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1. 发明专利

TW201825860A 凸塊高度之光學量測审中-公开
简体标题：凸块高度之光学量测
公开(公告)号：TW201825860A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106127073
申请日：2017-08-10
申请人：美商澤塔儀器公司 , ZETA INSTRUMENTS, INC.
发明人：索塔曼隆尼 , SOETARMAN, RONNY , 許詹姆士建國 , XU, JAMES JIANGUO
IPC分类号： G01B11/02 , G01B11/24 , G01B9/04 , G06T1/00 , G06T7/60
摘要：一種產生三維資訊之方法包含：按預定步階變更該樣本與該光學顯微鏡之一物鏡之間的距離；在各預定步階處擷取一影像；判定各經擷取影像中之各像素之一特性值；針對各經擷取影像判定跨該經擷取影像中之像素之一第一部分之最大特性值；比較各經擷取影像之該最大特性值以判定各預定步階處是否存在該樣本之一表面；判定聚焦在該樣本之一凸塊之一頂點上之一第一經擷取影像；基於各經擷取影像中之各像素之該特性值判定聚焦在該樣本之一第一表面上之一第二經擷取影像；及判定該凸塊之該頂點與該第一表面之間的一第一距離。
简体摘要：一种产生三维信息之方法包含：按预定步阶变更该样本与该光学显微镜之一物镜之间的距离；在各预定步阶处截取一影像；判定各经截取影像中之各像素之一特性值；针对各经截取影像判定跨该经截取影像中之像素之一第一部分之最大特性值；比较各经截取影像之该最大特性值以判定各预定步阶处是否存在该样本之一表面；判定聚焦在该样本之一凸块之一顶点上之一第一经截取影像；基于各经截取影像中之各像素之该特性值判定聚焦在该样本之一第一表面上之一第二经截取影像；及判定该凸块之该顶点与该第一表面之间的一第一距离。

2. 发明专利

TW201809592A 自動化三維量測审中-公开
简体标题：自动化三维量测
公开(公告)号：TW201809592A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106127066
申请日：2017-08-10
申请人：美商澤塔儀器公司 , ZETA INSTRUMENTS, INC.
发明人：許詹姆士建國 , XU, JAMES JIANGUO , 索塔曼隆尼 , SOETARMAN, RONNY
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02 , G06T7/00
CPC分类号： G02B21/0028 , G02B21/008 , G06T7/0004 , G06T2207/10056 , G06T2207/30148
摘要：一種使用一光學顯微鏡產生一樣本之三維資訊之方法包含：按預定步階變更該樣本與該光學顯微鏡之一物鏡之間的距離；在各預定步階處擷取一影像。在一個實例中，該方法進一步包含：判定各經擷取影像中之各像素之一特性；針對各經擷取影像判定跨該經擷取影像中之所有像素之最大特性；及比較各經擷取影像之該最大特性以判定各步階處是否存在該樣本之一表面。在另一實例中，該方法進一步包含：判定各經擷取影像中之各像素之一特性；針對各經擷取影像判定具有一第一範圍內之一特性值之一像素計數；及基於各經擷取影像之該像素計數判定各步階處是否存在該樣本之一表面。
简体摘要：一种使用一光学显微镜产生一样本之三维信息之方法包含：按预定步阶变更该样本与该光学显微镜之一物镜之间的距离；在各预定步阶处截取一影像。在一个实例中，该方法进一步包含：判定各经截取影像中之各像素之一特性；针对各经截取影像判定跨该经截取影像中之所有像素之最大特性；及比较各经截取影像之该最大特性以判定各步阶处是否存在该样本之一表面。在另一实例中，该方法进一步包含：判定各经截取影像中之各像素之一特性；针对各经截取影像判定具有一第一范围内之一特性值之一像素计数；及基于各经截取影像之该像素计数判定各步阶处是否存在该样本之一表面。

