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    • 64. 发明专利
    • Vorrichtung, Anordnung und Verfahren zum Detektieren von Infrarotstrahlung
    • DE102015216532A1
    • 2017-03-02
    • DE102015216532
    • 2015-08-28
    • BOSCH GMBH ROBERT
    • UTERMOEHLEN FABIANHENRICI FABIAN
    • G01J5/44B81C1/00H01L31/101
    • Die Erfindung schafft eine Vorrichtung, eine Anordnung von Vorrichtungen sowie ein Verfahren zum Detektieren von Infrarotstrahlung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Vorrichtung ist ausgebildet mit: einem Substrat (12); einer ersten Elektrodeneinrichtung (14; 114; 214) auf oder an dem Substrat (12); einer an dem Substrat (12) über mindestens ein Aufhängungselement (4; 124, 126; 224, 226; 324, 326) elastisch aufgehängten Absorptionseinrichtung (16; 116; 216; 416), welche dazu ausgelegt ist, die zu detektierende Infrarotstrahlung (50) zu absorbieren; wobei das mindestens eine Aufhängungselement (4; 124, 126; 224, 226; 324, 326) dazu ausgebildet ist, sich in Abhängigkeit von der absorbierten Infrarotstrahlung (50) zu verformen; einer zweiten Elektrodeneinrichtung (18; 118; 418) auf oder an der Absorptionseinrichtung (16; 116; 216; 416); einer Steuereinrichtung (20), welche dazu ausgelegt ist, eine elektrische Potentialdifferenz zwischen der ersten Elektrodeneinrichtung (14; 114; 214) und der zweiten Elektrodeneinrichtung (18; 118; 418) derart zu erzeugen, dass die Absorptionseinrichtung (16; 116; 216; 416) in eine periodische Bewegung versetzt wird; einer Erfassungseinrichtung (22), welche dazu ausgelegt ist, eine Resonanzfrequenz der periodischen Bewegung zu erfassen; und einer Auswerteeinrichtung (24), welche dazu ausgelegt ist, die zu detektierende Infrarotstrahlung (50) basierend auf der erfassten Resonanzfrequenz zu detektieren.