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61. 发明专利

DE102015217935A1 Mikromechanische Aktorvorrichtung und Verfahren zum Verkippen einer mikromechanischen Aktorvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE102015217935A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：DE102015217935
申请日：2015-09-18
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： MUCHOW JOERG , STRAUB RAINER , STEUER BENJAMIN , PINTER STEFAN , NJIMONZIE FREDERIC NJIKAM
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , B81B7/02
摘要： Die Erfindung schafft eine Aktorvorrichtung (100; 200, 300; 400) und ein Verfahren zum Verkippen einer Aktorvorrichtung. Das Verfahren umfasst die Schritte: Leiten (S01) von elektrischem Strom (I) durch eine elektrische Leitungseinrichtung (150; 250; 350), welche über eine Kippeinrichtung (110; 310) der Aktorvorrichtung (100; 200; 300; 400) geführt ist, innerhalb eines durch eine Permanentmagneteinrichtung (130-i; 230-i; 430-i) der Aktorvorrichtung (100; 200; 300; 400) erzeugten ersten Magnetfelds (11), sodass aufgrund einer Lorentzkraft (31, 32) ein Aktorelement (112; 312) der Kippeinrichtung (110; 310) entlang einer ersten Kippachse (A) verkippt wird; und Erzeugen (S02) eines zweiten Magnetfelds durch eine Elektromagneteinrichtung (125, 129) der Aktorvorrichtung (100; 200; 300; 400) im Bereich der Permanentmagneteinrichtung (130-i; 230-i; 430-i), sodass aufgrund von magnetischer Anziehung und Abstoßung die Kippeinrichtung (110; 310) entlang einer zweiten Kippachse (B) verkippt wird.

62. 发明专利

DE102014211027A1 Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil 未知
公开(公告)号：DE102014211027A1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：DE102014211027
申请日：2014-06-10
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00 , G02B26/08
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem in Bezug zu einer Halterung (10) verstellbaren Teil (12), welches zumindest über eine Aufhängestruktur (16) an der Halterung (10) aufgehängt ist, wobei Eigenschwingungen der Aufhängestruktur (16) derart anregbar sind, dass das verstellbare Teil (12) in Bezug zu der Halterung (10) mittels der in die Eigenschwingungen versetzten Aufhängestruktur (16) in eine resonante Schwingbewegung um eine erste Drehachse (34a) und in eine quasi-statische Schwingbewegung um eine geneigt zu der ersten Drehachse (34a) ausgerichtete zweite Drehachse (34b) versetzbar ist, und wobei das verstellbare Teil (12) direkt oder über mindestens eine Feder (20) an mindestens einem Schwingungsknotenpunkt mindestens einer der angeregten Eigenschwingungen der Aufhängestruktur (16) angebunden ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.

63. 发明专利

DE102013224631A1 Mikrospiegel und Herstellungsverfahren für zumindest einen in einer Mikrospiegelvorrichtung anordbaren oder angeordneten Mikrospiegel 未知
公开(公告)号：DE102013224631A1
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：DE102013224631
申请日：2013-11-29
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： STRAUB RAINER , PINTER STEFAN , BAADER JOHANNES , NJIMONZIE FREDERIC NJIKAM , MUCHOW JOERG , GRUTZECK HELMUT , ARMBRUSTER SIMON , LESTYAN ZOLTAN
IPC分类号： G02B5/08 , B81B3/00 , B81C1/00 , G02B26/08
摘要： Die Erfindung schafft einen Mikrospiegel (10) für eine Mikrospiegelvorrichtung, mit einer Spiegelseite (12) und einer von der Spiegelseite (12) weg gerichteten Rückseite (14), wobei zumindest ein zentraler Bereich der Rückseite (14) mindestens eine zu der Spiegelseite (12) planparallele Fläche (18a, 18b) aufweist, wobei die Rückseite (14) so geformt ist, dass auf zwei gegenüberliegenden Seiten des zentralen Bereichs je ein Seitenbereich mit jeweils mindestens einer gewölbten und/oder zu der Spiegelseite (12) geneigt ausgerichteten Seitenfläche (20) der Rückseite (14) an den zentralen Bereich der Rückseite (14) angrenzt, und wobei eine Höhe des Mikrospiegels (10) entlang eines durch den zentralen Bereich und beide Seitenbereiche verlaufenden Querschnitts des Mikrospiegels (10) ausgehend von dem zentralen Bereich kontinuierlich abnimmt. Ebenso betrifft die Erfindung eine Mikrospiegelvorrichtung. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für zumindest einen in einer Mikrospiegelvorrichtung anordbaren oder angeordneten Mikrospiegel und ein Herstellungsverfahren für eine Mikrospiegelvorrichtung.

