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1. 发明专利

JP2015503112A 複数自由度ステージを含むテストアセンブリ有权
标题翻译：测试组件包括一个多自由度阶段
公开(公告)号：JP2015503112A
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：JP2014533420
申请日：2012-09-28
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：サイランコウスキー，エドワード , アマヌラサイドアシフ，サイド , アマヌラサイドアシフ，サイド , メジャー，ライアン , ラスグ，デレク , フォン，ユーシン
IPC分类号： G02B21/26 , G12B5/00
CPC分类号： G01N3/04 , G01N3/42 , G01N2203/0026 , G01N2203/0206 , G02B21/26 , G02B21/32 , G21K5/10 , H01J37/20 , H01J2237/202 , H01J2237/2062 , H01J2237/28
摘要：複数自由度サンプルステージあるいは複数自由度サンプルステージを含むテストアセンブリ。複数自由度サンプルステージは、複数自由度サンプルステージを閉じ込めるクラスタ化された体積内の、複数装置によるアクセスあるいは観察のための複数の方向に、サンプルを配置するように構成された、線形、1以上の回転あるいは傾きステージを含む複数のステージを含む。複数自由度サンプルステージは、例えば、機械的テスト装置によってサンプルに力を加えることにより、観察の間、サンプルを所定位置に静的に保持するための1以上のクランプアセンブリを含む。更に、複数自由度サンプルステージは、各ステージの動き軸に直交する方向の、1以上のステージの構成要素間の機械的許容量を実質的に消去する、1以上のクロスローラベアリングアセンブリを含む。【選択図】図2
摘要翻译：自由样品台或测试组件的多个度包括多自由度样品台。更多的灵活性样品台，其被群集限制多个自由度的样品台，在多个用于由多个设备访问或观察方向的体积，用于放置样品，直链的，一个或多个内包括旋转或多个阶段中，包括倾斜的阶段。更多的灵活性样品台包括，例如，通过观察，为保持在适当位置的静态样品的一个或多个夹持组件期间由机械测试装置将力施加到所述样品。此外，在垂直于每个阶段的移动轴线的方向上的多个挠性样品台，以擦除一个或多个级的各部件之间的机械公差基本上包含一种或多种交叉滚子轴承组件。 .The

2. 发明专利

JP2015521734A ミクロンまたはナノスケールでの機械的試験用環境コンディショニングアセンブリ有权
标题翻译：机械测试环境调节组件在微米级或纳米级
公开(公告)号：JP2015521734A
公开(公告)日：2015-07-30
申请号：JP2015517243
申请日：2013-03-14
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：ウィリアムシュミッツ，ロジャー , ウィリアムシュミッツ，ロジャー , ディー．ハンゲン，ウベ , ディー．ハンゲン，ウベ , ポールケラネン，ルーカス , ポールケラネン，ルーカス , メジャー，ライアン , オー，ユンジェ , ヴィーレッジ，ジェレミア , デイビッドヤング，クリストファー , デイビッドヤング，クリストファー
IPC分类号： G01N3/42 , G01N3/00
CPC分类号： G01N1/28 , F28F9/26 , G01B3/00 , G01N1/44 , G01N3/42 , G01N19/00 , G01N27/14
摘要：ミクロン以下のスケールでの機械的試験に使用する環境コンディショニングアセンブリ。アセンブリは、内部に環境キャビティを有する包囲筐体を含む。試料ステージは環境キャビティ内に配置され、任意で試料ヒーターを含む。包囲筐体は試料ステージを取り囲むキャビティ周囲を含み、包囲筐体は、環境キャビティと試料ステージを包囲筐体の外部の環境から隔離する。一つの実施例において、膨張・縮小リンケージは、環境キャビティ内での加熱または冷却の変動によって試料ステージ上の試料の高さが変わらないよう維持する。試験機器アクセスポートは包囲筐体を通り環境キャビティ内へと延在する。【選択図】図2
摘要翻译：美光环境调节组件，在规模以下的机械测试使用。组件包括其中具有腔室的环境周围的外壳。样品台被放置在腔体包括一个样本加热器是可选的环境中。封闭外壳包括围绕所述样品台的腔体周边，围绕壳体隔离环绕壳体外部环境的环境腔和样品台。在一个实施例中，膨胀和收缩连杆保持不通过在环境中的腔中的加热或冷却的变化而变化在样品台上的样品的高度。测试仪接入口延伸周围的外壳到街道环境腔。 .The

