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    • 72. 发明申请
    • PROJECTION EXPOSURE SYSTEM FOR MICROLITHOGRAPHY AND METHOD OF MONITORING A LATERAL IMAGING STABILITY
    • 用于微观计算的投影曝光系统和监测横向成像稳定性的方法
    • WO2009156111A1
    • 2009-12-30
    • PCT/EP2009/004493
    • 2009-06-23
    • CARL ZEISS SMT AGMANGER, MatthiasSCHÖCH, ArminMÜLLER, Ulrich
    • MANGER, MatthiasSCHÖCH, ArminMÜLLER, Ulrich
    • G03F7/20
    • G03F7/70191G03F7/70258G03F7/70591G03F7/7085
    • A projection exposure system (10) for microlithography comprises projection optics (12) for imaging mask structures into a substrate plane (16), an input diffraction element (28) which is configured to convert irradiated measurement radiation (21 ) into at least two test waves (30) directed onto the projection optics (12) with different propagation directions, a detection diffraction element (34; 28) which is disposed in the optical path of the test waves (30) after the latter have passed through the projection optics (12) and is configured to produce a detection beam (36) from the test waves (30) which has a mixture of radiation portions of both test waves (30), a photo detector (38) disposed in the optical path of the detection beam (36) which is configured to record the radiation intensity of the detection beam (36), time resolved, and an evaluation unit which is configured to determine the lateral imaging stability of the projection optics (12) from the radiation intensity recorded.
    • 用于微光刻的投影曝光系统(10)包括用于将掩模结构成像到基板平面(16)中的投影光学器件(12),被配置为将照射的测量辐射(21)转换成至少两个测试的输入衍射元件(28) 以不同的传播方向指向投影光学器件(12)的波(30);检测衍射元件(34; 28),其被布置在经过投影光学器件的测试波(30)的光路中 12),并且被配置为从具有两个测试波的辐射部分的混合物的测试波(30)产生检测光束(36),设置在检测光束的光路中的光电检测器(38) (36),其被配置为记录检测光束(36)的辐射强度,时间分辨率,以及评估单元,其被配置为根据记录的辐射强度来确定投影光学器件(12)的横向成像稳定性 。
    • 75. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR ANZEIGE EINER INFORMATION
    • 程序用于显示信息
    • WO2009074509A1
    • 2009-06-18
    • PCT/EP2008/066817
    • 2008-12-04
    • HUF HÜLSBECK & FÜRST GMBH & CO. KGKAMPS, RolfMÜLLER, UlrichVAN DEN BOOM, Andreas
    • KAMPS, RolfMÜLLER, UlrichVAN DEN BOOM, Andreas
    • G07C5/08
    • G07C5/0858G07C5/008
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Anzeige einer Information, mit einem mobilen Identifikationsgeber (10) sowie einer eigenständigen Displayeinheit (20), wobei der mobile Identifikationsgeber (10) für eine Aktivierung eines Sicherheitssystems eines Kraftfahrzeuges dient, der mobile Identifikationsgeber (10) eine Elektronikeinheit (11) aufweist und die Elektronikeinheit (11) zur Datenkommunikation (30) mit einem fahrzeugseitigen Teil dient, über die Datenkommunikation (30) eine fahrzeugseitige Information von dem fahrzeugseitigen Teil an die Elektronikeinheit (11) übermittelt wird, die fahrzeugseitige Information in einem Datenspeicher (12) gespeichert wird, die Elektronikeinheit (11) mit der eigenständigen Displayeinheit (20) über eine Kommunikationsverbindung (40) kommuniziert, und über die Kommunikationsverbindung (40) die fahrzeugseitige Information auf die eigenständige Displayeinheit (20) übertragen und dort angezeigt wird.
    • 本发明涉及一种方法,用于与移动识别发送器(10)和一个独立的显示单元(20),其中所述移动识别发送器(10)被用于机动车辆的安全系统的激活显示信息,移动识别发送器(10)的电子单元( 11)和用于数据通信(电子单元(11)30)被提供有一个车辆侧构件(通过数据通信30)从车辆侧部到所述电子单元(11)的车辆侧信息被发送,在数据存储器中的车载信息(12 )被存储,经由通信链路(40)和(通过被传送的通信链路40)与所述车辆侧信息发送到单独的显示单元(20通信的电子单元(11)与所述独立的显示器单元(20))在那里显示。
    • 78. 发明申请
    • SCHALTVORRICHTUNG
    • 控制装置
    • WO2007096304A1
    • 2007-08-30
    • PCT/EP2007/051506
    • 2007-02-16
    • HUF HÜLSBECK & FÜRST GMBH & CO. KGSTEEGMANN, BerndMÜLLER, Ulrich
    • STEEGMANN, BerndMÜLLER, Ulrich
    • G07C9/00
    • G07C9/00309B60R25/2027G07C2009/00373G07C2209/64H03K17/962H03K17/964H03K17/97H03K2017/9602H03K2017/9713H03K2217/94073Y10T70/5889
    • Die Erfindung betrifft eine Schaltvorrichtung (1) zum schlüssellosen Ein- bzw. Ausschalten eines Verbrauchers, insbesondere eines Motors od. dgl. in einem Fahrzeug, und/oder zur Ent- bzw. Verrieglung eines funktionswesentlichen Bauteils eines Fahrzeuges, mit zumindest einem in einem Gehäuse (2) angeordneten Schaltelement (3), welches durch ein Betätigungselement (4) bedienbar ist, wodurch wenigstens ein Schaltsignal für die Steuereinheit (10) erzeugbar ist. Um eine Schaltvorrichtung, die aus wenigen Bauteilen besteht und die auf einfache Art und Weise in ein schlüsselloses Sicherheitssystem eingebunden ist, zu erhalten, wird vorgeschlagen, dass eine Elektrode (5) am Gehäuse (2) vorgesehen ist, die mit einer Steuereinheit (10) verbunden ist, wobei die Elektrode (5) zur Datenübertragung zu einem mobilen ID-Geber (13) dient, und die Elektrode (5) durch eine kapazitive Kopplung (32, 34) eine Datenübertragung zum mobilen ID-Geber (13) ermöglicht, wobei die Steuereinheit (10) ein erstes kodiertes und/oder moduliertes Signal an die Elektrode (5) leitet, wenn diese von dem Schaltelement (3) ein erstes Schaltsignal erhält. Des Weiteren ist die Erfindung auch auf ein Sicherheitssystem (25) zur schlüssellosen Aktivierung bzw. Deaktivierung einer Anlage oder eines Gerätes gerichtet, insbesondere eines Lenkradschlosses oder eines Motors in einem Fahrzeug, mit einer erfindungsgemäßen Schaltvorrichtung (1), und einem mobilen ID-Geber (13), wobei zwischen der Schaltvorrichtung (1) und dem ID-Geber (13) eine kapazitive Datenübertragung stattfindbar ist, und einer Steuereinheit (10), die die Datenübertragung zwischen der Schaltvorrichtung (1) und dem mobilen ID-Geber (13) steuert.
