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71. 发明专利

TW201316446A 晶圓狀物件之表面處理用裝置审中-公开
简体标题：晶圆状对象之表面处理用设备
公开(公告)号：TW201316446A
公开(公告)日：2013-04-16
申请号：TW101132729
申请日：2012-09-07
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：欽德爾歐利取 , TSCHINDERLE, ULRICH , 格萊斯勒安得羅斯 , GLEISSNER, ANDREAS , 渥恩斯伯格湯瑪士 , WIRNSBERGER, THOMAS , 歐伯威格瑞尼 , OBWEGER, RAINER
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/68785 , H01L21/67023 , H01L21/67051 , H01L21/6708 , H01L21/6719 , Y10T279/3493
摘要：一種晶圓狀物件之處理用裝置包含封閉處理腔室。該封閉處理腔室包含：提供氣密包圍區域的外殼；位於封閉處理腔室內且用以固持其上之晶圓狀物件的旋轉夾盤；及設置於該封閉處理腔室內的內部蓋件。該內部蓋件可於其中旋轉夾盤與封閉處理腔室之外壁相連的第一位置、與其中內部蓋件對鄰近旋轉夾盤的封閉處理腔室之內表面加以密封來定義氣密之內處理腔室的第二位置之間移動。
简体摘要：一种晶圆状对象之处理用设备包含封闭处理腔室。该封闭处理腔室包含：提供气密包围区域的外壳；位于封闭处理腔室内且用以固持其上之晶圆状对象的旋转夹盘；及设置于该封闭处理腔室内的内部盖件。该内部盖件可于其中旋转夹盘与封闭处理腔室之外壁相连的第一位置、与其中内部盖件对邻近旋转夹盘的封闭处理腔室之内表面加以密封来定义气密之内处理腔室的第二位置之间移动。

72. 发明专利

TW201907482A 鈍化混合物與使用該鈍化混合物以使包含鍺或三五族材料的基板材料選擇性鈍化的系統及方法审中-公开
简体标题：钝化混合物与使用该钝化混合物以使包含锗或三五族材料的基板材料选择性钝化的系统及方法
公开(公告)号：TW201907482A
公开(公告)日：2019-02-16
申请号：TW107118089
申请日：2018-05-28
申请人：奧地利商蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：迪特斯德萊斯 , DICTUS, DRIES
IPC分类号： H01L21/314 , H01L21/02
摘要：一種鈍化基板外層用的液態鈍化混合物包含選自由硫與硒所構成之群組的一第一材料以及選自由四級銨化合物、氫氧化鈉(NaOH)、氫氧化鉀(KOH)、與胺所構成之群組的一鹼。
简体摘要：一种钝化基板外层用的液态钝化混合物包含选自由硫与硒所构成之群组的一第一材料以及选自由四级铵化合物、氢氧化钠(NaOH)、氢氧化钾(KOH)、与胺所构成之群组的一碱。

73. 发明专利

TWI639190B 晶圓狀物件之液體處理用設備有权
简体标题：晶圆状对象之液体处理用设备
公开(公告)号：TWI639190B
公开(公告)日：2018-10-21
申请号：TW102128489
申请日：2013-08-08
申请人：奧地利商蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：越澤健人 , KOSHIZAWA, TAKEHITO , 龜川典明 , KAMEKAWA, NORIAKI , 木下圭 , KINOSHITA, KEI , 蒲格麥可 , PUGGL, MICHAEL
IPC分类号： H01L21/306

74. 发明专利

TWI627668B 用以處理晶圓狀物件之表面的程序及設備有权
简体标题：用以处理晶圆状对象之表面的进程及设备
公开(公告)号：TWI627668B
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：TW103104127
申请日：2014-02-07
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：英傑瑟菲力浦 , ENGESSER, PHILIPP , 亨利克斯大衛 , HENRIKS, DAVID , 比爾克安德森喬 , BJOERK, ANDERS JOEL
IPC分类号： H01L21/306

75. 发明专利

TW201816912A 用以處理晶圓狀物件之設備审中-公开
简体标题：用以处理晶圆状对象之设备
公开(公告)号：TW201816912A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW106125664
申请日：2017-07-31
申请人：奧地利商蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：龔世中 , KON, SHIH-CHUNG , 普利斯卡米蘭 , PLISKA, MILAN , 洛伊德爾貝哈德 , LOIDL, BERNHARD , 布魯格麥可 , BRUGGER, MICHAEL
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687
摘要：一種用以處理晶圓狀物件的設備，其包含具有一系列的接觸元件之旋轉卡盤，當晶圓狀物件安裝於旋轉卡盤上時，該系列的接觸元件圍繞該晶圓狀物件。非旋轉板係定位於該系列的接觸元件內側。該板包括配置成供給氣體的氣體供給部，以根據白努利定律支撐晶圓狀物件而不需接觸非旋轉板。
简体摘要：一种用以处理晶圆状对象的设备，其包含具有一系列的接触组件之旋转卡盘，当晶圆状对象安装于旋转卡盘上时，该系列的接触组件围绕该晶圆状对象。非旋转板系定位于该系列的接触组件内侧。该板包括配置成供给气体的气体供给部，以根据白努利定律支撑晶圆状对象而不需接触非旋转板。

