专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2000077338A Control of semiconductor manufacturing apparatus 有权
标题翻译：半导体制造设备的控制
公开(公告)号：JP2000077338A
公开(公告)日：2000-03-14
申请号：JP24567098
申请日：1998-08-31
申请人： Nippon Sanso Kk , 日本酸素株式会社
发明人： AIDA TAKASHI , FUCHIGAMI KEITA , NOSAWA TAKESHI
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a method for controlling a semiconductor manufacturing apparatus, which can perform reliable control over the apparatus while taking advantages of a PLC and a PC, and which can easily create or change its operation procedures.
SOLUTION: Control of opening, closing or the like of valves provided in gas paths of a semiconductor manufacturing apparatus is carried out under control of a programmable logic controller(PLC) 11, the PC 13 converts commands of valve opening/closing operations, etc., described in the PLC 11 to names of devices such as valves to be operated and operation procedures of valve opening/closing, etc., and then stores them in the PC, the PC creates a step sequence in the form of a flowchart in the PC 13 with use of the device names and operation procedures, replaces instructions in the flowchart sequence by the above commands, outputs them to the PLC 11, accepts a control result from the PLC 11, and sequentially transmit the instructions to the PLC 11 to execute predetermined valve opening/closing operations, etc.
COPYRIGHT: (C)2000,JPO
摘要翻译：要解决的问题：实现一种用于控制半导体制造装置的方法，其可以在利用PLC和PC的优点的情况下对装置执行可靠的控制，并且可以容易地创建或改变其操作程序。解决方案：在可编程逻辑控制器（PLC）11的控制下进行在半导体制造装置的气体路径中设置的阀的打开，关闭等的控制，PC 13转换阀打开/关闭操作等的命令。，在PLC11中描述了要操作的阀门和阀门打开/关闭的操作过程等装置的名称，然后将其存储在PC中，PC以流程图形式形成步骤顺序 PC 13使用设备名称和操作步骤，通过上述命令替换流程图中的指令，将其输出到PLC 11，接受PLC 11的控制结果，并将指令顺序发送到PLC 11执行预定阀开/关操作等

2. 发明专利

JP2000074558A Air liquefaction separating device and air liquefaction separating method 审中-公开
标题翻译：空气液化分离装置和空气液化分离方法
公开(公告)号：JP2000074558A
公开(公告)日：2000-03-14
申请号：JP24418998
申请日：1998-08-28
申请人： Nippon Sanso Kk , Ooita Sanso Center:Kk , 日本酸素株式会社 , 株式会社大分サンソセンター
发明人： NARITA MASATOSHI , MATSUO YOSHIAKI
IPC分类号： F25J3/04 , F25J5/00
CPC分类号： F25J3/04703 , F25J3/04303 , F25J3/04412 , F25J3/04678 , F25J3/0469 , F25J3/048 , F25J3/04818 , F25J3/04824 , F25J2205/24 , F25J2235/58 , F25J2245/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an air liquefaction separating device and a method for operating this device in which a normal operating state can be reached within a short period of time when the device is restarted.
SOLUTION: There is provided an air liquefaction separating device in which a lower tower 14, an upper tower 15, and a crude argon tower 17 are installed to liquefy air, rectify it and recover oxygen, nitrogen and argon or the like. There is provided a crude argon tower condenser bypassing passage 45 for connecting an oxygen enriched liquefied air feeding passage 30 for feeding out oxygen enriched liquefied air from the lower part of the lower tower 14 and feeding it into a condenser 33 in the crude argon tower 17 with a passage 43 for feeding either non-evaporated oxygen enriched liquefied air or evaporated oxygen enriched air fed out of the condenser 33 to the upper tower and then the crude argon tower condenser bypassing passage 45 is provided with a bypass valve 46.
COPYRIGHT: (C)2000,JPO
摘要翻译：要解决的问题：提供一种空气液化分离装置和一种操作该装置的方法，其中当装置重新起动时，在短时间内可以达到正常运行状态。解决方案：提供一种空气液化分离装置，其中安装下塔14，上塔15和粗氩塔17以液化空气，对其进行整流并回收氧气，氮气和氩气等。提供了用于连接富氧液化空气供给通道30的粗氩塔冷凝器旁路通道45，用于从下塔14的下部供给富氧液化空气，并将其送入粗氩塔17中的冷凝器33 具有通道43，用于将从冷凝器33供给的非蒸发的富氧液化空气或蒸发的富氧空气进料到上塔，然后粗氩塔冷凝器旁路通道45设置有旁通阀46。

3. 发明专利

JP2992750B2 失效
公开(公告)号：JP2992750B2
公开(公告)日：1999-12-20
申请号：JP13812698
申请日：1998-05-20
申请人： NIPPON SANSO KK
发明人： YAMASHITA MITSURU , PPONDA HIDEYUKI , KAMIUCHI HISASHI , MIURA ATSUSHI
IPC分类号： F25J3/04

4. 发明专利

JP2987590B1 失效
公开(公告)号：JP2987590B1
公开(公告)日：1999-12-06
申请号：JP34496698
申请日：1998-12-04
申请人： NIPPON SANSO KK
发明人： USUI HISASHI , MAKINO KOJI , TANI YASUHEI , FUJITA MAMORU , NISHIMURA KATSUJI
IPC分类号： A23L3/36 , F25D3/11 , F25D13/06

5. 发明专利

JP2987541B2 失效
公开(公告)号：JP2987541B2
公开(公告)日：1999-12-06
申请号：JP1109194
申请日：1994-02-02
申请人： NIPPON SANSO KK
发明人： ARAI MADOKA , SUGANO TETSUYA , TAKAIKE AKIRA
IPC分类号： F25D3/10 , A23L3/36

6. 发明专利

JP2981959B2 失效
公开(公告)号：JP2981959B2
公开(公告)日：1999-11-22
申请号：JP13863693
申请日：1993-06-10
申请人： NIPPON DENKI GARASU KK , NIPPON SANSO KK
发明人： AKIMOTO TAKAKIMI , FUJIWARA MASAKI , SANAI HIROSHI , IINO KIMIO
IPC分类号： F23C99/00 , F23D11/02 , F23D11/10 , F23D11/24 , F23D11/38

7. 发明专利

JP2969358B2 失效
公开(公告)号：JP2969358B2
公开(公告)日：1999-11-02
申请号：JP27789089
申请日：1989-10-25
申请人： NIPPON SANSO KK
发明人： HONDA HIDEYUKI
IPC分类号： F25J3/04

8. 发明专利

JP2969356B2 失效
公开(公告)号：JP2969356B2
公开(公告)日：1999-11-02
申请号：JP14070589
申请日：1989-06-02
申请人： NIPPON SANSO KK
发明人： MORITA MINORU
IPC分类号： B01D53/04 , C01B13/02 , C01B21/04

9. 发明专利

JP2955864B2 失效
公开(公告)号：JP2955864B2
公开(公告)日：1999-10-04
申请号：JP15316989
申请日：1989-06-15
申请人： NIPPON SANSO KK
发明人： KANEKO TERUJI
IPC分类号： F25J3/04 , F25J3/08

10. 发明专利

JP2954681B2 失效
公开(公告)号：JP2954681B2
公开(公告)日：1999-09-27
申请号：JP25289290
申请日：1990-09-21
申请人： NIPPON SANSO KK
发明人： TOMIMOTO AKIO , IKEDA TAKUYA , TAKAHASHI SADASHI
IPC分类号： B01D53/46 , B01D53/34 , B01D53/64 , C01B33/04

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式