硫屬元素薄層,或是這些物質的混合物,於平面基質上,及亦提供適合用於進行該方法的裝置。此係由形成用於傳送通道(6)的氧氣密封閉合蓋的進口-及出口-側氣幕於氣相沉積頭(11),引入惰性氣體進入該傳送通道(6)以置換大氣氧,引入一或更多要塗佈基質(3),該基質係溫度調節至預先決定溫度,至加工室(1)的傳送通道(6),引入來自一種來源的硫屬元素蒸氣/載氣混合物至在基質(3)上方的氣相沉積頭的傳送通道(6)及藉由PVD於預先決定壓力形成硒層於基質上,及在經過預先決定加工時間之後移除基質(3)而完成。
简体摘要：本发明系关于一种以薄层形式提供硫属元素于基质上的方法及设备,特别是于使用前驱物层所制备及由任何所欲物质所组成的平面基质上,较佳为在由浮式平板玻璃所组成的基质上。本发明系意欲提供一种非常快速及成本有效的硫属元素涂布方法,特别是用于施用在100奈米至10微米范围内的硫属元素薄层,或是这些物质的混合物,于平面基质上,及亦提供适合用于进行该方法的设备。此系由形成用于发送信道(6)的氧气密封闭合盖的进口-及出口-侧气幕于气相沉积头(11),引入惰性气体进入该发送信道(6)以置换大气氧,引入一或更多要涂布基质(3),该基质系温度调节至预先决定温度,至加工室(1)的发送信道(6),引入来自一种来源的硫属元素蒸气/载气混合物至在基质(3)上方的气相沉积头的发送信道(6)及借由PVD于预先决定压力形成硒层于基质上,及在经过预先决定加工时间之后移除基质(3)而完成。

4. 发明申请

US20160111319A1 Retainer, Method For Producing Same And Use Thereof 审中-公开
标题翻译：保持器，生产方法和使用方法
公开(公告)号：US20160111319A1
公开(公告)日：2016-04-21
申请号：US14896530
申请日：2014-06-05
申请人： CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人： HANS-PETER VOELK , ALEXANDER PIECHULLA , ULRICH WALK , JENS-UWE FUCHS , DIETER ZERNICKEL
IPC分类号： H01L21/687 , H01L31/18 , F28F13/18 , C23C16/50 , C23C16/32 , H01L21/02 , H01L31/0216
CPC分类号： H01L21/68757 , C23C16/325 , C23C16/50 , F28F13/18 , H01L21/0214 , H01L21/02164 , H01L21/0217 , H01L21/02274 , H01L21/68714 , H01L21/68771 , H01L31/02167 , H01L31/18 , H01L31/1876
摘要： A retainer has a coating composed of silicon carbide, glassy carbon or pyrolytic carbon on its surface. A method for producing the retainer and the use of the retainer in a plasma-driven vapor deposition are also provided.
摘要翻译：保持器具有由碳化硅，玻璃碳或热解碳表面组成的涂层。还提供了用于制造保持器的方法和在等离子体驱动的气相沉积中使用保持器。

