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    • 62. 发明申请
    • 化学分析装置
    • WO2010098053A1
    • 2010-09-02
    • PCT/JP2010/001114
    • 2010-02-22
    • 株式会社 日立ハイテクノロジーズ山川寛展有賀洋一大草武徳高橋賢一清野太作
    • 山川寛展有賀洋一大草武徳高橋賢一清野太作
    • G01N35/02G01N35/10
    • G01L9/00B01F13/0272B01L3/508B01L3/5085B01L99/00B01L2300/0636B01L2300/0822B01L2300/0829B08B9/035B08B9/0817G01L9/0041G01N33/50G01N35/025G01N2035/00544G01N2035/0437Y10T436/2575
    •  攪拌対象となる容器中の反応液に対し、容器上側に設けた空気噴出口から空気を噴出して反応液を攪拌する自動化学分析装置反応容器に対し、噴出される空気の状態を確認することで、信頼性が高い化学分析装置を提供する。また、反応容器に対し、コーティングされた試薬などを剥離するような障害を与えないで十分に反応領域を洗浄することができる。 反応容器設置台(反応ディスク)161に細孔240と、細孔につながる圧力検出手段241を設け、攪拌動作前後に、空気を噴出しながら噴出口(ノズル)170を移動し、圧力検出手段からの出力値を予め測定しておいた正常値と比較することで、攪拌機構が正常であることを保障する。また、吐出管101と吸引管102を、反応容器140の側壁近くの容器開口部両端に挿入した状態で、洗浄液を吐出,吸引し続けて容器底面の反応領域150を洗浄する。
    • 公开了一种化学分析装置,其通过测试排出空气的状态而高度可靠,其中自动化学分析装置反应容器通过从设置在容器上方的排气出口朝向反应液体排出空气来搅拌反应液体,搅拌目标 ,包含在船内。 此外,在反应容器中,可以彻底地清洁反应区域而不会引起诸如剥离涂层试剂等的损坏。反应容器放置平台(反应盘)(161)设置有孔(240)和压力 连接到所述孔的检测装置(241)。 通过在排出空气的同时在搅拌前后移出排出口(喷嘴)(170),并将由压力检测装置检测的值与最初确定的正常值进行比较,可以确保搅拌机构正常工作。 此外,反应容器(1140)的底面上的反应区域(1150)通过连续排出和清洗液的抽吸来清洗,同时将排出管(1101)和抽吸管(1102)插入反应容器 (1140)在容器开口两端的侧壁附近。
    • 64. 发明申请
    • SPAN LINE PRESSURE EFFECT COMPENSATION FOR DIAPHRAGM PRESSURE SENSOR
    • 透气压力传感器的跨度压力效应补偿
    • WO2015147976A1
    • 2015-10-01
    • PCT/US2015/012393
    • 2015-01-22
    • ROSEMOUNT INC.
    • WILLCOX, Charles, Ray
    • G01L9/00G01L19/02
    • G01L9/0072G01L9/0041G01L19/02
    • A differential pressure sensor (56) for sensing a differential pressure of a process fluid, includes a sensor body (114, 116) having a sensor cavity (132, 134) formed therein with a cavity profile. A diaphragm (106) in the sensor cavity deflects in response to an applied differential pressure. The diaphragm (106) has a diaphragm profile. A gap formed between the cavity profile and the diaphragm profile changes as a function of the differential pressure. At least one of the cavity profile and diaphragm profile changes as a function of a line pressure to compensate for changes in the gap due to deformation of the sensor body from the line pressure.
    • 用于感测过程流体的压差的差压传感器(56)包括传感器主体(114,116),其具有在其中形成有空腔轮廓的传感器腔(132,134)。 传感器腔中的隔膜(106)响应于施加的压差而偏转。 隔膜(106)具有隔膜轮廓。 在空腔轮廓和隔膜轮廓之间形成的间隙作为压差的函数而变化。 腔体轮廓和隔膜轮廓中的至少一个作为管线压力的函数而改变,以补偿由于传感器主体与管路压力的变形引起的间隙变化。
    • 65. 发明申请
    • AN IMPROVED PRESSURE SENSOR STRUCTURE
    • 改进的压力传感器结构
    • WO2015107453A1
    • 2015-07-23
    • PCT/IB2015/050241
    • 2015-01-13
    • MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
    • KUISMA, HeikkiYOSHIDA, Koichi
    • G01L9/00
    • G01L9/0072G01L9/0041
    • A microelectromechanical pressure sensor structure that comprises a planar base (21), a side wall layer (23) and a diaphragm plate (20). The side wall layer forms side walls that extend away from the planar base into contact with the diaphragm plate. The side wall layer is formed of at least three layers, a first layer (28) and a second layer (29) of insulating material and a third layer (27) of conductive material, wherein the third layer is between the first layer and the second layer. The conducting layer provides a shield electrode within the isolating side wall layer. This shield electrode is adapted to reduce undesired effects to the capacitive measurement results.