3. 发明专利

JP2014533365A プローブ先端加熱アセンブリ有权
标题翻译：探针尖端加热组件
公开(公告)号：JP2014533365A
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：JP2014541415
申请日：2012-11-14
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：シュミッツ，ロジャー , オー，ユンジェ
IPC分类号： G01N3/42
CPC分类号： G01N3/40 , G01N3/42 , G01N2203/0226 , G01N2203/0282 , G01Q30/02 , G01Q30/10 , G01Q60/366 , H05B3/03
摘要：ミクロン以下のスケールでの機械的テスト用に構成された加熱アセンブリ。加熱アセンブリは、機械的テストシステムのトランスデューサと結合するために構成されたプローブ先端アセンブリを含む。プローブ先端アセンブリは、加熱素子を有するプローブ先端ヒータシステムと、プローブ先端ヒータシステムと結合するプローブ先端と、ヒータソケットアセンブリとを含む。ヒータソケットアセンブリは、一例では、ヒータソケットアセンブリ内でソケットを形成するヨーク及びヒータインタフェースを含む。プローブ先端と結合する、プローブ先端ヒータシステムは、ソケット内にスライド自在に受け取られ且つクランプされる。【選択図】図6
摘要翻译：配置加热组件，其用于以下尺度微米的机械测试。加热组件包括被配置为耦合机械测试系统的所述换能器的探针尖端组件。探针尖端组件包括具有加热元件的探针尖端加热器系统，探针的尖端结合到探针尖端加热器系统，加热器插座组件。加热器插座组件在一个示例中包括一磁轭和加热器接口，以形成在加热器插座组件的插座。结合到探针尖端，该探针尖端加热器系统是和在插座钳位接收滑动。点域6

4. 发明专利

JP2014511566A Nano-mechanical test system 审中-公开
公开(公告)号：JP2014511566A
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：JP2013553607
申请日：2012-02-10
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：ジェイムズヴォドニック，デイビッド , ドワイヴェディ，アーピット , ポールケラネン，ルーカス , デイビッドオカールンド，マイケル , シュミッツ，ロジャー , リーウォーレン，オーデン , デイビッドヤング，クリストファー
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： G01P21/00 , G01B11/27 , G01B21/047 , G01N3/02 , G01N3/42 , G01N19/00 , G01N2203/0082 , G01N2203/0286 , G01Q40/00 , G01Q60/366 , Y10T29/49826
摘要：自動テストシステムは、メカニカルテスト装置で、ミクロン（数ミクロン）あるいは、それ以下のスケールで、サンプルのインライン製造テストを促進するシステムと方法を含む。一例では、システムは、装置のプローブを結合、離脱するプローブ変更アセンブリを含む。プローブ変更アセンブリは、プローブマガジン内の複数のプローブの一つをつかみ、プローブの一つを装置プローブ受けに結合するように構成されたプローブ変更ユニットを含む。アクチュエータは、プローブ変更ユニットに結合され、アクチュエータは、プローブ変更ユニットを、プローブマガジンと装置プローブ受けへと移動し、アラインメントさせるように構成されている。他の例では、自動テストシステムは、サンプルテスト位置を装置とアラインメントするための複数自由度ステージを含む。ステージは、サンプルステージと、並進及び回転アクチュエータを含むステージアクチュエータアセンブリを含む。

5. 发明专利

JP2014041141A Nano mechanical test system 有权
标题翻译：纳米机械试验系统
公开(公告)号：JP2014041141A
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：JP2013213291
申请日：2013-10-11
申请人： Hysitron Inc , ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人： DAVID JAMES VODNICK , ARPIT DWIVEDI , LUCAS PAUL KERANEN , MICHAEL DAVID OKERLUND , ROGER SCHMITZ , ODEN LEE WARREN , YOUNG CHRISTOPHER DAVID
IPC分类号： G01N3/40 , G01N3/42 , G01N3/46
CPC分类号： G01P21/00 , G01B11/27 , G01B21/047 , G01N3/02 , G01N3/42 , G01N19/00 , G01N2203/0082 , G01N2203/0286 , G01Q40/00 , G01Q60/366 , Y10T29/49826
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an automatic test system performing an inline manufacturing test on a sample on a micron or smaller scale.SOLUTION: An automatic test system 600 includes a probe change assembly for connecting and removing a probe of a device. A cantilever device column 606 includes one or more device stages 608. One of the device stages 608 includes an optical device 610 and a mechanical test device 612. The mechanical test device 612 is so constituted as to perform a mechanical (such as indentation and scratch) test on a micron or nano scale on a sample arranged on a sample stage surface 616. A stage actuator assembly 618 is so constituted as to move the sample stage surface 616 along or around a plurality of axes.
摘要翻译：要解决的问题：提供对微量或更小规模的样品进行在线制造测试的自动测试系统。解决方案：自动测试系统600包括用于连接和移除设备探头的探针更换组件。悬臂装置列606包括一个或多个装置级608.装置级608之一包括光学装置610和机械测试装置612.机械测试装置612被构造成执行机械（例如压痕和划痕）在布置在样品台表面616上的样品上以微米或纳米级进行测试。级致动器组件618被构造成沿着或围绕多个轴移动样品台表面616。

