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    • 86. 发明专利
    • 太陽電池用パッシベーション膜形成方法及び太陽電池用パッシベーション膜形成装置
    • 钝化膜的形成方法及用于太阳能电池的太阳能电池的钝化膜形成装置
    • JP2016201382A
    • 2016-12-01
    • JP2015078130
    • 2015-04-07
    • 信越化学工業株式会社
    • 橋上 洋渡部 武紀大塚 寛之
    • H01L31/18H01L31/068H01L31/0216
    • Y02E10/546Y02P70/521
    • 【課題】少ない材料でかつシンプルな工程で低コストに太陽電池用パッシベーション膜を形成する。 【解決手段】p型またはn型の導電型を持つ結晶シリコン基板よりキャリア濃度が高い、p型の導電型を持つp + 領域とn型の導電型を持つn + 領域とが一方の表面に形成された当該結晶シリコン基板の、当該一方の表面にパッシベーション膜を形成する方法であって、有機金属を含むプリカーサガスをp + 領域の表面に選択的に噴き付けてプリカーサ層を形成するプリカーサ層形成ステップと、少なくともプリカーサ層を酸化ガス雰囲気に曝すことにより酸化させて金属酸化膜を形成する酸化ステップと、とを実行する。 【選択図】図1
    • 甲以较少材料和用于以低成本形成用于太阳能电池的钝化膜还简单的过程。 的p型或载流子浓度比具有结晶硅衬底n型导电性是高的,并具有一个p +区和n型导电性与p型导电性形成在一个表面上的n +区 所有的晶体硅基板,所述一个表面上形成钝化膜的方法,和将前体层形成选择性黑色大理石施加到p +区域的表面上的前体层的前体步骤含有有机金属气体 形成金属氧化物膜的氧化步骤通过暴露氧化成至少前体层时,它执行与氧化性气体气氛。 点域1