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    • 78. 发明申请
    • 薄膜配線基板およびプローブカード用基板
    • 薄膜接线基板和探针卡基板
    • WO2013031822A1
    • 2013-03-07
    • PCT/JP2012/071816
    • 2012-08-29
    • 京セラ株式会社橋本 利弘
    • 橋本 利弘
    • H05K3/46G01R1/073G01R31/26
    • H05K1/0306G01R1/07314G01R31/2886H05K1/0271H05K3/4605H05K3/467H05K3/4673H05K2203/061
    •  上面を有するセラミック基板1およびセラミック基板の上面に設けられた配線導体11を含むベースBと、セラミック基板1の上面に順次積層された接合層2および薄膜配線層3と、接合層2を厚み方向に貫通しているとともに配線導体11と薄膜配線層3とを電気的に接続している貫通導体23とを有しており、接合層2は、熱硬化性樹脂からなるコア層21と、コア層21を形成する熱硬化性樹脂よりも弾性率が小さい熱硬化性樹脂からなる、コア層21の上下面に積層された接着層22とを含んでいる薄膜配線基板である。コア層21によって接合層2の変形を抑制することができ、貫通導体23と薄膜導体層31および配線導体11との電気的な接続を良好に確保できる。また、接着層22により接合層2の接着性を確保できる。
    • 薄膜配线基板具有包括具有顶面的陶瓷基板(1)和设置在陶瓷基板的顶面的配线导体(11)的基体(B),接合层(2)和薄层 连续地层叠在陶瓷基板(1)的上表面的通孔布线层(3)和将布线导体(11)和薄膜布线层(3)电穿孔的通孔导体(23) 接合层(2)在厚度方向上。 接合层(2)是由由热硬化树脂构成的芯层(21)和粘合层(22)构成的薄膜布线基板,所述粘合层由具有较小的弹性系数的热硬化树脂构成 所述加热硬化树脂形成所述芯层(21),并且层压在所述芯层(21)的上表面和下表面上。 芯层(21)可以抑制粘合层(2)的变形。 可以确保贯通导体(23)和薄膜导体层(31)与布线导体(11)的良好电连接。 此外,可以通过粘合剂层(22)确保接合层(2)的粘合性。