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1. 发明专利

TW200837319A 連續式燒成爐 CONTINUOUS FIRING FURNACE 审中-公开
简体标题：连续式烧成炉 CONTINUOUS FIRING FURNACE
公开(公告)号：TW200837319A
公开(公告)日：2008-09-16
申请号：TW096128399
申请日：2007-08-02
申请人：光洋熱系統股份有限公司 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.
发明人：山本章仁 YAMAMOTO AKIHITO
IPC分类号： F27B , H01J
摘要：本發明之連續式烘焙爐可對玻璃基板等處理對象物之整個表面進行高效地冷卻,不會於處理對象物上產生局部性翹曲或變形而可實現冷卻處理之短時間化。於連續式烘焙爐10之冷卻室15設置有導入導管1及排氣導管2。導入導管1及排氣導管2於冷卻室15上側之內壁面15A,遍及爐寬方向Y之大致整個區域而開口。導入導管1朝向搬送方向X之上游側噴出空氣。排氣導管2於搬送方向X上的導入導管1之上游側,排出冷卻室15內之空氣。於輥子16上搬送的處理對象物100之上方,遍及爐寬方向Y之大致整個區域均勻地形成有經冷卻之外部氣體的流路。處理對象物100之整個上表面與空氣均勻地接觸。
简体摘要：本发明之连续式烘焙炉可对玻璃基板等处理对象物之整个表面进行高效地冷却,不会于处理对象物上产生局部性翘曲或变形而可实现冷却处理之短时间化。于连续式烘焙炉10之冷却室15设置有导入导管1及排气导管2。导入导管1及排气导管2于冷却室15上侧之内壁面15A,遍及炉宽方向Y之大致整个区域而开口。导入导管1朝向搬送方向X之上游侧喷出空气。排气导管2于搬送方向X上的导入导管1之上游侧,排出冷却室15内之空气。于辊子16上搬送的处理对象物100之上方,遍及炉宽方向Y之大致整个区域均匀地形成有经冷却之外部气体的流路。处理对象物100之整个上表面与空气均匀地接触。

2. 发明专利

TW200810008A 基板載置台及熱處理裝置 SUBSTRATE STAGE AND HEAT TREATMENT APPARATUS 审中-公开
简体标题：基板载置台及热处理设备 SUBSTRATE STAGE AND HEAT TREATMENT APPARATUS
公开(公告)号：TW200810008A
公开(公告)日：2008-02-16
申请号：TW096123318
申请日：2007-06-27
申请人：國立大學法人東北大學 TOHOKU UNIVERSITY , 未來視野股份有限公司 FUTURE VISION INC. , 光洋熱系統股份有限公司 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 村岡祐介 MURAOKA, YUSUKE , 宮路恭祥 MIYAJI, YASUYOSHI , 長島靖 NAGASHIMA, YASUSHI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/6875 , C25D11/04 , C25D11/16 , H01L21/67103 , H01L21/68757 , H01L21/68778
摘要：本發明係提供一種具有高耐磨性且不產生剝離帶電之基板載置台。其在用於載置於載置台本體11上形成之基板W之載置面12,藉由壓花加工形成特定之壓花形狀E之後,藉由陽極氧化處理形成非晶質狀態之氧化鋁膜A。非晶質結構之氧化鋁膜A緻密且堅固。因此,本發明不僅具有高耐磨性,且可以大體防止剝離帶電。
简体摘要：本发明系提供一种具有高耐磨性且不产生剥离带电之基板载置台。其在用于载置于载置台本体11上形成之基板W之载置面12,借由压花加工形成特定之压花形状E之后,借由阳极氧化处理形成非晶质状态之氧化铝膜A。非晶质结构之氧化铝膜A致密且坚固。因此,本发明不仅具有高耐磨性,且可以大体防止剥离带电。

3. 发明专利

TW200730421A 熱處理裝置 HEAT TREATMENT APPARATUS 失效
简体标题：热处理设备 HEAT TREATMENT APPARATUS
公开(公告)号：TW200730421A
公开(公告)日：2007-08-16
申请号：TW095113361
申请日：2006-04-14
申请人：光洋熱系統股份有限公司 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.
发明人：高田文男 TAKATA FUMIO
IPC分类号： B65G , H01L
摘要： (課題)在進行無載置方式之熱處理時,能以廉價成本提早且確實地檢測在爐內發生的被處理物破裂。(解決手段)使沿搬送路徑配置在搬送滾柱2之下方的各複數個耐熱玻璃32之一部份露出爐外作為露出部5,並配置振動感測器4於該露出部5。根據振動感測器4之檢測信號,檢測被搬送物之一部分因破裂之發生而往耐熱玻璃32上落下。此時,停止搬送滾柱2旋轉。
简体摘要： (课题)在进行无载置方式之热处理时,能以廉价成本提早且确实地检测在炉内发生的被处理物破裂。(解决手段)使沿搬送路径配置在搬送滚柱2之下方的各复数个耐热玻璃32之一部份露出炉外作为露出部5,并配置振动传感器4于该露出部5。根据振动传感器4之检测信号,检测被搬送物之一部分因破裂之发生而往耐热玻璃32上落下。此时,停止搬送滚柱2旋转。