    • 一种微机电压力传感器结构,包括平面基座(21),侧壁层(23)和隔膜板(20)。 侧壁层形成从平面基部延伸离开与隔膜板接触的侧壁。 侧壁层由至少三层形成,第一层(28)和绝缘材料的第二层(29)和导电材料的第三层(27),其中第三层在第一层和第二层之间 第二层。 导电层在隔离侧壁层内提供屏蔽电极。 该屏蔽电极适于减少对电容测量结果的不期望的影响。
    • 67. 发明申请
    • FLUID PRESSURE SENSOR AND MEASUREMENT PROBE
    • 流体压力传感器和测量探头
    • WO2013083821A1
    • 2013-06-13
    • PCT/EP2012/074873
    • 2012-12-07
    • OPENFIELDDONZIER, EricTAVERNIER, Emmanuel
    • DONZIER, EricTAVERNIER, Emmanuel
    • G01L9/00
    • G01L9/0041B81C1/00134G01L9/0042G01L9/0054
    • This invention concerns a fluid pressure measurement sensor (11) comprising a microelectromechanical system (MEMS) chip (23). The MEMS chip (23) comprises two lateral walls (56), a sensitive membrane (49) connected to said lateral walls (56) and sealed cavity (9). The exterior surfaces of the lateral walls (56) and the sensitive membrane (49) are exposed to the fluid pressure. The lateral walls (56) are designed to subject the sensitive membrane (49) to a compression stress transmitted by the opposite lateral walls (56) where said lateral walls (56) are connected to the sensitive membrane (49) such that the sensitive membrane (49) works in compression only. The MEMS chip (23) also comprises a stress detection circuit (31) to measure the compression state of the sensitive membrane (49) which is proportional to the fluid pressure.
    • 本发明涉及包括微机电系统(MEMS)芯片(23)的流体压力测量传感器(11)。 MEMS芯片(23)包括两个侧壁(56),连接到所述侧壁(56)和密封空腔(9)的敏感膜(49)。 侧壁(56)和敏感膜(49)的外表面暴露于流体压力。 侧壁(56)被设计成使敏感膜(49)承受由相对的侧壁(56)传递的压缩应力,其中所述侧壁(56)连接到敏感膜(49),使得敏感膜 (49)仅在压缩中工作。 MEMS芯片(23)还包括用于测量与流体压力成比例的敏感膜(49)的压缩状态的应力检测电路(31)。
    • 68. 发明申请
    • FLUIDSENSOR
    • 流体传感器
    • WO2008043555A2
    • 2008-04-17
    • PCT/EP2007/008842
    • 2007-10-11
    • ATMEL GERMANY GMBH
    • MUTZ, Dieter
    • G01L19/00G01L17/00
    • G01L17/00B60C23/0408G01L9/0041
    • Die Erfindung betrifft einen Fluidsensor zur Ermittlung eines Fluidkennwerts mit einem elektronischen Sensorelement (12), das eine aktive Oberfläche (28) zur Bestimmung des Fluidkennwerts aufweist, mit einer dem Sensorelement (12) zugeordneten Trägerplatte (14), und mit einer dem Sensorelement (12) zugeordneten Filtereinrichtung (20) zum Filtern des Fluids, wobei die aktive Oberfläche (28) des Sensorelements (12) der Trägerplatte (14) zugewandt ist und in der Trägerplatte (14) gegenüberliegend zur aktiven Oberfläche (28) des Sensorelements (12) ein Durchbruch (18) vorgesehen ist. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass ein Endbereich der Filtereinrichtung (20) abdichtend in dem Durchbruch (18) der Trägerplatte (14) aufgenommen ist. Verwendung für Reifendruckmessung.
    • 本发明涉及一种流体传感器,用于确定具有电子传感器元件(12)具有用于确定流体特性值的有源表面(28),与所述传感器元件相关联的流体特性值(12)支撑板(14),和(与传感器元件12 )与过滤装置(20),用于14)相对过滤所述流体,其中所述载体板(14)的传感器元件(12)的有源表面(28)面对与(在支撑板到传感器元件的有源表面(28)相关联(12) 开口(18)设置。 根据本发明,提供的是密封地在所述载体板(14)的开口(18)的过滤装置的一个端部(20)容纳。 使用轮胎压力测量。