3. 发明专利

TW201818064A 晶圓中開口尺寸之光學量測审中-公开
简体标题：晶圆中开口尺寸之光学量测
公开(公告)号：TW201818064A
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：TW106127075
申请日：2017-08-10
申请人：美商澤塔儀器公司 , ZETA INSTRUMENTS, INC.
发明人：許詹姆士建國 , XU, JAMES JIANGUO , 索塔曼隆尼 , SOETARMAN, RONNY , 李建新 , LEE, KEN KINSUN , 卡蘇里亞尼太蓋 , KATHURIA, NITIGYA
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G06T7/00 , H01L21/66 , H01L21/67
摘要：一種使用一光學顯微鏡產生一樣本之三維資訊之方法包含：按預定步階變更該樣本與該光學顯微鏡之一物鏡之間的距離；在各預定步階處擷取一影像；判定各經擷取影像中之各像素之一特性值；基於各經擷取影像中之各像素之該特性值判定聚焦在該樣本之一第一表面上之一第一經擷取影像；及基於該第一經擷取影像判定該樣本之該第一表面中之一開口之一量測。該樣本之該第一表面及該樣本之第二表面在該等經擷取影像之各者之一視場內。該第一經擷取影像包含一圖案覆疊層。在另一實例中，使用不具有一圖案覆疊層之一第二經擷取影像判定該開口量測。
简体摘要：一种使用一光学显微镜产生一样本之三维信息之方法包含：按预定步阶变更该样本与该光学显微镜之一物镜之间的距离；在各预定步阶处截取一影像；判定各经截取影像中之各像素之一特性值；基于各经截取影像中之各像素之该特性值判定聚焦在该样本之一第一表面上之一第一经截取影像；及基于该第一经截取影像判定该样本之该第一表面中之一开口之一量测。该样本之该第一表面及该样本之第二表面在该等经截取影像之各者之一视场内。该第一经截取影像包含一图案覆叠层。在另一实例中，使用不具有一图案覆叠层之一第二经截取影像判定该开口量测。

4. 发明专利

TW201812705A 步階大小及鍍金屬厚度之光學量測审中-公开
简体标题：步阶大小及镀金属厚度之光学量测
公开(公告)号：TW201812705A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106127070
申请日：2017-08-10
申请人：美商澤塔儀器公司 , ZETA INSTRUMENTS, INC.
发明人：許詹姆士建國 , XU, JAMES JIANGUO , 索塔曼隆尼 , SOETARMAN, RONNY , 哈朵諾布迪 , HARTONO, BUDI
IPC分类号： G06T15/08 , G06T7/521 , G01B11/06
CPC分类号： G02B21/244 , G02B21/0016 , G02B21/26 , G02B21/367 , G06T7/0006 , G06T7/571 , G06T2207/10028 , G06T2207/10056 , G06T2207/10148 , G06T2207/30148
摘要：一種產生三維資訊之方法包含：按預定步階變更樣本與光學顯微鏡之一物鏡之間的距離；在各預定步階處擷取一影像；判定各經擷取影像中之各像素之一特性值；針對各經擷取影像判定跨該經擷取影像中之所有像素之最大特性值；比較各經擷取影像之該最大特性值以判定各預定步階處是否存在該樣本之一表面；基於各經擷取影像中之各像素之該特性值判定聚焦在該樣本之一第一表面上之一第一經擷取影像；基於各經擷取影像中之各像素之該特性值判定聚焦在該樣本之一第二表面上之一第二經擷取影像；及判定該第一表面與該第二表面之間的一第一距離。
简体摘要：一种产生三维信息之方法包含：按预定步阶变更样本与光学显微镜之一物镜之间的距离；在各预定步阶处截取一影像；判定各经截取影像中之各像素之一特性值；针对各经截取影像判定跨该经截取影像中之所有像素之最大特性值；比较各经截取影像之该最大特性值以判定各预定步阶处是否存在该样本之一表面；基于各经截取影像中之各像素之该特性值判定聚焦在该样本之一第一表面上之一第一经截取影像；基于各经截取影像中之各像素之该特性值判定聚焦在该样本之一第二表面上之一第二经截取影像；及判定该第一表面与该第二表面之间的一第一距离。

5. 发明申请

WO2012012265A2 3D MICROSCOPE AND METHODS OF MEASURING PATTERNED SUBSTRATES 审中-公开
标题翻译： 3D显微镜和测量图形基板的方法
公开(公告)号：WO2012012265A2
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：PCT/US2011/044045
申请日：2011-07-14
申请人： ZETA INSTRUMENTS, INC. , HOU, Zhen , XU, James Jianguo , LEE, Ken Kinsun , STAINTON, James Nelson , NGUYEN, Hung Phi , KUDINAR, Rusmin , SOETARMAN, Ronny
发明人： HOU, Zhen , XU, James Jianguo , LEE, Ken Kinsun , STAINTON, James Nelson , NGUYEN, Hung Phi , KUDINAR, Rusmin , SOETARMAN, Ronny
IPC分类号： H04N13/02 , H04N7/18
CPC分类号： G02B21/006 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/0168 , G02B21/0016 , G02B21/0028 , G02B21/0032 , G02B21/367 , G06T7/60 , G06T2207/10056 , G06T2207/10152 , G06T2207/20068 , G06T2207/30148
摘要： A three-dimensional (3D) microscope for patterned substrate measurement can include an objective lens, a reflected illuminator, a transmitted illuminator, a focusing adjustment device, an optical sensor, and a processor. The focusing adjustment device can automatically adjust the objective lens focus at a plurality of Z steps. The optical sensor can be capable of acquiring images at each of these Z steps. The processor can control the reflected illuminator, the transmitted illuminator, the focusing adjustment device, and the optical sensor. The processor can be configured to capture first and second images at multiple Z steps, the first image with the pattern using the reflected illuminator and the second image without the pattern using one of the reflected illuminator and the transmitted illuminator.
摘要翻译：用于图案化衬底测量的三维（3D）显微镜可以包括物镜，反射照明器，透射照明器，聚焦调节装置，光学传感器和处理器。聚焦调节装置可以在多个Z步骤自动调节物镜焦点。光学传感器能够在这些Z步骤的每个步骤中获取图像。处理器可以控制反射照明器，透射照明器，聚焦调节装置和光学传感器。处理器可以被配置成以多个Z步骤捕获第一和第二图像，第一图像使用反射照明器的图案，而不使用反射照明器和透射照明器之一的图案的第二图像。

