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1. 发明申请

WO2003104781A1 METHOD FOR PATTERN INSPECTION 审中-公开
标题翻译：模式检查方法
公开(公告)号：WO2003104781A1
公开(公告)日：2003-12-18
申请号：PCT/JP2003/007378
申请日：2003-06-10
申请人： TOKYO SEIMITSU CO., LTD. , ACCRETECH (ISRAEL) LTD.
发明人： GESHEL, Mark , SHMUELI, Niv , FRIEDMANN, Gideon , BREGMAN-AMITAI, Orna
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G06T7/001 , G06T7/0006 , G06T2207/30148
摘要： A method for inspecting a patterned surface employs reference data related to the pattern to provide a map for identifying regions which are expected to generate equivalent images. These regions are then compared in an image-to-image comparison to identify possible defects. In a first implementation, the regions are related by local symmetry operators. In a second, disjoint corner features or other features are classified and similar features compared.
摘要翻译：用于检查图案化表面的方法使用与图案相关的参考数据，以提供用于识别预期产生等效图像的区域的图。然后在图像到图像比较中比较这些区域以识别可能的缺陷。在第一个实现中，这些区域与局部对称运算符相关。在第二，不相交的角特征或其他特征被分类和相似的特征进行比较。

2. 发明申请

WO1995014209A1 COORDINATE MEASURING INSTRUMENT 审中-公开
标题翻译：协调测量仪器
公开(公告)号：WO1995014209A1
公开(公告)日：1995-05-26
申请号：PCT/JP1993001702
申请日：1993-11-19
申请人： TOKYO SEIMITSU CO., LTD. , YOSHIOKA, Hiroki , MIYAMOTO, Hiroshi
发明人： TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
IPC分类号： G01B05/00
CPC分类号： G01B5/008
摘要： This invention provides a low-cost coordinate measuring instrument which has stable measurement accuracy and can keep straightness of an X guide (52C) constant. Guide members need not be fitted individually to a measurement table (64) because an upper surface and both side surfaces of the measurement table (64) are used as guide faces. A gap is secured between an extension end of a side air pad support member (55) and a lower part of the other column (52B) so that the extension end and the lower part of the other column (52B) are not interconnected, and thermal expansion/contraction of the side air pad support members (66, 70) in an X-axis direction is not transmitted through columns (52A, 52B) to the X guide (52C). Accordingly, the X guide (52C) does not undergo deformation.
摘要翻译：本发明提供一种具有稳定的测量精度并可以保持X导轨（52C）的直线度恒定的低成本坐标测量仪器。由于测量台（64）的上表面和两侧表面被用作导向面，因此导向构件不需要单独地安装在测量台（64）上。在侧气垫支撑构件（55）的延伸端和另一列（52B）的下部之间确保间隙，使得另一列（52B）的延伸端和下部不互连，并且侧气垫支撑构件（66,70）在X轴方向上的热膨胀/收缩不会通过列（52A，52B）传递到X导向件（52C）。因此，X导向件（52C）不发生变形。

3. 发明申请

WO1997020187A1 METHOD AND APPARATUS FOR AUTOMATIC SHAPE COMPUTING FOR CONTOUR SHAPE DETERMINING MACHINE 审中-公开
标题翻译：自动形状计算机用于轮廓形状测定机的方法与装置
公开(公告)号：WO1997020187A1
公开(公告)日：1997-06-05
申请号：PCT/JP1995002450
申请日：1995-11-30
申请人： TOKYO SEIMITSU CO., LTD. , KUME, Shigefumi
发明人： TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
IPC分类号： G01B21/20
CPC分类号： G06K9/48 , G01B21/20 , G06T7/12 , G06T2207/30164
摘要： An automatic shape computing method and apparatus for contour shape determining machines, by which the computation of a geometrical shape value and a geometrical shape boundary value from shape data is carried out. A geometrical shape boundary is set temporarily on the basis of the shape data obtained by measuring a work, and then geometrical shape computation regions except the areas in the vicinity of a temporarily set point, a measurement starting point and a measurement finishing point are set while geometrical shape value for each set geometrical shape computation region is computed as the geometrical shape based on the shape data is judged on the basis of the geometrical shape judgement conditions. A geometrical shape boundary value is computed on the basis of the computed geometrical shape value, and the results are outputted.
摘要翻译：一种用于轮廓形状确定机的自动形状计算方法和装置，通过该自动形状计算方法和装置，从形状数据计算几何形状值和几何形状边界值。基于通过测量工件获得的形状数据临时设置几何形状边界，然后设置除临时设定点，测量开始点和测量结束点附近的区域之外的几何形状计算区域，同时基于几何形状判断条件判断基于形状数据的几何形状来计算各组几何形状计算区域的几何形状值。基于计算出的几何形状值计算几何形状边界值，并输出结果。

