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1. 发明专利

KR102228208B1 KR102228208B1 - Tin-containing dopant compositions, systems and methods for use in ion implantation systems 有权
公开(公告)号：KR102228208B1
公开(公告)日：2021-03-17
申请号：KR1020187020606A
申请日：2016-12-22
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 아론 레이니컬 , 애쉬위니 케이. 신하 , 키옹 구오
IPC分类号： H01J37/317 , C07F7/22 , C09D5/24 , C23C14/48 , H01L21/265
CPC分类号： C07F7/2208 , C07F7/2224 , C09D5/24 , C23C14/48 , H01J37/317 , H01J37/3171 , H01J37/32412 , H01L21/26513 , H01L21/26546 , H01J2237/006
摘要： 이온 주입(ion implantation)을 위한 도펀트 공급원으로서 소정의 주석 화합물을 사용하기 위한 신규한 방법 및 시스템이 제공된다. 적합한 주석-함유 도펀트 공급원 물질은 하나 이상의 소정의 속성에 기초하여 선택된다. 이들 속성 중 일부에는 실온에서의 안정성; 그의 공급원 공급 장치(source supply)로부터 이온 챔버로 전달되기에 충분한 증기압, 및 요구되는 Sn 주입량(implant Sn dosage)을 달성하기 위해 이온 주입에 적합한 빔 전류를 생성하는 능력이 포함된다. 도펀트 공급원은 바람직하게는 작동 동안 안전성 및 신뢰성을 향상시키기 위해 대기압 미만 조건에서 작동하는 공급원 공급 장치로부터 전달된다.

2. 发明授权

KR102254534B1 버너에서의 소음 감소 有权
公开(公告)号：KR102254534B1
公开(公告)日：2021-05-20
申请号：KR1020207002252
申请日：2018-06-25
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 오라완누쿨,포라브 , 첸,레-린 , 담스테드,브래들리,디.
IPC分类号： F23D14/70 , F23M20/00
摘要： 연료및 기상산화제가버너내로공급되고연소되어버너의단부밖으로연장되는화염을생성하는버너에서, 버너에의해생성되는소음은금속판을통한구멍들의소정분포를갖는금속판 및금속필라멘트들의층, 및선택적으로제2 금속판으로구성되는배플을버너내로통합시킴으로써감소된다.

3. 发明授权

KR102141723B1 신규 흡착제 조성물 有权
公开(公告)号：KR102141723B1
公开(公告)日：2020-07-30
申请号：KR1020147034528
申请日：2013-06-20
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 바렛필립알렉산더 , 폰토니오스티븐존 , 케차지아페르세포니 , 스테펜슨닐앤드류 , 웨스톤케리씨
IPC分类号： B01J20/18 , B01J20/26 , B01J20/28 , B01D53/02

4. 发明授权

KR102093002B1 노에서 연소를 수행하는 방법 有权
公开(公告)号：KR102093002B1
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：KR1020177032959
申请日：2016-04-14
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 프랜시스,아서,더블유.쥬니어 , 코바야시,히사시 , 우,쾅-차이
IPC分类号： F23D14/22 , F23D14/66 , F23L7/00 , F23L15/02 , F23M5/02 , C03B5/235 , C03B5/237