76. 发明专利

TW201810522A 晶圓狀物件之處理方法及設備审中-公开
简体标题：晶圆状对象之处理方法及设备
公开(公告)号：TW201810522A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106114879
申请日：2017-05-05
申请人：奧地利商蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：司弘博 , SI, HONGBO , 班達拉普巴哈斯卡 , BANDARAPU, BHASKAR , 格萊斯勒安得羅斯 , GLEISSNER, ANDREAS , 洛伊德爾貝哈德 , LOIDL, BERNHARD
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/20
CPC分类号： H01L21/68785 , B05C5/0208 , B05C9/14 , B05C13/00 , G03F7/162 , G03F7/168 , H01L21/67051 , H01L21/6708 , H01L21/67115 , H01L21/67178 , H01L21/68792 , Y10S134/902
摘要：在用以處理晶圓狀物件的設備中，旋轉夾具係配置以固持具有一預定直徑之晶圓狀物件。非旋轉板係相對於旋轉夾具而設置，使得當晶圓狀物件設置在旋轉夾具上時，非旋轉板係位於該晶圓狀物件下方且與其平行。流體分佈噴嘴穿過非旋轉板並終止在排放端，排放端位於非旋轉板上方且鄰近非旋轉板。排放端包含水平氣體排放噴嘴，其係配置以使氣體徑向朝外分佈橫越非旋轉板的上表面。
简体摘要：在用以处理晶圆状对象的设备中，旋转夹具系配置以固持具有一预定直径之晶圆状对象。非旋转板系相对于旋转夹具而设置，使得当晶圆状对象设置在旋转夹具上时，非旋转板系位于该晶圆状对象下方且与其平行。流体分布喷嘴穿过非旋转板并终止在排放端，排放端位于非旋转板上方且邻近非旋转板。排放端包含水平气体排放喷嘴，其系配置以使气体径向朝外分布横越非旋转板的上表面。

77. 发明专利

TW201806058A 晶圓狀物件之處理方法及設備审中-公开
简体标题：晶圆状对象之处理方法及设备
公开(公告)号：TW201806058A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：TW106117349
申请日：2017-05-25
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：梅世禮 , MUI, DAVID , 伯尼布奇 , BERNEY, BUTCH , 勾勒艾洛伊斯 , GOLLER, ALOIS , 瑞夫肯麥可 , RAVKIN, MIKE
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/6708 , H01L21/67051 , H01L21/67115 , H01L21/67248 , H01L21/68757
摘要：具有一旋轉夾頭與一加熱組件的一種晶圓狀物件的處理設備，當一晶圓狀物件係位於該旋轉夾頭上時，該加熱組件係面對該晶圓狀物件。一液體分配器之位置俾以將液體分配至該晶圓狀物件的一表面上，當該晶圓狀物件係位於該旋轉夾頭上時該表面係面離該旋轉夾頭。該加熱組件包含分佈於至少五個可獨立控制的族群間之複數輻射加熱元件的一陣列。該液體分配器包含一或多個分配孔口，該一或多個分配孔口係用以將一排放點自該旋轉夾頭之該較中央區域移動至該旋轉夾頭之該較外圍區域。一控制器基於該液體分配器之該排放點的一位置控制被供給至該複數輻射加熱元件之該至少五個可獨立控制的族群之每一族群的功率。
简体摘要：具有一旋转夹头与一加热组件的一种晶圆状对象的处理设备，当一晶圆状对象系位于该旋转夹头上时，该加热组件系面对该晶圆状对象。一液体分配器之位置俾以将液体分配至该晶圆状对象的一表面上，当该晶圆状对象系位于该旋转夹头上时该表面系面离该旋转夹头。该加热组件包含分布于至少五个可独立控制的族群间之复数辐射加热组件的一数组。该液体分配器包含一或多个分配孔口，该一或多个分配孔口系用以将一排放点自该旋转夹头之该较中央区域移动至该旋转夹头之该较外围区域。一控制器基于该液体分配器之该排放点的一位置控制被供给至该复数辐射加热组件之该至少五个可独立控制的族群之每一族群的功率。

78. 发明专利

TWI614838B 用以固持晶圓狀物件之裝置有权
简体标题：用以固持晶圆状对象之设备
公开(公告)号：TWI614838B
公开(公告)日：2018-02-11
申请号：TW103118885
申请日：2014-05-29
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：格萊斯勒安得羅斯 , GLEISSNER, ANDREAS , 渥恩斯伯格湯瑪士 , WIRNSBERGER, THOMAS
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/68728 , B08B3/04 , B08B11/02 , F16D27/09 , H01L21/67023 , H01L21/67069 , H01L21/68721

79. 发明专利

TWI602235B 用以處理晶圓狀物件之方法及設備有权
简体标题：用以处理晶圆状对象之方法及设备
公开(公告)号：TWI602235B
公开(公告)日：2017-10-11
申请号：TW102146718
申请日：2013-12-17
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：豪斯特恩法蘭克 , HOLSTEYNS, FRANK , 力普特亞歷山大 , LIPPERT, ALEXANDER
IPC分类号： H01L21/306
CPC分类号： H01L21/67023 , H01L21/67051

80. 发明专利

TWI560008B 用以處理晶圓狀物體之裝置及方法有权
简体标题：用以处理晶圆状物体之设备及方法
公开(公告)号：TWI560008B
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：TW101143766
申请日：2012-11-22
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：普雷松尼安提 , PLAZONIC, ANTE , 歐費格克爾斯頓 , AUFEGGER, CHRISTIAN , 史沃森巴契萊霍 , SCHWARZENBACHER, REINHOLD
IPC分类号： B23B31/02 , B23Q7/00
CPC分类号： H01L21/67051 , H01L21/6708 , Y10T29/49998 , Y10T29/53704 , Y10T279/3493

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