4. 发明专利

TW200605190A 烘烤裝置 BAKING DEVICE 失效
简体标题：烘烤设备 BAKING DEVICE
公开(公告)号：TW200605190A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：TW093121292
申请日：2004-07-16
申请人：光洋熱系統股份有限公司 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.
发明人：浦西芳和 URANISHI, YOSHIKAZU
IPC分类号： H01L
摘要：本發明之目的在提供一種可降低消耗電力、可縮小裝置的橫向尺寸、進而削減裝置成本的烘烤裝置。本發明之烘烤裝置，其具備有：烘烤爐11；於烘烤爐11內的兩側面各自具有的加熱器12；具有沿爐長方向延伸相互間隔的2個搬運路徑、且在各搬運路徑上將基板P與搬運方向呈平行豎立狀態予以搬運的搬運裝置13；及延伸於兩搬運路徑之間的進氣管31與排氣管32。
简体摘要：本发明之目的在提供一种可降低消耗电力、可缩小设备的横向尺寸、进而削减设备成本的烘烤设备。本发明之烘烤设备，其具备有：烘烤炉11；于烘烤炉11内的两侧面各自具有的加热器12；具有沿炉长方向延伸相互间隔的2个搬运路径、且在各搬运路径上将基板P与搬运方向呈平行竖立状态予以搬运的搬运设备13；及延伸于两搬运路径之间的进气管31与排气管32。

5. 发明专利

TW200730782A 熱處理裝置 HEAT TREATMENT APPARATUS 审中-公开
简体标题：热处理设备 HEAT TREATMENT APPARATUS
公开(公告)号：TW200730782A
公开(公告)日：2007-08-16
申请号：TW095113350
申请日：2006-04-14
申请人：光洋熱系統股份有限公司 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.
发明人：浦西芳和 URANISHI YOSHIKAZU , 田博 KAJITA HIROSHI , 森本巖穗 MORIMOTO IWAO
IPC分类号： F27B , G02F
摘要： (課題)本發明之目的在於:防止氣體從搬送路徑中之第1均熱區域流入至其他區域,而在跨越搬送路徑整體內使清淨度維持在很高的狀態。(解決手段)本發明解決之手段在於:在第1升溫區域51及第1均熱區域52中,具備排氣箱6及第1導入管7。排氣箱6將在第1均熱區域因加熱而由被處理物所產生之氣體排出至外部。第1導入管7將清淨空氣導入至第1升溫區域51。搬送路徑5之中,在第1升溫區域51及第1均熱區域52以外之區域之第2升溫區域53、第2均熱區域54、徐冷區域55及冷卻區域56等,,於其搬送滾柱2之上方處,沿搬送路徑5配置複數之第2導入管4,使其長度方向與搬送路徑5之方向正交。第2導入管4將清淨空氣導入至第1升溫區域51及第1均熱區域52以外之區域。
简体摘要： (课题)本发明之目的在于:防止气体从搬送路径中之第1均热区域流入至其他区域,而在跨越搬送路径整体内使清净度维持在很高的状态。(解决手段)本发明解决之手段在于:在第1升温区域51及第1均热区域52中,具备排气箱6及第1导入管7。排气箱6将在第1均热区域因加热而由被处理物所产生之气体排出至外部。第1导入管7将清净空气导入至第1升温区域51。搬送路径5之中,在第1升温区域51及第1均热区域52以外之区域之第2升温区域53、第2均热区域54、徐冷区域55及冷却区域56等,,于其搬送滚柱2之上方处,沿搬送路径5配置复数之第2导入管4,使其长度方向与搬送路径5之方向正交。第2导入管4将清净空气导入至第1升温区域51及第1均热区域52以外之区域。

