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    • 83. 发明授权
    • 유체의유동률을측정하는장치
    • KR100436611B1
    • 2004-09-13
    • KR1019980703375
    • 1996-07-24
    • 로베르트 보쉬 게엠베하
    • 클라인한스조셉
    • G01F1/699
    • G01F1/68G01D3/0365G01F1/698G01F1/699
    • PCT No. PCT/DE96/01355 Sec. 371 Date Apr. 29, 1998 Sec. 102(e) Date Apr. 29, 1998 PCT Filed Jul. 24, 1996 PCT Pub. No. WO97/18444 PCT Pub. Date May 22, 1997A device for determining the throughput of a flowing medium is described, wherein a heater resistor heats at least one upstream and downstream located, temperature-dependent resistor, wherein the resistors, which are cooled at different rates by the flowing medium, are wired to form a bridge, whose diagonal voltage is a function of the temperature difference of the resistors. In the end the mass of the flowing medium is determined from this processed voltage (UM). The control of the temperature of the resistor is performed with the aid of its own heater control circuit which regulates the current through the heater resistor in such a way that the temperature of the heater resistor is a predeterminable function of the temperature of the flowing medium. A temperature compensation, with the aid of which the measuring voltage (UM) is compensated at high temperatures, is performed with the aid of a high temperature compensation stage (DT) and of a converter circuit (UMS).
    • PCT No.PCT / DE96 / 01355 Sec。 371日期1998年4月29日Sec。 102(e)日期1998年4月29日PCT申请日1996年7月24日PCT Pub。 No. WO97 / 18444 PCT Pub。 日期1997年5月22日描述了用于确定流动介质的吞吐量的装置,其中加热电阻器加热至少一个位于上游和下游的温度相关电阻器,其中通过流动介质以不同速率冷却的电阻器, 被连线以形成桥,其对角线电压是电阻器温度差的函数。 最后,流动介质的质量由该处理电压(UM)确定。 电阻器温度的控制借助于其自身的加热器控制电路来执行,该电路调节通过加热器电阻器的电流,使得加热器电阻器的温度是流动介质的温度的可预先确定的函数。 借助于高温补偿级(DT)和转换器电路(UMS)来执行温度补偿,借助于该温度补偿,在高温下补偿测量电压(UM)。
    • 86. 发明申请
    • 熱式流量計
    • 热流量计
    • WO2013187247A1
    • 2013-12-19
    • PCT/JP2013/065131
    • 2013-05-31
    • 日立オートモティブシステムズ株式会社
    • 徳安 昇田代 忍半沢 恵二河野 務
    • G01F1/684
    • G01F1/684F02D41/187G01F1/6842G01F1/6845G01F1/696G01F1/6965G01F1/698G01F1/699G01F5/00G01F15/006G01F15/02G01F15/04G01F15/043G01F15/14G01F15/185
    •  計測部の記端部側と先端部側の温度差に応じてリードに作用する軸方向の応力を緩和できる熱式流量計を得ること。本発明の流量検出部300は、主通路124から取り込まれた被計測気体30を流すための副通路と、副通路を流れる被計測気体30との間で熱伝達面を介して熱伝達を行うことにより、被計測気体30の流量を計測するための流量検出部602を備えており、第1樹脂モールド工程により流量検出部602とリード514を封止した回路パッケージ400と、第2樹脂モールド工程により副通路の一部を形成するとともに回路パッケージ400を固定したハウジング302とを有している。リード514は、回路パッケージ400から突出してハウジング302に固定されるアウタリード412を有しており、アウタリード412に屈曲部416が設けられている。
    • 本发明提供一种能够减轻轴向应力的热流量计,所述应力响应于测量单元的基端侧和前端侧之间的温差而作用在引线上。 本发明的流量检测单元(300)包括:从主通道(124)吸入的被测量气体(30)从该辅助通道流出的流路; 具有流量检测部(602)的电路封装(400),所述流量检测部通过在所述流量检测部(602)与被测量气体(30)之间传递热量来测量被测量气体的流量(30) ),其经由传热表面流过辅助通道,并且其中所述流量检测部分(602)和引线(514)在第一树脂模制步骤中被密封; 以及在第二树脂模制步骤中形成辅助通道的一部分的壳体(302),并且其中电路封装(400)是固定的。 引线(514)具有从电路封装(400)突出并固定到壳体(302)的外引线(412),并且弯曲部分(416)设置在外引线(412)上。
    • 87. 发明申请
    • 熱式流量計
    • 热流量计
    • WO2013187228A1
    • 2013-12-19
    • PCT/JP2013/064826
    • 2013-05-29
    • 日立オートモティブシステムズ株式会社
    • 田代 忍半沢 恵二徳安 昇森野 毅土井 良介上ノ段 暁
    • G01F1/684
    • G01F1/684F02D41/187G01F1/6842G01F1/6845G01F1/696G01F1/6965G01F1/698G01F1/699G01F5/00G01F15/006G01F15/02G01F15/04G01F15/043G01F15/14G01F15/185
    •  回路パッケージ400をハウジング302に保持固定するための固定部3721が回路パッケージ400に及ぼす応力を低減し、信頼性の高い熱式流量計300を提供する。本発明の熱式流量計は、第1樹脂モールド工程で、流量計測回路を内蔵した回路パッケージ400を成形し、第2樹脂モールド工程ハウジング302と共に固定部3721を成形し、固定部3721で回路パッケージ400を包含することにより、ハウジング302に回路パッケージ400を保持固定する。固定部3721の温度変化に基づいて発生する応力が回路パッケージ400に及ぼす影響を低減するために、固定部3721を厚肉部4714と薄肉部4710とで構成する。薄肉部4710は樹脂の厚さが薄いので、発生する応力が小さく、回路パッケージ400に加わる力を低減できる。
