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    • 8. 发明专利
    • リーク検査システム、プログラム
    • JP2020027028A
    • 2020-02-20
    • JP2018151893
    • 2018-08-10
    • 株式会社ガスター浦田 暎三
    • 浦田 暎三
    • G01M3/26
    • 【課題】測定期間の低減し、温度の影響を除去して高精度で漏れを判断できるリーク検査システムを提供する。 【解決手段】ワークとマスタを大気圧P E 開放から封止後の両容器内圧の差圧を所定期間測定した後、続けてワークとマスタを試験圧に加圧して封止後の差圧を所定期間測定し、大気圧封止測定で得た差圧曲線の勾配(差圧の変化率)の差分が許容値以下になる時の測定時刻T a とその時の差圧の変化率Qを求め、試験圧封止測定で得た差圧曲線の勾配の差分が許容値以下になる時の測定時刻T b とその時の差圧の変化率Rを求め、T a からT b まで連続計時した場合の時間差をT S とし、漏れL=R−exp(−T S /大時定数)×(P T /P E )×Qの演算でワークの漏れを判断する。大時定数はワークとマスタを大気圧開放から封止後の両容器内圧の差圧の温度に基づく変化を支配する二つの時定数のうち大きい方であり情報処理装置で求めてリーク検査装置に入力する。 【選択図】図1