6. 发明专利

JP2014038108A Nanomechanical test system 有权
标题翻译：纳米试验系统
公开(公告)号：JP2014038108A
公开(公告)日：2014-02-27
申请号：JP2013213290
申请日：2013-10-11
申请人： Hysitron Inc , ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人： DAVID JAMES VODNICK , ARPIT DWIVEDI , LUCAS PAUL KERANEN , MICHAEL DAVID OKERLUND , ROGER SCHMITZ , ODEN LEE WARREN , YOUNG CHRISTOPHER DAVID
IPC分类号： G01N3/42 , G01N3/46
CPC分类号： G01P21/00 , G01B11/27 , G01B21/047 , G01N3/02 , G01N3/42 , G01N19/00 , G01N2203/0082 , G01N2203/0286 , G01Q40/00 , G01Q60/366 , Y10T29/49826
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system for automatically performing a plurality of types of mechanical tests on a sample.SOLUTION: An automated testing system 600 includes a probe changing assembly for coupling and decoupling a probe of an instrument. The probe changing assembly includes a probe change unit configured to grasp one of a plurality of probes within a probe magazine and couple one of the probes to an instrument probe receptacle. An actuator is coupled to the probe change unit, and the actuator is configured to move the probe change unit to the probe magazine and the instrument probe receptacle so as to perform alignment. The automated testing system 600 includes a multiple degree of freedom stage for aligning a sample testing location with the instrument. The stage includes a sample stage and a stage actuator assembly 618 including translational and rotational actuators.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于自动执行对样品的多种类型的机械测试的系统。解决方案：自动化测试系统600包括用于耦合和去耦合仪器的探针的探针更换组件。探针更换组件包括探针改变单元，其被配置为抓住探针盒内的多个探针中的一个探针，并将一个探针耦合到仪器探针插座。致动器联接到探针更换单元，并且致动器构造成将探针更换单元移动到探针盒和仪器探针插座以便进行对准。自动测试系统600包括用于将样本测试位置与仪器对准的多自由度级。舞台包括样本台和包括平移和旋转致动器的舞台致动器组件618。

7. 发明专利

JP2016527517A アセンブリを変更する装置及びそのための方法有权
标题翻译：装置和用于它的改变组件的方法
公开(公告)号：JP2016527517A
公开(公告)日：2016-09-08
申请号：JP2016531930
申请日：2014-08-01
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：ダーマ，ラジブ , ツィーゲルマン，スヴェトラーナ
IPC分类号： G01N3/42
CPC分类号： B23P19/04 , B23P19/10 , G01D18/00 , G01N3/42 , G01N19/04 , G01N2203/0078 , G01N2203/0202 , G01N2203/0206 , G01N2203/0286 , G01Q60/366 , G01Q70/02
摘要：第1の装置変更アセンブリは、1以上のプローブアセンブリステーションを有するマガジンを含む。アセンブリは、更に、受け部ソケットを含む、少なくとも1つのプローブ変更ツールを含む。1以上のプローブアセンブリは、1以上のプローブアセンブリステーション内に保持される。1以上のプローブアセンブリは、それぞれ、プローブ保持凹所を含むプローブ受け部と、共通受け部ソケットとの相補的フィッティングのために構成される共通ソケットフィッティングを含む。プローブ変更ツールは、共通ソケットフィッティングと、プローブアセンブリの共通な受け部ソケットとの間の相補的フィットに従って、機械的テスト装置から、それぞれのプローブを実装し、あるいは、取り出すように構成される。第2の装置変更アセンブリは、複数の装置を含む装置アレイ筐体を含む。1以上の装置のそれぞれ(プローブ及びトランスデューサの組み合わせ)は、装置展開アクチュエータにより、装置アレイ筐体に対し、展開される。【選択図】図7
摘要翻译：第一设备变更组件包括具有一个或多个探针组件站一本杂志。组件还接收单元包括一插座，其特征在于至少一种探针变化的工具。 1个或多个探针组件中的一个或多个探针组件站保持。 1个或多个探针组件的每一个包括探针接收包括探针保持凹部，一个共同的承受部安装构造成用于互补配合与公共接收器插座。探测变化的工具，一个共同的插座嵌合，按照与探针组件的公共接收机插座，机械测试装置中，每个探测器安装或配置为检索之间的互补配合。第二设备改变组件包括装置阵列底盘，其包括多个设备。每一个或多个设备（探针和换能器的组合）的是该装置展开致动器，相对于装置阵列底盘显影。点域7