6. 发明专利

TW200730420A 熱處理裝置 HEAT TREATMENT APPARATUS 审中-公开
简体标题：热处理设备 HEAT TREATMENT APPARATUS
公开(公告)号：TW200730420A
公开(公告)日：2007-08-16
申请号：TW095113352
申请日：2006-04-14
申请人：光洋熱系統股份有限公司 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.
发明人：浦西芳和 URANISHI YOSHIKAZU , 田博 KAJITA HIROSHI , 森本巖穗 MORIMOTO IWAO
IPC分类号： B65G , H01L
CPC分类号： C03B35/167 , C03B25/08 , C03B35/16
摘要： (課題)本發明之目的在於提供一種熱處理裝置,使配置作為防塵壁之各個複數片耐熱玻璃之接合部分中不形成間隙,確實防止從外壁構件和加熱器所產生之塵埃侵入至搬送路徑內,因此能提高搬送路徑內之清淨度。(解決手段)將上面複數耐熱玻璃31配置於排氣箱4之上面的上方處。各耐熱玻璃31之配置,使搬送路徑下游側之端部31A,跟與下游側鄰接之其他耐熱玻璃31的上游側之端部31B的上方重合。在該重合部分處,可配置耐熱之密封薄板。
简体摘要： (课题)本发明之目的在于提供一种热处理设备,使配置作为防尘壁之各个复数片耐热玻璃之接合部分中不形成间隙,确实防止从外壁构件和加热器所产生之尘埃侵入至搬送路径内,因此能提高搬送路径内之清净度。(解决手段)将上面复数耐热玻璃31配置于排气箱4之上面的上方处。各耐热玻璃31之配置,使搬送路径下游侧之端部31A,跟与下游侧邻接之其他耐热玻璃31的上游侧之端部31B的上方重合。在该重合部分处,可配置耐热之密封薄板。

7. 发明专利

TW200506304A 具有排氣處理單元之連續窯 CONTINUOUS KILN WITH UNIT OF DEALING WITH DISCHARGE GAS 审中-公开
简体标题：具有排气处理单元之连续窑 CONTINUOUS KILN WITH UNIT OF DEALING WITH DISCHARGE GAS
公开(公告)号：TW200506304A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：TW093110365
申请日：2004-04-14
申请人：光洋熱系統股份有限公司 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.
发明人：森本嚴穗 MORIMOTO, IWAO
IPC分类号： F27D
摘要：本發明係提供一種可吸入含有自被焙燒物產生之黏結劑揮發物之窯體內環境氣體且不殘留，並利用觸媒氧化分解(燃燒)黏結劑揮發物且進行排氣之具有排氣處理單元之連續窯。具有排氣處理單元之連續窯係將管狀或細長箱狀之氣體吸入構件設置在窯體內之上部與被焙燒物之搬送方向正交之方向，或設置在窯體內之側部與被焙燒物之搬送方向平行之方向，而前述氣體吸入構件係大致橫跨全長地形成多數吸入氣體之孔或縫隙，且該氣體含有自被焙燒物產生之黏結劑揮發物者，又，於自該氣體吸入構件朝窯體外導出之排氣管路中途，設置有內建觸媒載體之排氣處理單元，且該觸媒載體係載持有氧化分解前述黏結劑揮發物之觸媒且可自由通氣者。
简体摘要：本发明系提供一种可吸入含有自被焙烧物产生之黏结剂挥发物之窑体内环境气体且不残留，并利用触媒氧化分解(燃烧)黏结剂挥发物且进行排气之具有排气处理单元之连续窑。具有排气处理单元之连续窑系将管状或细长箱状之气体吸入构件设置在窑体内之上部与被焙烧物之搬送方向正交之方向，或设置在窑体内之侧部与被焙烧物之搬送方向平行之方向，而前述气体吸入构件系大致横跨全长地形成多数吸入气体之孔或缝隙，且该气体含有自被焙烧物产生之黏结剂挥发物者，又，于自该气体吸入构件朝窑体外导出之排气管路中途，设置有内置触媒载体之排气处理单元，且该触媒载体系载持有氧化分解前述黏结剂挥发物之触媒且可自由通气者。

8. 发明专利

TW200848145A 熱回收裝置 HEAT RECOVERY APPARATUS 审中-公开
简体标题：热回收设备 HEAT RECOVERY APPARATUS
公开(公告)号：TW200848145A
公开(公告)日：2008-12-16
申请号：TW096128403
申请日：2007-08-02
申请人：光洋熱系統股份有限公司 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.
发明人：長靖 NAGASHIMA YASUSHI , 佐佐木泰浩 SASAKI YASUHIRO
IPC分类号： B01D , F24J , F28F
CPC分类号： Y02E20/348 , Y02P10/265
摘要：本發明提供一種熱回收裝置,其較習知之熱回收裝置,可提高熱回收效率並抑制製造成本。熱回收裝置100具備熱交換單元4、主預熱室12及副預熱室13。於主預熱室12設置有高溫室2。於副預熱室13設置有低溫室3。熱交換單元4自高溫室2回收熱並使回收至低溫室3之熱發散。副預熱室13在低溫氣體之通氣路徑中構成低溫室3之前段,主預熱室12在低溫氣體之通氣路徑中構成副預熱室13之前段。主預熱室12內,低溫氣體吸收自高溫室2所漏出之熱。
简体摘要：本发明提供一种热回收设备,其较习知之热回收设备,可提高热回收效率并抑制制造成本。热回收设备100具备热交换单元4、主预热室12及副预热室13。于主预热室12设置有高温室2。于副预热室13设置有低温室3。热交换单元4自高温室2回收热并使回收至低温室3之热发散。副预热室13在低温气体之通气路径中构成低温室3之前段,主预热室12在低温气体之通气路径中构成副预热室13之前段。主预热室12内,低温气体吸收自高温室2所漏出之热。

