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    • 86. 发明专利
    • 循環式之基板燒成爐 SUBSTRATE FIRING FURNACE OF THE CIRCLE METHOD
    • 循环式之基板烧成炉 SUBSTRATE FIRING FURNACE OF THE CIRCLE METHOD
    • TW201025422A
    • 2010-07-01
    • TW098111052
    • 2009-04-02
    • 國立大學法人東北大學未來視野股份有限公司
    • 大見忠弘村岡祐介宮路恭祥
    • H01L
    • 本發明提供一種熱損失少且可獲得穩定之燒成溫度之循環式之基板燒成爐。將熱風吹入至爐體本體部10之內部,藉此進行玻璃基板W之燒成處理。自爐體本體部10排出之熱風藉由循環風扇40而於循環路徑20內循環,自分解有機物之觸媒過濾部70經由吸附分解產生物之吸附塔30而再次為主加熱器52加熱。自爐體本體部10排出之熱風直接流入至觸媒過濾部70,熱風中所含之有機物被分解,因此無需用以加熱觸媒之另外之加熱器,可減小熱損失。又,可藉由僅控制主加熱器52而調整爐體本體部10之內部之燒成溫度,因此溫度控制容易,可獲得穩定之燒成溫度。
    • 本发明提供一种热损失少且可获得稳定之烧成温度之循环式之基板烧成炉。将热风吹入至炉体本体部10之内部,借此进行玻璃基板W之烧成处理。自炉体本体部10排出之热风借由循环风扇40而于循环路径20内循环,自分解有机物之触媒过滤部70经由吸附分解产生物之吸附塔30而再次为主加热器52加热。自炉体本体部10排出之热风直接流入至触媒过滤部70,热风中所含之有机物被分解,因此无需用以加热触媒之另外之加热器,可减小热损失。又,可借由仅控制主加热器52而调整炉体本体部10之内部之烧成温度,因此温度控制容易,可获得稳定之烧成温度。