6. 发明申请

WO2012094175A2 3D MICROSCOPE INCLUDING INSERTABLE COMPONENTS TO PROVIDE MULTIPLE IMAGING AND MEASUREMENT CAPABILITIES 审中-公开
标题翻译： 3D显微镜，包括提供多种成像和测量能力的绝对组件
公开(公告)号：WO2012094175A2
公开(公告)日：2012-07-12
申请号：PCT/US2011/067044
申请日：2011-12-22
申请人： ZETA INSTRUMENTS, INC. , XU, James Jianguo , LEE, Ken Kinsun , KUDINAR, Rusmin , SOETARMAN, Ronny , NGUYEN, Hung Phi , HOU, Zhen
发明人： XU, James Jianguo , LEE, Ken Kinsun , KUDINAR, Rusmin , SOETARMAN, Ronny , NGUYEN, Hung Phi , HOU, Zhen
IPC分类号： H04N13/02 , G02B21/06
CPC分类号： G02B21/06 , G02B21/0092 , G02B21/367
摘要： A three-dimensional (3D) microscope includes various insertable components that facilitate multiple imaging and measurement capabilities. These capabilities include Nomarski imaging, polarized light imaging, quantitative differential interference contrast (q-DIC) imaging, motorized polarized light imaging, phase-shifting interferometry (PSI), and vertical-scanning interferometry (VSI).
摘要翻译：三维（3D）显微镜包括各种可插入的部件，便于多个成像和测量功能。这些功能包括Nomarski成像，偏振光成像，定量微分干涉对比度（q-DIC）成像，电动偏振光成像，移相干涉测量（PSI）和垂直扫描干涉测量（VSI）。

7. 发明授权

US09921169B2 Method of detecting defect location using multi-surface specular reflection 有权
公开(公告)号：US09921169B2
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：US15159266
申请日：2016-05-19
申请人： Zeta Instruments, Inc.
发明人： Steven W. Meeks , Rusmin Kudinar , Ronny Soetarman , Hung P. Nguyen
IPC分类号： G01N21/55 , G01N21/958 , G01N21/94
CPC分类号： G01N21/958 , G01L1/00 , G01N21/21 , G01N21/55 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N2021/8854 , G01N2201/06113 , G01N2201/0683 , G01N2201/105 , G01N2201/1247
摘要： A method for detecting defects includes directing a scanning beam to a location on a surface of a transparent sample, measuring top and bottom surface specular reflection intensity, and storing coordinate values of the first location and the top and bottom surface specular reflection intensity in a memory. The method may further include comparing the top surface specular reflection intensity measured at each location with a first threshold value, comparing the bottom surface specular reflection intensity measured at each location with a second threshold value, and determining if a defect is present at each location and on which surface the defect is present. The method may further include comparing the top surface specular reflection intensity measured at each location with a first intensity range, comparing the bottom surface specular reflection intensity measured at each location with a second intensity range, and determining on which surface the defect is present.

8. 发明授权

US08848181B1 Multi-surface scattered radiation differentiation 有权
标题翻译：多面散射辐射分化
公开(公告)号：US08848181B1
公开(公告)日：2014-09-30
申请号：US13861383
申请日：2013-04-12
申请人： Steven W. Meeks , Rusmin Kudinar , Hung P. Nguyen
发明人： Steven W. Meeks , Rusmin Kudinar , Hung P. Nguyen
IPC分类号： G01N21/00 , G01N21/958
CPC分类号： G01N21/958 , G01N21/896 , G01N2021/8967
摘要： An optical inspector includes a radiating source, a time varying beam reflector, a telecentric scan lens, a first and second waveplate, a polarizing beam splitter, a first detector, a focusing lens, a blocker, and a second detector. The radiating source irradiates the first waveplate generating circularly polarized source beam that irradiates a first position of on the time varying beam reflector with a source beam. The time varying beam reflector directs the source beam to the telecentric scan lens, which in turn directs the source beam to a sample. Reflected radiation from a sample is directed to the second waveplate generating linearly polarized beam that irradiates the polarizing beam splitter which directs a portion of the reflected radiation to the first detector. Scattered radiation from the sample is directed by the focusing lens to the second detector. Contemporaneous measurements by the first and second detectors are compared to differentiate.
摘要翻译：光学检查器包括辐射源，时变光束反射器，远心扫描透镜，第一和第二波片，偏振分束器，第一检测器，聚焦透镜，阻挡器和第二检测器。辐射源照射产生圆偏振源光束的第一波片，其用源光束照射时变光束反射器上的第一位置。时变光束反射器将源光束引导到远心扫描透镜，然后将远光扫描透镜引导到源样品。来自样品的反射辐射被引导到产生线偏振光束的第二波片，该线偏振光束照射偏振分束器，其将一部分反射辐射引导到第一检测器。来自样品的散射辐射由聚焦透镜引导到第二检测器。将第一和第二检测器的同期测量值进行比较。