4. 发明公开

KR20200133022A 웨이퍼의 가공 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20200133022A
公开(公告)日：2020-11-25
申请号：KR20207033283
申请日：2018-10-29
申请人： TOKYO SEIMITSU CO LTD
发明人： KATAOKA RYOSUKE , TAMOGAMI TAKASHI , OSHIDA SYUHEI
IPC分类号： H01L21/78 , B23K26/53 , H01L21/304 , H01L21/683
摘要： 웨이퍼의가공공정을간소화할수 있음과함께, 안정된품질의칩을효율적으로얻을수 있는웨이퍼의가공방법을제공한다. 웨이퍼 (W) 의표면에백그라인드테이프 (B) 를첩착하는테이프첩착공정과, 절단라인 (CL) 을따라웨이퍼 (W) 의이면으로부터레이저광을입사하여웨이퍼 (W) 의내부에개질영역을형성하는개질영역형성공정과, 개질영역이형성된웨이퍼 (W) 의이면을가공함으로써웨이퍼 (W) 의두께를얇게하는이면가공공정과, 웨이퍼 (W) 의표면에백그라인드테이프 (B) 를첩착한상태에서, 웨이퍼 (W) 의이면으로부터절단라인 (CL) 에하중을가하여, 웨이퍼 (W) 를절단라인 (CL) 을따라분할함으로써웨이퍼 (W) 를개개의칩 (T) 으로분할하는분할공정을갖는다.

5. 发明专利

DE112020003427B4 Messvorrichtung mit Antriebskörper zum Bewegen eines Detektors in vertikaler Richtung 未知
公开(公告)号：DE112020003427B4
公开(公告)日：2023-01-12
申请号：DE112020003427
申请日：2020-07-10
申请人： TOKYO SEIMITSU CO LTD
发明人： UEMURA HIROAKI
IPC分类号： G01B5/00 , F16H25/22 , G01B5/008 , G01B21/00
摘要： Messvorrichtung (10), umfassend:einen Detektor (26), der so konfiguriert ist, dass er eine Oberflächenposition eines zu messenden Objekts erfasst;einen Antriebskörper (20), der so konfiguriert ist, dass er den Detektor (26) stützt;einen Bewegungs- und Stützmechanismus (18, 18B, 20) mit einer Drehwelle (18), der so konfiguriert ist, dass er den Antriebskörper (20) durch Drehung der Drehwelle (18) in einer ersten Richtung nach unten bewegt und den Antriebskörper (20) durch Drehung der Drehwelle (18) in einer zweiten, der ersten Richtung entgegengesetzten Richtung nach oben bewegt;einen Motor (12), der so konfiguriert ist, dass er die Drehwelle (18) in der ersten Richtung oder in der zweiten Richtung dreht; undeinen Lader (16), der so konfiguriert ist, dass er ein Lastmoment auf die Drehwelle (18) ausübt, wobeider Lader (16) ein größeres Lastmoment auf die Drehung der Drehwelle (18) in der ersten Richtung als auf die Drehung der Drehwelle (18) in der zweiten Richtung ausübt, undder Lader (16) umfasst:eine Reibungsscheibe (42), die so gelagert ist, dass sie mit der Drehwelle (18) drehbar ist;zwei Reibungsbeläge (44A, 44B), die so konfiguriert sind, dass sie mit der Reibungsscheibe (42) in Kontakt kommen und die Reibungsscheibe (42) dazwischen mit einer vorbestimmten Druckkraft halten; undeine Einwegkupplung (40), die so konfiguriert ist, dass sie die Drehung der Drehwelle (18) in der ersten Richtung auf die Reibungsscheibe (42) überträgt und so konfiguriert ist, dass sie die Drehung der Drehwelle (18) in der zweiten Richtung nicht auf die Reibungsscheibe (42) überträgt.