5. 发明专利

TW201706445A 晶舟、晶圓處理裝置以及晶圓處理方法审中-公开
简体标题：晶舟、晶圆处理设备以及晶圆处理方法
公开(公告)号：TW201706445A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW105110489
申请日：2016-04-01
申请人：山特森光伏股份有限公司 , CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人：科利克麥可 , KLICK, MICHAEL , 羅特拉爾夫 , ROTHE, RALF , 萊爾希韋費德 , LERCH, WILFRIED , 雷利約翰尼斯 , REHLI, JOHANNES
IPC分类号： C23C16/458 , C30B25/12 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67313 , C23C16/4587 , C23C16/505 , H01J37/32715 , H01J37/32724 , H01J37/32733 , H01J37/32908 , H01J37/3299 , H01L21/02123 , H01L21/324 , H01L21/67109 , H01L21/67383 , H01L21/67754 , H01L21/67757 , H01L21/68771
摘要：本發明描述一種用於盤狀晶圓的電漿處理的晶舟，盤狀晶圓尤其是用於半導體或光伏打應用的半導體晶圓，晶舟具有由導電材料製成的平行於彼此而定位的多個板，多個板面向另一板的每一側上具有用於晶圓的至少一個載體且界定板的載體區。亦提供多個間隔元件，定位於直接鄰近板之間以便平行地定位板，其中間隔元件導電。亦描述一種晶圓用電漿處理裝置以及一種用於晶圓的電漿處理的方法。裝置具有用於收納先前所描述的類型的晶舟的處理室、用於控制或調節處理腔室中的處理氣體氣氛的調控工具、以及至少一個電壓源，至少一個電壓源可以合適方式而與晶舟的板連接，以便在晶舟的直接鄰近板之間施加電壓，其中至少一個電壓源適合於施加至少一個DC電流或至少一個低頻AC電流以及至少一個高頻AC電流。在方法中，在加熱階段期間，將DC電流或低頻AC電流施加至晶舟的板使得間隔元件由於流動通過間隔元件的電流而變熱，且在處理階段期間，將高頻AC電流施加至晶舟的板以便在插入至板中的晶圓之間產生電漿。
简体摘要：本发明描述一种用于盘状晶圆的等离子处理的晶舟，盘状晶圆尤其是用于半导体或光伏打应用的半导体晶圆，晶舟具有由导电材料制成的平行于彼此而定位的多个板，多个板面向另一板的每一侧上具有用于晶圆的至少一个载体且界定板的载体区。亦提供多个间隔组件，定位于直接邻近板之间以便平行地定位板，其中间隔组件导电。亦描述一种晶圆用等离子处理设备以及一种用于晶圆的等离子处理的方法。设备具有用于收纳先前所描述的类型的晶舟的处理室、用于控制或调节处理腔室中的处理气体气氛的调控工具、以及至少一个电压源，至少一个电压源可以合适方式而与晶舟的板连接，以便在晶舟的直接邻近板之间施加电压，其中至少一个电压源适合于施加至少一个DC电流或至少一个低频AC电流以及至少一个高频AC电流。在方法中，在加热阶段期间，将DC电流或低频AC电流施加至晶舟的板使得间隔组件由于流动通过间隔组件的电流而变热，且在处理阶段期间，将高频AC电流施加至晶舟的板以便在插入至板中的晶圆之间产生等离子。

6. 发明专利

TW201529444A 晶圓裝載皿及用於處理半導體晶圓之設備审中-公开
简体标题：晶圆装载皿及用于处理半导体晶圆之设备
公开(公告)号：TW201529444A
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW103144504
申请日：2014-12-19
申请人：山特森光伏AG , CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人：里查安德利斯 , REICHART, ANDREAS , 凱勒安德利斯 , KELLER, ANDREAS
IPC分类号： B65D85/90
CPC分类号： H01L21/67316 , H01L21/67109 , H01L21/67313
摘要：本發明提供一種用於收納晶圓特別是晶圓裝載皿。晶圓裝載皿包括：由石英製成之至少兩個細長收納元件，每一收納元件具有多個平行收納槽，收納槽橫切於收納元件之縱向延伸而延伸；以及兩個端板，收納元件配置並附接於兩個端板之間，使得收納元件之收納槽對準。為增加穩定性，晶圓裝載皿包括多個附接零件，收納元件經由附接零件附接至端板，其中每一附接零件的圓周為包括收納槽的收納元件之收納區段之圓周的至少1.5倍大，且其中每一附接零件經焊接或接合至以下各物中之至少一者：端板及收納元件。在可與以上實施例組合之另外實施例中，收納元件各自具有鄰近於端板之至少一個鬆弛槽、較佳具有至少兩個鬆弛槽，所述鬆弛槽具有小於收納槽之深度的深度。當提供至少兩個鬆弛槽時，鬆弛槽之深度隨距端板之距離增加而增加。
简体摘要：本发明提供一种用于收纳晶圆特别是晶圆装载皿。晶圆装载皿包括：由石英制成之至少两个细长收纳组件，每一收纳组件具有多个平行收纳槽，收纳槽横切于收纳组件之纵向延伸而延伸；以及两个端板，收纳组件配置并附接于两个端板之间，使得收纳组件之收纳槽对准。为增加稳定性，晶圆装载皿包括多个附接零件，收纳组件经由附接零件附接至端板，其中每一附接零件的圆周为包括收纳槽的收纳组件之收纳区段之圆周的至少1.5倍大，且其中每一附接零件经焊接或接合至以下各物中之至少一者：端板及收纳组件。在可与以上实施例组合之另外实施例中，收纳组件各自具有邻近于端板之至少一个松弛槽、较佳具有至少两个松弛槽，所述松弛槽具有小于收纳槽之深度的深度。当提供至少两个松弛槽时，松弛槽之深度随距端板之距离增加而增加。

