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    • 85. 发明申请
    • ABSORPTION GRATING AND TALBOT INTERFEROMETER
    • 吸收式和TALBOT干燥仪
    • WO2015033552A4
    • 2015-05-14
    • PCT/JP2014004496
    • 2014-09-02
    • CANON KK
    • NAKAMURA TAKASHISATO GENTA
    • A61B6/00G02B5/18G21K1/06
    • G21K1/06A61B6/4291G02B5/1823G21K2207/005
    • An absorption grating (3) includes a plurality of small absorption gratings in which transmitting portions configured to transmit X-rays and shielding portions configured to block the X-rays are arranged. Each of the plurality of small absorption gratings includes a two-dimensional grating area in which the transmitting portions and the shielding portions are arranged in two intersecting directions, and a one-dimensional grating area in which the transmitting portions and the shielding portions are arranged in one direction. The one-dimensional grating area is provided in at least a part of an outer periphery of the two-dimensional grating area. At least parts of the one-dimensional grating areas included in the adjacent small absorption gratings are superposed to form an overlapping area. The arrangement directions in the small absorption gratings intersect in the overlapping area.
    • 吸收光栅(3)包括多个小的吸收光栅,其中配置有透射X射线的透射部分和被配置为阻挡X射线的屏蔽部分。 多个小吸收光栅中的每一个包括其中透射部分和屏蔽部分布置在两个相交方向上的二维光栅区域和其中透射部分和屏蔽部分布置在其中的一维光栅区域 一个方向。 一维光栅区域设置在二维光栅区域的外周的至少一部分中。 包括在相邻的小吸收光栅中的一维光栅区域的至少一部分被叠加以形成重叠区域。 小吸收光栅中的布置方向在重叠区域相交。
    • 87. 发明申请
    • THREE-DIMENSIONAL DIFFRACTIVE STRUCTURE, METHOD FOR MAKING, AND APPLICATIONS THEREOF
    • 三维衍射结构,制作方法及其应用
    • WO2009143320A3
    • 2010-03-11
    • PCT/US2009044790
    • 2009-05-21
    • LUMELLA INCHOOSE JOHN
    • HOOSE JOHN
    • G02B5/18G02B6/293
    • G02B6/2931G02B5/1823G02B27/4261
    • Three-dimensional grating device includes two (crossed) diffraction gratings, exhibits diffraction efficiency substantially independent of the incident polarization inside an optical communication spectral window from 1.5 - 1.6 µm. The gratings are characterized by different periods in two directions, chosen to support only one dispersive diffraction order in addition to the zero- (specular) order. Gratings may be orthogonal. Exemplary grating profiles include but are not limited to sinusoidal and truncated pyramidal (trapezoidal) profiles. A method for diffracting polarization independent light with 90% or higher efficiency. Applications include various wavelength control devices particularly useful in telecommunications.
    • 三维光栅装置包括两个(交叉)衍射光栅,其衍射效率基本上与1.5-1.6μm的光通信光谱窗内的入射极化无关。 光栅的特征在于在两个方向上的不同周期,除了零(镜面)顺序之外,选择仅支持一个色散衍射级。 光栅可以是正交的。 示例性光栅轮廓包括但不限于正弦和截锥形(梯形)轮廓。 用于衍射具有90%或更高效率的偏振独立光的方法。 应用包括在电信中特别有用的各种波长控制装置。
    • 89. 发明申请
    • 露光方法および装置、ならびに電子デバイス製造方法
    • 曝光方法和装置,以及装置制造方法
    • WO2006064900A1
    • 2006-06-22
    • PCT/JP2005/023126
    • 2005-12-16
    • 株式会社ニコン白石 直正
    • 白石 直正
    • H01L21/027G02B5/18G03F7/20
    • G03F7/70408G02B5/1823G02B5/1838G02B5/1866G03F7/70283G03F7/7035
    •  例えば照明光の波長程度以下の微細パターンを、安価に形成できる露光方法である。光源(1)からの照明光により感光性の基板(W)上にパターンを露光する露光方法であって、光源(1)からの照明光を、透光性平板(P1)に形成された第1の回折格子に照射する工程と、その第1の回折格子により生じた回折光を、その第1の回折格子に対向して配置した透光性平板(P2)に形成された第2の回折格子に照射する工程と、その第2の回折格子により生じた回折光を、基板(W)上に照射する工程とを含むとともに、その第1の回折格子およびその第2の回折格子として、2次元的な周期を有する回折格子を用いる。
    • 可以以低成本形成大致波长的照明光或更细的微细图案的曝光方法。 提供曝光方法,用于通过来自光源(1)的照明光将图案曝光在感光基板(W)上。 该曝光方法包括用来自光源(1)的照明光照射形成在透光平板(P1)上的第一衍射光栅的处理。 用由第一衍射光栅产生的衍射光照射形成在透光平板(P2)上的第二衍射光栅与第一衍射光栅相对的第二衍射光栅的过程; 以及利用由第二衍射光栅产生的衍射光照射衬底(W)的工艺。 作为第一衍射光栅和第二衍射光栅,使用具有二维周期的衍射光栅。