6. 发明专利

DE112021001185T5 Verfahren zum Messen eines Werkstückdurchmessers und Vorrichtung zum Messen einer Werkstückrundheit 未知
公开(公告)号：DE112021001185T5
公开(公告)日：2022-12-08
申请号：DE112021001185
申请日：2021-02-10
申请人： TOKYO SEIMITSU CO LTD
发明人： TOMITA KOSUKE , TAKANASHI RYO
IPC分类号： G01B5/08 , G01B5/20 , G01B21/10
摘要： Bereitstellung eines Verfahrens zur Messung eines Werkstückdurchmessers und einer Rundheitsmessvorrichtung, die eine Durchmessermessung an einem Werkstück, das einen großen Durchmesser hat, ausführen können, ohne dass ein Referenzstück und ein horizontaler Arm mit einem langen Verfahrweg verwendet werden. Das Verfahren beinhaltet einen ersten Erfassungsschritt zum Erfassen von Positionen einer Sonde, während ein nicht kalibrierter Standard und ein Detektor relativ zueinander um einen Drehmittelpunkt in einem Zustand gedreht werden, in welchem die Sonde mit einer Umfangsfläche des Standards von einer Seite in einer Verschiebungsrichtung der Sonde her in Kontakt ist, einen zweiten Erfassungsschritt zum Erfassen der Positionen der Sonde, während der Standard und der Detektor relativ zueinander um den Drehmittelpunkt in einem Zustand gedreht werden, in welchem die Sonde mit der Umfangsfläche des Standards von einer weiteren Seite in der Verschiebungsrichtung her in Kontakt ist, einen Drehmittelpunktberechnungsschritt zum Berechnen der Position des Drehmittelpunkts auf der Grundlage der in dem ersten Erfassungsschritt und dem zweiten Erfassungsschritt erfassten Positionen der Sonde, einen dritten Erfassungsschritt zum Drehen eines Werkstücks und des Detektors relativ zueinander um den Drehmittelpunkt in einem Zustand, in welchem die Sonde mit dem Werkstück von der anderen Seite her in Kontakt ist, und einen Durchmesserberechnungsschritt zur Berechnung eines Durchmessers einer Umfangsfläche des Werkstücks.

7. 发明专利

DE112020005741T5 Oberflächenform-Messvorrichtung und Oberflächenform-Messverfahren 未知
公开(公告)号：DE112020005741T5
公开(公告)日：2022-09-08
申请号：DE112020005741
申请日：2020-11-05
申请人： TOKYO SEIMITSU CO LTD
发明人： SEKIMOTO MICHIHIRO
IPC分类号： B23Q3/18 , G01B5/20 , B23Q17/20
摘要： Es werden eine Oberflächenform-Messvorrichtung und ein Oberflächenform-Messverfahren bereitgestellt, die in der Lage sind, eine Verschlechterung der Messgenauigkeit zu unterdrücken, wenn ein Schalttisch auf einem Drehtisch montiert wird, um die Oberflächenform eines Werkstücks zu messen. Die Oberflächenform-Messvorrichtung umfasst: einen Drehtisch, der so konfiguriert ist, dass er ein Werkstück darauf platziert und frei um eine Rotationsmittelachse drehbar ist; und einen Detektor, der eine Sonde enthält, die mit dem auf dem Drehtisch platzierten Werkstück in Kontakt gebracht wird, wobei der Detektor so konfiguriert ist, dass er eine Verschiebung der Sonde erfasst. Der Drehtisch hat einen Zentriermechanismus, der so konfiguriert ist, dass er eine Mittelachse des Werkstücks und die Rotationsmittelachse ausrichtet. Es ist ein Schalttisch vorgesehen, der frei abnehmbar auf dem Drehtisch montiert ist, wobei der Schalttisch so konfiguriert ist, dass er in der Lage ist, eine Indexierung entlang einer ersten Achse und einer zweiten Achse durchzuführen, die senkrecht zur Rotationsmittelachse stehen. Es ist ein Mittel zur Aufhebung der exzentrischen Last vorgesehen, das so konfiguriert ist, dass es eine durch die Indexierung des Schalttisches verursachte exzentrische Last aufhebt.