    • 本发明涉及的开关装置(1),用于打开或关闭的负载无钥匙开关,尤其是机动外径一样的。在车辆中,和/或车辆的功能性基本组分的解锁或锁定,以在壳体中的至少一个 (2),其设置开关元件(3),其由致动器(4)来操作,从而可以产生至少为所述控制单元(10)的切换信号致动。 为了获得其由较少的部件,并且被集成在一个无钥匙安全系统以简单的方式的开关装置中,提出的是,壳体(2)上的电极(5)设置有一个控制单元(10) 连接,其中,用于数据传输到移动ID发送器(13)中使用的电极(5),并通过电容耦合(32,34)的电极(5)允许将数据传送到移动ID发送器(13),其特征在于 转发控制单元(10)中的第一编码和/或调制的信号到所述电极(5),当后者由开关元件(3)接收的第一切换信号。 本发明还涉及一种安全系统(25),用于无钥匙激活或一个系统或一个设备的失活,特别是方向盘锁或在交通工具中使用的本发明的开关装置(1)的电动机,和一个移动ID发送器( 13),其特征在于电容性数据传输是stattfindbar开关装置(1)和ID发送器(13),以及控制单元(10之间),其控制(开关装置(1)和所述移动ID发送器之间的数据传输13) ,
    • 79. 发明申请
    • VERRIEGELUNGSVORRICHTUNG FÜR EINE LENKSPINDEL UND ANWENDUNGSSPEZIFISCHE INTEGRIERTE SCHALTUNG HIERFÜR
    • 锁紧装置的转向杆和应用专用集成电路THEREFOR
    • WO2006092186A2
    • 2006-09-08
    • PCT/EP2006/000247
    • 2006-01-12
    • HUF HÜLSBECK & FÜRST GMBH & CO. KGMÜLLER, UlrichZECH, MichaelFINZEL, JörgFELGL, AndreasGREIFF, StephanKIENLEIN, ReinholdMÜLLER, Norbert
    • MÜLLER, UlrichZECH, MichaelFINZEL, JörgFELGL, AndreasGREIFF, StephanKIENLEIN, ReinholdMÜLLER, Norbert
    • B60R25/02
    • B60R25/02153
    • Eine Verriegelungsvorrichtung (1) für eine Lenkspindel weist eine Sperrbolzenanordnung (11), ein Steuerglied (17) und eine Sensoranordnung (24-28) auf. Das Steuerglied (17) ist über Führungseinrichtungen (19) mit der Sperrbolzenanordnung (11) derart gekoppelt, daß die Sperrbolzenanordnung (11) bei Drehung des Steuerglieds (17) zwischen einer Sperrstellung und einer Freigabestellung bewegbar ist, wobei die Sperrbolzenanordnung in Sperrstellung eine Drehung der Lenkspindel blockiert. Die Sensoranordnung dient dem Erfassen der Freigabestellung der Sperrbolzenanordnung und wenigstens einer vorgegebenen Drehstellung des Steuerglieds und umfaßt einen ersten Permanentmagneten (24), der an der Sperrbolzenanordnung (11) befestigt ist und sich bei Erreichen der Freigabestellung in einer ersten Kopplungsposition relativ zu einem ersten Hall-Sensor (25) befindet, und einen zweiten Permanentmagneten (26), der mit Steuerglied (17) derart gekoppelt ist, daß er bei Erreichen der vorgegeben Drehstellung des Steuerglieds (17) eine zweite Kopplungsposition relativ zu einem zweiten Hall-Sensor (27) einnimmt.
    • 的锁定装置(1),用于转向轴包括锁定销组件(11),控制构件(17)和传感器装置(24-28)。 所述控制构件(17)通过导向装置(19)与所述止动销装置耦合(11),使得所述锁栓装置(11)在所述控制构件(17)的旋转是在锁定位置和释放位置之间移动,其中,在所述阻挡位置旋转止动销装置 转向轴阻挡。 所述传感器阵列被用于检测止动销装置的释放位置和至少一个预定的控制部件的旋转位置,并包括一第一永久磁铁(24),其被固定到所述止动销装置(11)和在到达所述释放位置到第一相对的联接位置移动到第一霍尔 传感器(25),以及耦合到所述控制部件(17)被耦合以这样的方式的第二永久磁铁(26),它假设,当它到达所述控制构件(17)相对于第二霍尔传感器的第二连结位置的规定旋转位置(27) ,