64. 发明专利

DE102012206280A1 Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil 未知
公开(公告)号：DE102012206280A1
公开(公告)日：2013-10-17
申请号：DE102012206280
申请日：2012-04-17
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： NITSCHE HEIKO , PINTER STEFAN , SCHOCK WOLFRAM , MUCHOW JOERG , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： B81B7/02 , B81B3/00 , B81C1/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine mikromechanisches Bauteil mit einem Stellelement (20), welches über mindestens eine Zuleitungsfeder (22) mit einer Zuleitungsfederkonstante verstellbar mit einer Halterung (24) verbunden ist, und einer Antriebseinrichtung mit mindestens einer an dem Stellelement (20) angeordneten Aktorkomponente (26), wobei über mindestens eine über die mindestens eine Zuleitungsfeder (22) geführte Leitungskomponente (28) ein elektrisches Potential oder ein Stromsignal (I) so an die Aktorkomponente (26) bereitstellbar ist, dass das Stellelement (20) mittels der Antriebseinrichtung in eine Bewegung in Bezug zu der Halterung (24) versetzbar ist, wobei das Stellelement (20) zusätzlich über mindestens eine leitungslose Schwingfeder (30) mit einer Schwingfederkonstante mit der Halterung (24) verbunden ist, und wobei die Zuleitungsfederkonstante kleiner als die Schwingfederkonstante ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.

65. 发明专利

DE102010064218A1 Magnetisch antreibbarer Mikrospiegel 未知
公开(公告)号：DE102010064218A1
公开(公告)日：2012-06-28
申请号：DE102010064218
申请日：2010-12-27
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN , WEBER HERIBERT , FISCHER FRANK , KRUEGER MICHAEL , MUCHOW JOERG , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： H02K33/16
摘要： Die Erfindung betrifft einen magnetisch antreibbaren Mikrospiegel, mit einem äußeren Rahmen (205), einem Spulenkörper (202) und Torsionsfedern (203), welche in einer ersten Ebene (200) angeordnet sind, wobei die Torsionsfedern (203) eine Drehachse aufweisen, wobei der Spulenkörper (202) mittels der Torsionsfedern (203) drehbeweglich um die Drehachse mit dem äußeren Rahmen (205) verbunden ist, mit einem Spiegelelement (305) welches in einer zweiten Ebene parallel zur ersten Ebene angeordnet ist, wobei das Spiegelelement (305) mittels einer Zwischenschicht (250) mit dem Spulenkörper (202) verbunden ist. Die Erfindung betrifft auch einen 2D Scanner mit einem ersten magnetisch antreibbaren Mikrospiegel und einem zweiten antreibbaren Spiegel und ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegels.