9. 发明专利

TW200743772A 加熱裝置 HEAT TREATMENT APPARATUS 审中-公开
简体标题：加热设备 HEAT TREATMENT APPARATUS
公开(公告)号：TW200743772A
公开(公告)日：2007-12-01
申请号：TW095127678
申请日：2006-07-28
申请人：光洋熱系統股份有限公司 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.
发明人：長靖 NAGASHIMA YASUSHI
IPC分类号： F27D
CPC分类号： C03B29/025
摘要：本發明之目的在於提供一種藉由對構成加熱槽之內壁面中至少前面的金屬板採用雙金屬,不造成裝置之大型化或成本之高漲及設計或調整作業之複雜化,即可防止加熱槽之前面在厚度方向的熱變形,進而能實現加熱槽內溫度分佈之均勻化並降低熱損失的加熱裝置。本發明的解決手段在於,加熱槽1之內壁面的前面構件41以由高熱膨脹材料之外面側材料411與低熱膨脹材料之內面側材料412接合而成之雙金屬構成。例如,外面側材料411為SUS304,內面側材料412為SUS430。因開口部2之開閉而在前面構件41之外面側與內面側間產生溫度梯度之情況下,前面構件41亦不會在厚度方向上發生變形。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种借由对构成加热槽之内壁面中至少前面的金属板采用双金属,不造成设备之大型化或成本之高涨及设计或调整作业之复杂化,即可防止加热槽之前面在厚度方向的热变形,进而能实现加热槽内温度分布之均匀化并降低热损失的加热设备。本发明的解决手段在于,加热槽1之内壁面的前面构件41以由高热膨胀材料之外面侧材料411与低热膨胀材料之内面侧材料412接合而成之双金属构成。例如,外面侧材料411为SUS304,内面侧材料412为SUS430。因开口部2之开闭而在前面构件41之外面侧与内面侧间产生温度梯度之情况下,前面构件41亦不会在厚度方向上发生变形。

10. 发明专利

TW200417709A 熱處理裝置 HEAT TREATMENT APPARATUS 审中-公开
简体标题：热处理设备 HEAT TREATMENT APPARATUS
公开(公告)号：TW200417709A
公开(公告)日：2004-09-16
申请号：TW092104426
申请日：2003-03-03
申请人：光洋熱系統股份有限公司 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.
发明人：長靖 YASUSHI NAGASHIMA
IPC分类号： F24C
CPC分类号： C03B29/025 , C03B35/20
摘要：【課題】例如，在進行彩色濾光器之燒成的技術領域所使用之熱處理裝置中，係為提供一種將不會導致熱處理裝置之大型化或加熱設備之高成本化等缺點，而可解決在爐口部附近部分之溫度降低的問題。【解決手段】具備有將熱風之量調整呈在爐口部附近形成較多狀之風量調整裝置19。風量調整裝置19係具備有被設在熱處理室R之一端側的吹出板21、以及被設在另一端側之吸入板22。藉由在吹出板21與爐口側之爐壁1a內面之間設有所定之間隙S，而使吹出板21之爐口部4附近之開口率大於其他部分，且藉由在吸入板22與爐口側之爐壁1a內面之間設有所定之間隙S，而使吸入板22之爐口部4附近之開口率大於其他部分。
简体摘要：【课题】例如，在进行彩色滤光器之烧成的技术领域所使用之热处理设备中，系为提供一种将不会导致热处理设备之大型化或加热设备之高成本化等缺点，而可解决在炉口部附近部分之温度降低的问题。【解决手段】具备有将热风之量调整呈在炉口部附近形成较多状之风量调整设备19。风量调整设备19系具备有被设在热处理室R之一端侧的吹出板21、以及被设在另一端侧之吸入板22。借由在吹出板21与炉口侧之炉壁1a内面之间设有所定之间隙S，而使吹出板21之炉口部4附近之开口率大于其他部分，且借由在吸入板22与炉口侧之炉壁1a内面之间设有所定之间隙S，而使吸入板22之炉口部4附近之开口率大于其他部分。

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