会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 85. 发明公开
    • 노광장치의 업무파일 제어방법
    • 控制曝光系统工作文件的方法
    • KR1020010084018A
    • 2001-09-06
    • KR1020000008751
    • 2000-02-23
    • 삼성전자주식회사
    • 신창용
    • H01L21/027
    • PURPOSE: A method for controlling a job file of an exposure system is provided to prevent previously a trouble in a post-process by finding and correcting a management error of a stepper in an exposure process. CONSTITUTION: An operator rewrites or corrects a job file by using a workstation and transmits the job file to a server online.(S1) A server compares the transmitted job file with an existing job file.(S3) The stepper downloads and stores the job file from the server if there is not a problem in the compared result.(S5) The server operates an alarm device to output an alarm sound and transmits an alarm message to a monitor of the workstation if there is a problem in the compared result.(S7) The operator corrects an error of the job file by using the workstation and transmits the job file to the server(S9).
    • 目的:提供一种用于控制曝光系统的作业文件的方法,以通过在曝光过程中发现和校正步进器的管理错误来防止在后处理中的麻烦。 构成:操作员通过使用工作站重写或更正作业文件,并将作业文件发送到服务器(S1)服务器将发送的作业文件与现有作业文件进行比较(S3)步进器下载并存储作业 如果比较结果没有问题,则从服务器发送文件(S5)如果比较结果有问题,则服务器操作报警装置输出报警声音,并将报警消息发送到工作站的监视器。 (S7)操作员通过使用工作站校正作业文件的错误,并将作业文件发送到服务器(S9)。