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    • 71. 发明公开
    • 디스플레이 장치
    • 显示单元
    • KR1020160027315A
    • 2016-03-10
    • KR1020140113198
    • 2014-08-28
    • 한국전자통신연구원
    • 황치선김기현김용해변춘원오힘찬추혜용이명래피재은
    • G02F1/1368
    • G02F1/136286G02F1/1368H01L27/124H01L29/786
    • 본발명은디스플레이장치를제공한다. 디스플레이장치는기판, 상기기판상에순차적으로적층된공통전극및 제 1 절연막, 상기제 1 절연막상의캡 전극, 상기캡 전극을덮는제 2 절연막, 상기제 2 절연막상의소스전극, 상기제 2 절연막상에제공되고, 상기제 1 컨택을통해상기캡 전극에연결되고상기소스전극의상부로연장되는드레인전극, 상기소스전극과상기드레인전극사이의제 3 절연막, 상기드레인전극및 제 3 절연막의측면상에제공되고, 상기소스전극으로연장되는게이트전극, 상기게이트전극과상기소스전극, 상기제 3 절연막및 상기드레인전극사이의활성층, 상기활성층과상기게이트전극사이의게이트절연막, 상기게이트전극및 상기드레인전극을덮는제 4 절연막상에제공되고, 제 2 컨택을통해연결되는픽셀전극을포함한다.
    • 提供一种显示装置,其包括:基板; 依次层叠在基板上的公共电极和第一绝缘膜; 第一绝缘膜上的帽电极; 覆盖所述盖电极的第二绝缘膜; 在第二绝缘膜上的源电极; 设置在第二绝缘膜上的漏极,通过第一接触连接到帽电极,并延伸到源电极的上部; 设置在源电极和漏电极之间的第三绝缘膜; 设置在所述漏电极上的栅电极和所述第三绝缘膜的侧面,并延伸到所述源电极; 设置在栅电极和源电极之间的有源层,以及第三绝缘膜和漏电极; 设置在所述有源层和所述栅电极之间的栅极绝缘膜; 以及设置在覆盖所述栅电极和所述漏电极的第四绝缘膜上并通过第二触点连接的像素电极。
    • 74. 发明公开
    • 박막 트랜지스터
    • 薄膜晶体管
    • KR1020140135588A
    • 2014-11-26
    • KR1020130127995
    • 2013-10-25
    • 한국전자통신연구원
    • 조성행박상희황치선
    • H01L29/786H01L21/336H01L29/417
    • H01L27/1288H01L27/1225H01L29/45H01L29/7869
    • 본 발명은 박막 트랜지스터의 제조방법을 제공한다. 이 박막 트랜지스터의 제조방법은 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 것, 게이트 전극이 형성된 상기 기판 상에 게이트 절연막을 형성하는 것, 상기 게이트 절연막 상에 제 1 도전층을 형성하는 것, 상기 제 1 도전층 상에 제 2 도전층을 형성하는 것, 상기 제 2 도전층 상에 상기 게이트 전극 일측의 소스 영역에서 제 1 두께를 갖는 제 1 영역, 상기 게이트 전극 및 상기 게이트 전극 타측의 드레인 영역에서 상기 제 1 두께보다 얇은 제 2 두께를 갖는 제 2 영역을 포함하는 제 1 포토 레지스트 패턴을 형성하는 것, 상기 제 1 포토 레지스트 패턴을 사용하며 상기 제 1 도전층 및 상기 제 2 도전층을 식각하는 것, 상기 제 1 영역의 상기 레지스트는 남기면서 상기 제 2 영역의 상기 레지스트는 제거하여 제 2 포토 레지스트 패턴을 형성하는 것, 상기 제 2 포토 레지� �트 패턴을 사용하여 상기 제 2 도전층을 식각하는 것, 상기 기판 상에 네가티브형의 레지스트를 도포하는 것, 배면 노광하여 상기 게이트 전극 상의 상기 네가티브형의 레지스트를 제거하는 것, 상기 게이트 전극 상의 상기 제 1 도전층을 식각하는 것, 상기 게이트 전극 상의 상기 게이트 절연막 상에 산화물 반도체층을 형성하는 것, 상기 산화물 반도체층이 형성된 상기 기판 상에 보호층을 형성하는 것, 상기 보호층 상에 평탄층을 형성하는 것 을 포함한다.