7. 发明专利

TWI424073B 熱轉換金屬前驅物層至半導體層及／或太陽能模組之方法及裝置有权
简体标题：热转换金属前驱物层至半导体层及／或太阳能模块之方法及设备
公开(公告)号：TWI424073B
公开(公告)日：2014-01-21
申请号：TW097134931
申请日：2008-09-11
申请人：中心熱光電股份公司 , CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人：迪特爾施密德 , DIETER SCHMID , 藍哈爾德倫茨 , REINHARD LENZ , 羅伯特麥克哈爾頓 , ROBERT MICHAEL HARTUNG
IPC分类号： C23C14/06 , C23C14/34 , C23C14/22 , H01L31/0224
CPC分类号： C23C14/228 , C03C17/22 , C23C14/0623 , C23C14/50 , C23C14/541 , C23C14/564 , C23C14/5806

8. 发明专利

TW201703109A 晶圓用的電漿處理裝置审中-公开
简体标题：晶圆用的等离子处理设备
公开(公告)号：TW201703109A
公开(公告)日：2017-01-16
申请号：TW105110497
申请日：2016-04-01
申请人：山特森光伏股份有限公司 , CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人：科利克麥可 , KLICK, MICHAEL , 羅特拉爾夫 , ROTHE, RALF , 萊爾希韋費德 , LERCH, WILFRIED , 雷利約翰尼斯 , REHLI, JOHANNES
IPC分类号： H01L21/02 , H01J37/32 , H01L21/673 , H01L31/18
CPC分类号： H01L21/67313 , C23C16/509 , H01J37/32082 , H01J37/32577 , H01J37/32715 , H01L21/67326
摘要：為了提供高頻波至晶舟中的改良式引入，提供一種晶圓用電漿處理裝置，晶圓尤其是用於半導體或光伏打應用的半導體晶圓，其中裝置包括：處理室，用於固持晶舟，晶舟具有用於晶圓的多個導電載體元件；控制或調節處理室中的處理氣體氣氛的調控工具；以及至少一個電壓源，可藉助於饋入至處理室中的電纜而與晶舟連接。電纜呈具有內部導體以及外部導體的同軸電纜的形式，且在內部導體與外部導體之間提供介電質使得當施加高頻電壓時，同軸電纜中的電磁波的傳播速度以及波長相對於真空中的電磁波的傳播速度以及波長縮減。
简体摘要：为了提供高频波至晶舟中的改良式引入，提供一种晶圆用等离子处理设备，晶圆尤其是用于半导体或光伏打应用的半导体晶圆，其中设备包括：处理室，用于固持晶舟，晶舟具有用于晶圆的多个导电载体组件；控制或调节处理室中的处理气体气氛的调控工具；以及至少一个电压源，可借助于馈入至处理室中的电缆而与晶舟连接。电缆呈具有内部导体以及外部导体的同轴电缆的形式，且在内部导体与外部导体之间提供介电质使得当施加高频电压时，同轴电缆中的电磁波的传播速度以及波长相对于真空中的电磁波的传播速度以及波长缩减。