5. 发明公开

KR1020160147751A 60 내지 85%의 산소를 포함하는 산화제를 이용한 축열 퍼니스의 작동 审中-实审
标题翻译： 60 85％含氧化合物的再生燃烧操作包含60至85％的氧气
公开(公告)号：KR1020160147751A
公开(公告)日：2016-12-23
申请号：KR1020167029061
申请日：2015-04-06
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 이요하오셈웽기우이
IPC分类号： C03B5/235 , F23L7/00 , F23L15/02 , F27D19/00
CPC分类号： F23L7/007 , C03B5/2353 , F23L15/02 , F27D17/004 , F27D2017/007 , Y02E20/344 , Y02E20/348 , Y02P10/122 , Y02P40/535 , Y02P40/55 , F27D2019/0043
摘要： 60 부피% 내지 85 부피%의산소를포함하는기체상산화제(15)가가열된축열기를거쳐퍼니스안으로통과하여, 산화제가산화제포트(20)로부터 500℃내지 1400℃의온도에서빠져나오도록가열되고, 기체상연료가 2개이상의연료포트(21, 22)를통해상기퍼니스에공급되고; 가열된산화제와연료가퍼니스에서연소되어충전물을가열하는상기연소의기체상고온생성물을생성하고; 이어서축열기를거쳐퍼니스안으로들어가는산화제의유동이중단되고, 상기연소생성물이상기산화제포트로상기냉각된축열기를거쳐그 밖으로통과하여상기축열기를가열하는것을포함하고, 여기서상기축열기밖으로통과하는연소생성물의온도는적어도 500℃이고; 산화제포트에대한연료포트의위치뿐만아니라, 산화제및 연료속도가제어되는것인, 충전물을가열하는, 충전물을함유하는퍼니스(1)의작동방법이기재되어있다.
摘要翻译：公开了一种操作含有电荷以加热电荷的炉子的方法，其包括其中包含60体积％％至85体积将氧气通过加热的再生器并进入炉中，使得氧化剂在500℃至1400℃的温度下从氧化剂端口加热出来，气态燃料通过两个或更多的燃油口; 并且加热的氧化剂和燃料在炉中燃烧以产生加热电荷的所述燃烧的气态热产物; 然后将通过再生器的氧化剂流进入炉中，并且将所述燃烧产物通入所述氧化剂端口并通过和从所述冷却的再生器中排出，以加热所述再生器，其中通过所述燃烧产物的温度再生器至少为500℃。在尺寸和操作条件下，实现功能和经济优势。

6. 发明公开

KR1020160144966A 붕소 이온 주입 동안의 이온 빔 전류 및 성능을 개선하기 위한 붕소-함유 도펀트 조성물, 시스템 및 그의 사용 방법 审中-实审
标题翻译： - 含硼含量的组合物组合物及其使用方法，用于改善离子注入时的离子束电流和性能
公开(公告)号：KR1020160144966A
公开(公告)日：2016-12-19
申请号：KR1020167023981
申请日：2015-03-03
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 신하아쉬위니케이 , 스미스스탠리엠 , 하이더만더글라스씨 , 캄포서지엠
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , C01B3/00 , H01J27/22 , H01J37/08 , H01J37/32458 , H01J37/32807 , H01J2237/006 , H01J2237/0473 , H01J2237/08 , H01J2237/0815 , H01J2237/31701 , H01J2237/3365 , Y02E60/324
摘要： 붕소이온주입동안의빔 전류를개선하기위한신규한조성물, 시스템및 그방법이제공된다. 붕소이온주입공정은특정농도범위의 BH, BF및 H를이용하는것을포함한다. BH은활성수소이온화학종의생성및 주입동안에이용되는이온공급원의동작아크전압에서 BF의이온화단면적보다큰 이온화단면적을갖는것으로선택된다. 수소는 F 이온스캐빈징의감소없이, 보다높은수준의 BH이 BF에도입되도록한다. 활성붕소이온은통상의붕소전구물질로부터발생된빔 전류와비교하였을때, 이온공급원의열화발생없이빔 전류수준의유지또는증가를특징으로하는개선된빔 전류를발생시킨다.
摘要翻译：提供了一种用于在硼离子注入期间改善束电流的新型组成，系统和方法。在优选的方面，硼离子注入工艺涉及在特定浓度范围内使用B2H6，11BF3和H2。在生成和注入活性氢离子物质期间使用的离子源的工作电弧电压下，选择B2H6具有高于BF 3的电离横截面。氢气允许更高水平的B 2 H 6被引入BF 3中而不减少F离子清除。当与常规硼前体材料产生的束电流相比时，活性硼离子产生改进的束电流，其特征在于保持或增加束电流水平而不引起离子源的劣化。