    • 提供一种制造薄膜晶体管的方法。 制造薄膜的方法包括以下步骤:在衬底上形成栅电极; 在其上形成有栅电极的基板上形成栅极绝缘体; 在所述栅极绝缘体上形成第一导电层; 在所述第一导电层上形成第二导电层; 在所述第二导电层上形成包括第一区域和第二区域的第一光致抗蚀剂图案,其中所述第一区域在所述栅极电极的一侧的源极区域上具有第一厚度,并且所述第二区域具有小于 栅电极上的第一厚度和栅电极另一侧的漏区; 使用第一光致抗蚀剂图案蚀刻第一导电层和第二导电层; 通过在第一区域上留下抗蚀剂并除去第二区域上的抗蚀剂来形成第二光致抗蚀剂图案; 使用第二光致抗蚀剂图案蚀刻第二导电层; 在衬底上施加负性抗蚀剂; 通过背面曝光从栅电极去除负光刻胶; 蚀刻栅电极上的第一导电层; 在栅电极上的栅极绝缘体上形成氧化物半导体层; 在形成有氧化物半导体层的基板上形成保护层; 并在保护层上形成平坦化层。
    • 76. 发明公开
    • 트렌지스터
    • 晶体管
    • KR1020140076106A
    • 2014-06-20
    • KR1020120144265
    • 2012-12-12
    • 한국전자통신연구원
    • 차홍기안성덕황치선
    • H01L29/786H01L21/336
    • H01L29/7869H01L29/4908H01L29/51
    • A transistor according to one embodiment of the present invention includes an active layer and a gate insulating layer which touches the active layer. The active layer and the gate insulating layer include the same oxide. The oxygen content of the oxide of the gate insulating layer is higher than the oxygen content of the oxide of the active layer. Because the active layer and the gate insulating layer have the same material, high charge mobility in the active layer is obtained in driving the transistor. In manufacturing the transistor, the active layer and the gate insulating layer are formed by depositing the same material in the same sputtering chamber while changing oxygen partial pressure ratios.
    • 根据本发明的一个实施例的晶体管包括接触有源层的有源层和栅极绝缘层。 有源层和栅极绝缘层包括相同的氧化物。 栅极绝缘层的氧化物的氧含量高于有源层的氧化物的氧含量。 由于有源层和栅极绝缘层具有相同的材料,因此在驱动晶体管时获得有源层中的高电荷迁移率。 在制造晶体管时,通过在相同的溅射室中沉积相同的材料同时改变氧气分压比来形成有源层和栅极绝缘层。
    • 77. 发明公开
    • 자기 정렬 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법
    • 自对准薄膜晶体管及其制造方法
    • KR1020140066878A
    • 2014-06-03
    • KR1020120133471
    • 2012-11-23
    • 한국전자통신연구원
    • 오힘찬황치선박상희
    • H01L29/786H01L21/336
    • H01L29/78696H01L29/24H01L29/45H01L29/4908H01L29/66742H01L29/66969H01L29/7869H01L29/66757H01L29/41733
    • Provided are a self-aligned thin film transistor capable of improving the operation speed and stability, and minimize the size at the same time by forming self-aligned source and drain electrodes and a manufacturing method thereof. According to an embodiment of the present invention, the thin film transistor manufacturing method comprises: a step of successively forming an active layer, a gate insulating film, and a gate layer on a substrate; a step of forming a photosensitive pattern to define the shape of a gate electrode on the gate layer; a step of successively etching the gate layer, the gate insulating film, and the active layer using the photosensitive pattern; a step of depositing source and drain layers on the etched substrate in a deposition method with directivity; and a step of forming the gate electrode and self-aligned source and drain electrodes by removing the photosensitive pattern.
    • 本发明提供一种能够提高操作速度和稳定性的自对准薄膜晶体管,并且通过形成自对准源极和漏极同时使尺寸最小化及其制造方法。 根据本发明的实施例,薄膜晶体管的制造方法包括:在衬底上依次形成有源层,栅极绝缘膜和栅极层的步骤; 形成感光图案以限定栅极层上的栅电极的形状的步骤; 使用感光图案连续地蚀刻栅极层,栅极绝缘膜和有源层的步骤; 以具有指向性的沉积方法在蚀刻的衬底上沉积源极和漏极层的步骤; 以及通过去除感光图案形成栅电极和自对准源电极和漏电极的步骤。