会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 1. 发明申请
    • MODULAR MICROWAVE PLASMA SOURCE
    • 模块化微波等离子体源
    • WO2018034690A1
    • 2018-02-22
    • PCT/US2017/013984
    • 2017-01-18
    • APPLIED MATERIALS,INC.
    • KRAUS, Philip AllanCHUA, Thai Cheng
    • H01J37/32H05H1/46
    • Embodiments include a modular microwave source. In an embodiment, the modular microwave source comprises a voltage control circuit, a voltage controlled oscillator, where an output voltage from the voltage control circuit drives oscillation in the voltage controlled oscillator. The modular microwave source may also include a solid state microwave amplification module coupled to the voltage controlled oscillator,. In an embodiment, the solid state microwave amplification module amplifies an output from the voltage controlled oscillator. The modular microwave source may also include an applicator coupled to the solid state microwave amplification module, where the applicator is a dielectric resonator.
    • 实施例包括模块化微波源。 在一个实施例中,模块化微波源包括电压控制电路,压控振荡器,其中来自电压控制电路的输出电压驱动压控振荡器中的振荡。 模块化微波源还可以包括耦合到压控振荡器的固态微波放大模块。 在一个实施例中,固态微波放大模块放大压控振荡器的输出。 模块化微波源还可以包括耦合到固态微波放大模块的施加器,其中施加器是介电谐振器。