8. 发明专利

GB202200034D0 Measurement apparatus 未知
公开(公告)号：GB202200034D0
公开(公告)日：2022-02-16
申请号：GB202200034
申请日：2020-07-10
申请人： TOKYO SEIMITSU CO LTD
摘要： A problem of the present invention is to provide a measurement apparatus in which load torques are similar when ascending and descending by using a mechanism that does not require a complicated structure, is completed with a rigid body of only the weight of a driven body, is driven by the moment of inertia of only the weight of the driven body, is not limited in acceleration, and is free of disturbances such as coupled forces. The abovementioned problem is solved by a measurement device comprising: a detector that detects a surface position of a measurement target; a driven body that supports the detector; a movement support mechanism that is provided with a rotary shaft, causes the driven body to descend through rotation of the rotary shaft in a first direction, and causes the driven body to ascend through rotation of the rotary shaft in a second direction, which is a direction opposite the first direction; a motor that rotates the rotary shaft in the first direction or the second direction; and a load device that applies a load torque to the rotary shaft, and applies a larger load torque to rotation in the first direction than rotation in the second direction of the rotary shaft.

9. 发明专利

GB202112849D0 Three-dimensional measuring system, and three-dimensional measuring method 未知
公开(公告)号：GB202112849D0
公开(公告)日：2021-10-27
申请号：GB202112849
申请日：2020-03-12
申请人： TOKYO SEIMITSU CO LTD
摘要： The three-dimensional measuring method includes: a conveying step of conveying a workpiece to be measured by a robot arm configured to change an attitude of the workpiece; a measuring step of performing three-dimensional measurement on the workpiece by a probe configured to be movable relative to the surface plate in a state in which the workpiece is held by the robot arm; a relative-position change detecting step of detecting a change in a relative position between the surface plate and the robot arm; and a vibration correcting step of correcting a result of the measurement performed on the workpiece in the measuring step based on a result of detection performed in the relative-position change detecting step.

10. 发明专利

DE112018001621B4 DETEKTOR, OBERFLÄCHENEIGENSCHAFTEN-MESSVORRICHTUNG UND RUNDHEITSMESSVORRICHTUNG 未知
公开(公告)号：DE112018001621B4
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：DE112018001621
申请日：2018-03-22
申请人： TOKYO SEIMITSU CO LTD
发明人： MORII HIDEKI
IPC分类号： G01B5/012 , G01B5/016 , G01B5/20
摘要： Detektor (24), umfassend:einen Fühler (102), der konfiguriert ist, um einen Kontakt zu halten, der mit einer Oberfläche eines Messobjekts (W) in Kontakt gebracht wird;einen Halter (106), der konfiguriert ist, um den Fühler (102) zu halten;einen Messabschnitt (110), der konfiguriert ist, um den Halter (106) mit einer Drehwelle (108) schwenkbar zu halten und eine Verschiebung des Halters (106) zu erfassen; undeinen Körper (100), der konfiguriert ist, um den Messabschnitt (110) aufzunehmen,wobei der Halter (106) den Fühler (102) so hält, dass eine Fühlerachse (c), die eine longitudinale Achse des Fühlers (102) ist, und eine Körperachse (b), die eine longitudinale Achse des Körpers (100) ist, parallel zueinander sind, und die Fühlerachse (c) und die Körperachse (b) in einer ersten Richtung orthogonal zur Körperachse (b) und zu einer longitudinalen Achse der Drehwelle (108) versetzt sind, undein Abstand in der ersten Richtung zwischen der Körperachse (b) und einer Position, in der der Kontakt mit dem Messobjekt (W) in Kontakt gebracht wird, größer ist als ein Abstand in der ersten Richtung zwischen der Körperachse (b) und einer Außenumfangsfläche des Körpers (100).

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