    • 提供了一种用于通过用于将电路封装(400)保持和固定在壳体(302)中的固定部(3721)来减小施加到电路封装(400)的应力的高度可靠的热流量计(300)。 该热流量计包括:在第一树脂模制步骤期间形成电路封装(400),其中包含流量计电路; 以及通过在第二树脂模制步骤期间形成所述壳体(302)和所述固定部分(3721)并将所述电路封装(400)固定在所述壳体(302)中并且使用所述固定部件 3721)。 固定部分(3721)由厚部分(4714)和薄部分(4710)构成,以便减少由固定部分(3721)的温度变化产生的应力对电路封装(400)的冲击。 因此,由于薄部(4710)中的树脂的厚度薄,所以可以减小产生的应力并降低施加到电路封装(400)的力。
    • 89. 发明申请
    • CONFIGURATION AND METHODS FOR MANUFACTURING TIME-OF-FLIGHT MEMS MASS FLOW SENSOR
    • 用于制造飞行时间的MEMS质量流量传感器的配置和方法
    • WO2009029236A8
    • 2009-04-16
    • PCT/US2008010043
    • 2008-08-24
    • SIARGO INCHUANG LIJI
    • WU XIAOZHONG
    • G01F1/68
    • G01F1/7084G01F1/6845G01F1/699G01F25/0007
    • This invention discloses a mass flow sensor manufactured by applying the micro-electromechanical system (MEMS) process to provide a new and improved mass flow sensor that is a self -calibrated in a time-of -flight manner with configuration to measure the flow velocity directly. The self-calibration of a mass flow rate sensor is achieved by providing an electric pulse to a heater in the flow and determining a temperature variations of the fluid. The method further includes a step of measuring a temperature variation by a temperature sensor disposed at a short distance from the heater. The method further includes a step of correlating the temperature variation measured at the temperature sensor with the temperature variation of the heater to determine a time delay and a corresponding flow velocity.
    • 本发明公开了一种通过应用微机电系统(MEMS)工艺制造的质量流量传感器,以提供新的和改进的质量流量传感器,该质量流量传感器以飞行时间方式进行自校准,并配置为直接测量流速 。 质量流量传感器的自校准通过向流体中的加热器提供电脉冲并确定流体的温度变化来实现。 该方法还包括通过设置在离加热器很近的位置处的温度传感器来测量温度变化的步骤。 该方法还包括将在温度传感器处测量的温度变化与加热器的温度变化相关联以确定时间延迟和相应的流速的步骤。
    • 90. 发明申请
    • CALORIMETRIC FLOW METER
    • CALORIMETRIC流量计
    • WO2007063407A2
    • 2007-06-07
    • PCT/IB2006/003443
    • 2006-12-01
    • MELEXIS NVVAN DER WIEL, Appolonius Jacobus
    • VAN DER WIEL, Appolonius Jacobus
    • G01F1/684G01F1/688G01F1/698
    • G01F1/6986G01F1/6845G01F1/6888G01F1/699
    • A flow meter 200 comprises heating means 203 is for heating a fluid flow 202 along a membrane 201 and a temperature difference, ΔT, is measured between and upstream point Tup and a downstream point Tdown- There are additionally provided strips of material having a relatively high heat conductivity 204, 205. The pair of strips 204, substantially perpendicular to the flow direction 202 direct heat from the heater 203 to the sides of the membrane 201. As these strip(s) 204 have a relatively large heat conductivity, a large proportion of the heat that would otherwise drive heat flows 111, 112 is dispersed and does not therefore cause inaccuracies or bias in the measured flow rate. Additionally, a strip of material 205 having high heat conductivity relative to the membrane 201 is provided parallel to the flow direction 202. This acts to direct heat from the heater along the direction of flow. This increases the proportion of heat that flows along this axis and guides the flow 114 and hence reduces the proportion of heat available to drive heat flows 111 and 112 which cause inaccuracies and bias in the measured flow rates
    • 流量计200包括加热装置203,其用于沿着膜201加热流体流202,并且在上游点Tup和下游点之间测量温度差ΔT和下游点Tdown。另外提供具有相对的 基本上垂直于流动方向202的一对条204将热量从加热器203引导到膜201的侧面。由于这些条带204具有相对较大的导热性,所以大的导热系数 否则将驱动热流111,112的热的比例被分散,因此不会导致测量流量的不准确或偏差。 此外,平行于流动方向202提供相对于膜201具有高导热性的材料条205.这用于沿着流动方向引导来自加热器的热量。 这增加了沿该轴线流动并引导流动114的热量的比例,并且因此降低了可用于驱动热流111和112的热量比例,这导致测量流量的不准确性和偏差