9. 发明专利

JP2013512545A Micro-electro-mechanical heater 有权
公开(公告)号：JP2013512545A
公开(公告)日：2013-04-11
申请号：JP2012541077
申请日：2010-08-26
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：オー，ユンジェ , アマヌラサイドアシフ，サイド , サイランコウスキー，エドワード , エル．ウォーレン，オーデン
IPC分类号： H01J37/20 , G01N3/40
CPC分类号： G01N1/42 , G01N3/08 , G01N3/18 , G01N3/42 , G01N2203/0226 , G01N2203/0286 , G01N2203/04 , G01N2223/418 , H01J37/20 , H05B1/023 , H05B3/06 , H05B3/22
摘要：検査用サンプルホルダ及び加熱のアセンブリを含む、サブミクロンスケールの特性検査用装置である。アセンブリは、サブミクロン検査器具と電気機械式トランスデューサとのアセンブリに結合するように構成されたホルダ底部を含む。アセンブリは、ホルダ底部と結合した検査用サンプルステージをさらに含む。検査用サンプルステージは、ホルダ底部から熱的に分離される。検査用サンプルステージは、検査用サンプルを受けるように構成されたステージ検査用サンプル表面と、ステージ検査用サンプル表面を固定するステージプレートを含む。ステージプレートは、ステージ検査用サンプル表面の下にある。検査用サンプルステージは、ステージ検査用サンプル表面に隣接する加熱エレメントをさらに含み、加熱エレメントは、ステージ検査用サンプル表面で熱を発生させるように構成される。
【選択図】図２Ａ

10. 发明专利

JP2015515021A 顕微鏡対物レンズ機械検査機器有权
标题翻译：显微镜物镜机械检测设备
公开(公告)号：JP2015515021A
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：JP2015503276
申请日：2013-03-13
申请人：ハイジトロン,インク.Hysitron,Inc.
发明人：アマヌラサイドアシフ，サイド , アマヌラサイドアシフ，サイド , ダーマ，ラジブ , メジャー，ライアン
IPC分类号： G02B21/00 , G01Q30/02 , G02B7/04 , G02B7/16
CPC分类号： G01N3/40 , G01N3/04 , G01N3/068 , G01N3/42 , G01N3/56 , G01N2203/0078 , G01N2203/0647 , G01Q30/025 , G01Q60/366 , G01Q70/02 , G02B7/16 , G02B21/248
摘要：対物検査モジュールは、顕微鏡の対物タレットと結合するように構成したモジュールベースを含む。対物検査モジュールは、機械検査アセンブリを含む。機械検査アセンブリは、マクロスケールまたはそれ未満でサンプルを機械的に検査し、機械検査に基づいて、サンプルの1つまたは複数の特性を定量的に決定するように構成される。任意で、機械検査アセンブリは、プローブと、プローブに結合した1つまたは複数の変換器を含む。変換器は、プローブによってサンプルに加えられた1つまたは複数の力や、サンプル内のプローブの変位量を測定する。動作中、光学機器は、サンプルの検査位置を決め、対物検査モジュールは、機械検査アセンブリにより、検査位置にて、マクロスケールまたはそれ未満で機械的に検査する。さらに、機械検査アセンブリは、機械検査に基づいてサンプルの1つまたは複数の特性を決定する。【選択図】図3A
摘要翻译：客观测试模块包括被配置为与显微镜物镜转台匹配的模块基座。客观测试模块包括机械检测组件。机械测试组件机械地检查样品宏观尺度或更小，基于机械测试，它适于以定量确定所述样品的一个或多个特性。可选地，机器检查组件包括探针，其耦合到所述探针的一个或多个换能器。换能器测量一个或或多个由探针，样品中的探针的位移施加到样品上的力的。在操作中，光学装置，确定样品的检查位置，目标测试模块，机械测试组件，在检查位置，在宏观尺度或更小机械测试。此外，机械检查组件，以确定所述机器检查的基础上，所述样品的一个或多个特性。点域3A

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