7. 发明授权

KR101685320B1 농축 셀레늄 이온 주입을 위한 공급 소스 및 방법 有权
标题翻译：供应源和方法用于增强的离子植入
公开(公告)号：KR101685320B1
公开(公告)日：2016-12-09
申请号：KR1020157031009
申请日：2014-05-01
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 하이데르만더글라스시 , 신하애쉬위니케이 , 브라운로이드에이
IPC分类号： H01J37/317 , H01L21/265 , C23C14/00 , F17C1/00
CPC分类号： H01L21/265 , C23C14/00 , C23C14/16 , C23C14/48 , F17C1/00 , H01J37/3171 , H01J2237/08 , Y02E60/321 , Y10T137/7781
摘要： 동위원소농축셀레늄함유소스물질을이온주입하는신규방법이제공된다. 소스물질을선택하고, 셀레늄의특정질량동위원소로농축시키며, 여기서농축은천연존재비수준을초과한다. 본발명의방법은감소된기체소모량및 감소된폐기물을가능하게한다. 소스물질은바람직하게는대기압미만의저장및 운반장치로부터저장되고운반되어, 셀레늄이온주입공정동안안전성및 신뢰도를향상시킨다.
摘要翻译：提供了一种用于离子注入同位素富集的含硒源材料的新方法。选择源材料并富集硒的特定质量同位素，从而富集高于天然丰度水平。本发明的方法允许减少气体消耗并减少浪费。源材料优选地从次大气储存和输送装置储存和递送，以在硒离子注入过程中增强安全性和可靠性。

8. 发明公开

KR1020160110381A 냉각 또는 냉동하기 위한 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于冷冻或冷冻的装置和方法
公开(公告)号：KR1020160110381A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：KR1020167018830
申请日：2015-01-13
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 랑개리디 , 지라드존엠
IPC分类号： F25D3/11 , F25D13/06 , A23L3/36 , B65G15/00
CPC分类号： A23L3/362 , F25D3/11 , B65G15/00 , B65G2201/02 , F25D13/067
摘要： 냉각구역이극저온제증기의층을유지하는장치에서식품과같은제품이냉각또는냉동되며, 장치를통해제품을운반하는벨트(30)는극저온제증기층의상면보다더 낮은장치내의영역을통과한다.

9. 外观设计

KR3008484000000S 有权
公开(公告)号：KR3008484000000S
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：KR3020150022860
申请日：2015-05-04
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
设计人： 마얀크 파릭 , 서지 엠. 캠포 , 아시위니 케이. 신하 , 존 티. 슐레 , 니콜라스 에이. 그린 , 크리스토퍼 스콧 다니엘스 , 샤논 더글라스 스탓츠 , 마크 에드워드 닉

10. 发明公开

KR1020160022872A 유리용융로의 작동 제어 审中-实审
标题翻译：控制玻璃炉的运行
公开(公告)号：KR1020160022872A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：KR1020167001138
申请日：2014-06-20
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 코바야시히사시 , 토카마니사라 , 프랜시스아써 , 코바야시윌리엄쏘루 , 위언준루
IPC分类号： C03B5/235
CPC分类号： C03B5/235 , C03B5/2353 , Y02P40/535 , Y02P40/55 , Y02P40/57
摘要： 용융구역(11) 및정제구역(12)을포함하는유리용융로(100)의작동방법에서, 용융구역은여러쌍의대향하는재생기(41, 42)가제공된다. 연료의하나이상의기체상스트림또는분무화유체스트림및 하나이상의산화제스트림이, 예를들어주입기(32, 33)를통해용융된유리제조물질상부의정제구역으로주입되고연소되어, 상기정제구역에서상기조 표면근처분위기중의평균산소농도가 1 내지 60 부피% 증가한다. 각각의상기재생기포트의연료및 연소공기유량은용융구역(11) 내의스프링구역과정제구역(12) 사이에위치하는각각의상기재생기포트로부터배출되는연도기체중의산소농도가 2 내지 10 부피%가되도록조정된다. 산화된유리가제조될수 있고크라운의부식가능성이감소한다.

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