66. 发明专利

DE102010062591A1 Magnetischer Aktor 未知
公开(公告)号：DE102010062591A1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：DE102010062591
申请日：2010-12-08
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN , MUCHOW JOERG , SCHATZ FRANK
IPC分类号： H02K33/18 , G02B26/08 , G02B26/10
摘要： Die Erfindung betrifft einen magnetischen Aktor mit einer Platte (3), die um wenigstens eine erste Drehachse (4) drehbar gelagert ist, und mit einem Magnetbügel, der unter der Platte (3) angeordnet ist, wobei die Platte (3) eine Haupterstreckungsebene aufweist, wobei die Drehachse (4) parallel zur Haupterstreckungsebene liegt, wobei die Platte (3) parallel zur Haupterstreckungsebene wenigstens eine Leiterschleife (10, 10a, 10b) aufweist, wobei der Magnetbügel eine u-förmige, Magnetfluss leitende Schiene (1) und einen Hartmagneten (2), dessen Magnetisierung senkrecht zur u-förmigen Öffnung liegt, aufweist, wobei der Magnetbügel und die Platte (3) so zueinander ausgerichtet sind, dass die Öffnung des Magnetbügels zur Haupterstreckungsebene der Platte (3) zeigt, wobei die u-förmige, Magnetfluss leitende Schiene (1) eine Haupterstreckungsrichtung aufweist, welche parallel zur ersten Drehachse (4) liegt, wobei die Platte (3) durch Bestromen der wenigstens einen Leiterschleife (10, 10a, 10b) um die wenigstens eine Drehachse (4) auslenkbar ist. Die Erfindung betrifft außerdem einen Mikrospiegel mit einem solchen magnetischen Aktor, sowie ein 2-Spiegelsystem mit wenigstens einem solchen Mikrospiegel.

67. 发明专利

DE102010062118A1 Abdeckvorrichtung für ein mikro-opto-mechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für eine derartige Abdeckvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE102010062118A1
公开(公告)日：2012-05-31
申请号：DE102010062118
申请日：2010-11-29
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN
IPC分类号： B81B1/00 , B81B7/02 , B81C1/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine Abdeckvorrichtung für ein mikro-opto-mechanisches Bauteil mit einem Substrat (10) mit einer Maximaloberfläche (24), deren Flächeninhalt größer oder gleich einem Einzel-Flächeninhalt jeder anderen Oberfläche des Substrats (10) ist, und mindestens einem Fenster (40) aus einem lichtdurchlässigen Material, welches geneigt zu der Maximaloberfläche (24) des Substrats ausgerichtet ist, wobei das mindestens eine Fenster (40) innerhalb mindestens einer in dem Substrat (10) ausgebildeten durchgehenden Aussparung (28) angeordnet ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für eine Abdeckvorrichtung für ein mikro-opto-mechanisches Bauteil. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein mikro-opto-mechanisches Bauteil und ein Herstellungsverfahren für ein mikro-opto-mechanisches Bauteil.

68. 发明专利

DE19924369B4 Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung der Dichtheit von Senoren 未知
公开(公告)号：DE19924369B4
公开(公告)日：2011-02-24
申请号：DE19924369
申请日：1999-05-27
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN , SCHELLIN RALF , WALKER THOMAS , FEHRENBACH MICHAEL
IPC分类号： G01N11/16 , G01H3/00 , G01H13/00 , G01M3/02 , G01M3/24 , G12B17/02

69. 发明专利

DE102008043382A1 未知
公开(公告)号：DE102008043382A1
公开(公告)日：2010-05-06
申请号：DE102008043382
申请日：2008-11-03
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN
IPC分类号： B81B1/00 , B81B3/00 , B81C1/00 , B81C3/00 , G01L19/00
摘要： A method for reducing microcrack formation and crack growth in the glass carrier of a component having a micromechanical sensor element that is bonded to the glass carrier. The upper side of the glass carrier acts as a bonding surface for the sensor element. The rear side of the glass carrier, situated opposite the upper side, acts as a mounting surface for the component, and the glass carrier has side surfaces that connect the upper side and the rear side. In particular, the glass carrier is formed by a segment of a glass wafer into which at least the contours of the glass carrier have been stamped, so that at least the areas produced in this way of the side surfaces of the glass carrier and the rear side of the glass carrier form a surface that is largely closed and free of microcracks.

70. 发明专利

DE102008043112A1 未知
公开(公告)号：DE102008043112A1
公开(公告)日：2010-04-29
申请号：DE102008043112
申请日：2008-10-23
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： PINTER STEFAN , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： G02B26/08 , G02B5/08 , G02B17/06

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