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    • 76. 发明专利
    • 磁碟用基板之研磨用組成物及使用該組成物的研磨方法
    • 磁盘用基板之研磨用组成物及使用该组成物的研磨方法
    • TW593632B
    • 2004-06-21
    • TW091124806
    • 2002-10-24
    • 富士見股份有限公司 FUJIMI INCORPORATED
    • 石橋智明 ISHIBASHI, TOMOAKI
    • C09KC09G
    • G11B5/8404C09G1/02
    • (摘要)
      提供於磁碟用基板之研磨加工上,可抑制平面下垂等發生之研磨用組成物及使用該組成物的研磨方法。(解決手段)
      至少一種選自蘋果酸、乙醇酸、琥珀酸、檸檬酸、馬來酸、衣康酸、丙二酸、亞胺乙酸、葡糖酸、乳酸、苦杏仁酸、巴豆酸、煙酸、硝酸鋁、硫酸鋁及硝酸鐵(Ⅲ)之化合物所形成之加工促進劑,及至少一種選自聚乙烯基咯烷酮、聚環氧乙烷山梨糖醇酐脂肪酸酯及聚環氧乙烷山梨糖醇脂肪酸酯之化合物所形成之平面下垂抑制劑,及至少一種選自氧化鋁、二氧化矽、氧化鈰、氧化鋯、氧化鈦、氮化矽及碳化矽之研磨材料,及水之磁碟用基板之研磨用組成物及使用該組成物的研磨方法。
    • (摘要) 提供于磁盘用基板之研磨加工上,可抑制平面下垂等发生之研磨用组成物及使用该组成物的研磨方法。(解决手段) 至少一种选自苹果酸、乙醇酸、琥珀酸、柠檬酸、马来酸、衣康酸、丙二酸、亚胺乙酸、葡糖酸、乳酸、苦杏仁酸、巴豆酸、烟酸、硝酸铝、硫酸铝及硝酸铁(Ⅲ)之化合物所形成之加工促进剂,及至少一种选自聚乙烯基咯烷酮、聚环氧乙烷山梨糖醇酐脂肪酸酯及聚环氧乙烷山梨糖醇脂肪酸酯之化合物所形成之平面下垂抑制剂,及至少一种选自氧化铝、二氧化硅、氧化铈、氧化锆、氧化钛、氮化硅及碳化硅之研磨材料,及水之磁盘用基板之研磨用组成物及使用该组成物的研磨方法。