9. 发明专利

TW200914633A 熱轉換金屬前驅物層至半導體層及/或太陽能模組之方法及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR THERMALLY CONVERTING METALLIC PRECURSOR LAYERS INTO SEMICONDUCTOR LAYERS, AND ALSO SOLAR MODULE 审中-公开
简体标题：热转换金属前驱物层至半导体层及/或太阳能模块之方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR THERMALLY CONVERTING METALLIC PRECURSOR LAYERS INTO SEMICONDUCTOR LAYERS, AND ALSO SOLAR MODULE
公开(公告)号：TW200914633A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：TW097134931
申请日：2008-09-11
申请人：中心熱光電股份公司 CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人：迪特爾施密德 DIETER SCHMID , 藍哈爾德倫茨 REINHARD LENZ , 羅伯特麥克哈爾頓 ROBERT MICHAEL HARTUNG
IPC分类号： C23C , H01L
CPC分类号： C23C14/228 , C03C17/22 , C23C14/0623 , C23C14/50 , C23C14/541 , C23C14/564 , C23C14/5806
摘要：本發明係關於一種將基質上的金屬前驅物層熱轉換至半導體層的方法,及亦關於一種實行該方法及於基質上製造太陽能模組之裝置。本發明的目的在於提供一種用於將任何所欲基質上的金屬層熱轉換至半傳導層的加速及簡單實現的快速方法,及亦提供一種適合用於執行該方法及用於製造具有高效率的太陽能模組之裝置。此是憑藉至少以金屬前驅物層(10)預先製備的基質(4)於分割為複數個溫度區域的爐子(1)中進行加熱而達到,加熱係在約大氣壓力的壓力下,以複數個步驟加熱至達到400℃及600℃之間的結束溫度之預定溫度及係於包含載氣及蒸氣相硫屬元素的混合物之大氣中轉換至半傳導層並且維持結束溫度。
简体摘要：本发明系关于一种将基质上的金属前驱物层热转换至半导体层的方法,及亦关于一种实行该方法及于基质上制造太阳能模块之设备。本发明的目的在于提供一种用于将任何所欲基质上的金属层热转换至半传导层的加速及简单实现的快速方法,及亦提供一种适合用于运行该方法及用于制造具有高效率的太阳能模块之设备。此是凭借至少以金属前驱物层(10)预先制备的基质(4)于分割为复数个温度区域的炉子(1)中进行加热而达到,加热系在约大气压力的压力下,以复数个步骤加热至达到400℃及600℃之间的结束温度之预定温度及系于包含载气及蒸气相硫属元素的混合物之大气中转换至半传导层并且维持结束温度。

10. 发明专利

TW200824141A 太陽能電池保護方法审中-公开
简体标题：太阳能电池保护方法
公开(公告)号：TW200824141A
公开(公告)日：2008-06-01
申请号：TW096138333
申请日：2007-10-12
申请人：中心熱光電股份公司 CENTROTHERM PHOTOVOLTAICS AG
发明人：亞歷山大豪澤爾 ALEXANDER HAUSER , 哈拉爾德旺卡 HARALD WANKA , 湯瑪斯沛爾瑙 THOMAS PERNAU , 羅伯特麥克哈爾頓 ROBERT MICHEAL HARTUNG
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L31/1868 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：本發明係關於矽太陽能電池之製造,尤其是一種使結晶矽太陽能電池鈍化之方法,這種方法是先在一適當的裝置內使結晶矽在溫度影響下經由一擴散過程與磷摻雜,以製成一種二極體,然後利用一種電漿法經由氮化矽沉積使矽表面鈍化及減反射。本發明的目的是提出一種使太陽能電池鈍化的方法,而且這種方法能夠以最小的花費達到使太陽能電池的效能明顯改善的效果。為達到上述目的,本發明提出之方法的特徵是在沉積出氮化矽之前先以乾蝕法在蝕刻電漿中將靠近矽毛胚表面之含有高濃度磷的“死層"去除掉。
简体摘要：本发明系关于硅太阳能电池之制造,尤其是一种使结晶硅太阳能电池钝化之方法,这种方法是先在一适当的设备内使结晶硅在温度影响下经由一扩散过程与磷掺杂,以制成一种二极管,然后利用一种等离子法经由氮化硅沉积使硅表面钝化及减反射。本发明的目的是提出一种使太阳能电池钝化的方法,而且这种方法能够以最小的花费达到使太阳能电池的性能明显改善的效果。为达到上述目的,本发明提出之方法的特征是在沉积出氮化硅之前先以干蚀法在蚀刻等离子中将靠近硅毛胚表面之含有高浓度磷的“死层"去除掉。

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