9. 发明授权

US08836935B1 Optical inspector with selective scattered radiation blocker 有权
标题翻译：具有选择性散射辐射阻挡剂的光学检查员
公开(公告)号：US08836935B1
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：US13861382
申请日：2013-04-12
申请人： Steven W. Meeks , Rusmin Kudinar , Hung P. Nguyen
发明人： Steven W. Meeks , Rusmin Kudinar , Hung P. Nguyen
IPC分类号： G01N21/00 , G01N21/958
CPC分类号： G01N21/958 , G01N2021/8967
摘要： An optical inspector includes a radiating source, a time varying beam reflector, a telecentric scan lens, a blocker, a focusing lens, an aperture, and a detector. The radiating source irradiates a first position of on the time varying beam reflector with a source beam. The time varying beam reflector directs the source beam to the telecentric scan lens, which in turn directs the source beam to a transparent sample. A portion of the source beam travels through the transparent sample to another surface. The blocker blocks scattered radiation originating at the other surface. Scattered radiation originating from the transparent sample is not redirected by the blocker and is focused by the focusing lens to a first focal plane. The focused scattered radiation passes through the aperture before irradiating the detector. The detector output an intensity measurement of the scattered radiation that irradiates the detector.
摘要翻译：光学检查器包括辐射源，时变光束反射器，远心扫描透镜，阻挡器，聚焦透镜，孔径和检测器。辐射源用源光束照射时变光束反射器上的第一位置。时变光束反射器将源光束引导到远心扫描透镜，然后再将源光束引导到透明样品。源光束的一部分穿过透明样品到另一表面。阻断剂阻止源于另一个表面的散射辐射。来自透明样品的散射辐射不被阻断剂重新导向，并被聚焦透镜聚焦到第一焦平面。聚焦的散射辐射在照射检测器之前穿过孔。检测器输出照射检测器的散射辐射的强度测量值。

10. 发明授权

US08830457B1 Multi-surface optical inspector 有权
标题翻译：多面光学检测仪
公开(公告)号：US08830457B1
公开(公告)日：2014-09-09
申请号：US13861378
申请日：2013-04-12
申请人： Zeta Instruments, Inc.
发明人： Steven W. Meeks , Rusmin Kudinar , Hung P. Nguyen
IPC分类号： G01N21/00 , G01N21/95 , G01N21/94
CPC分类号： G01N21/958 , G01N2021/8967
摘要： An optical inspector includes a radiating source, a time varying beam reflector, a telecentric scan lens, a first waveplate, a second waveplate, a polarizing beam splitter, and a detector. The radiating source irradiates the first waveplate with a linearly polarized source beam generating a circularly polarized source beam, which irradiates a first position of on the time varying beam reflector. The time varying beam reflector directs the source beam to the telecentric scan lens, which in turn directs the source beam to a transparent sample. The reflected radiation from the transparent sample is directed via the telecentric lens and the time varying beam reflector to the second waveplate, which converts circularly polarized reflected radiation to linearly polarized reflected radiation including radiation that is vertically polarized and radiation that is horizontally polarized. The polarizing beam splitter redirects vertically polarized reflected radiation to the detector while horizontally polarized reflected radiation passes through.
摘要翻译：光学检查器包括辐射源，时变光束反射器，远心扫描透镜，第一波片，第二波片，偏振分束器和检测器。辐射源用产生圆偏振源光束的线性偏振源光束照射第一波片，其照射时变光束反射器上的第一位置。时变光束反射器将源光束引导到远心扫描透镜，然后再将源光束引导到透明样品。来自透明样品的反射辐射经由远心透镜和时变光束反射器引导到第二波片，其将圆偏振的反射辐射转换成线性偏振的反射辐射，其包括垂直极化的辐射和水平偏振的辐射。偏振分束器将垂直偏振的反射辐射重定向到检测器，同时水平偏振的反射辐射通过。

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