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61. 发明授权

KR100549051B1 금속이 점재된 전도성 탄소나노튜브의 제조방법 및 이를이용한 패턴 형성방법 失效
标题翻译：用金属点缀的导电碳纳米管和使用其形成图案的方法
公开(公告)号：KR100549051B1
公开(公告)日：2006-02-06
申请号：KR1020030038183
申请日：2003-06-13
申请人： 한국과학기술원
发明人： 정희태 , 이상엽 , 김도현 , 정대환 , 고영관 , 이석재 , 김병훈 , 이재신
IPC分类号： B82B3/00 , B82Y40/00
摘要： 본 발명은 카르복실화된 탄소나노튜브(CNT)에 화학적 작용기를 이용하여 금속 나노 결정을 점재(dot)시켜 얻어지는 전도성 CNT, 상기 전도성 CNT를 패턴이 형성된 기질상에 높은 표면밀도를 가지도록 반복하여 적층하는 것을 특징으로 하는 전도성 CNT 패턴의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전도성 CNT 및 그 패턴은 바이오물질과 반응하는 바이오 리셉터를 부착한 바이오센서로 응용가능성이 매우 클 것으로 기대된다.
탄소나노튜브, 전기전도도, 금속, 패턴, 리셉터, 바이오센서

62. 发明授权

KR100539318B1 고밀도 탄소나노튜브 패턴을 이용한 바이오센서의 제조방법 失效
标题翻译：使用高密度碳纳米管图案的生物传感器的制造方法
公开(公告)号：KR100539318B1
公开(公告)日：2005-12-27
申请号：KR1020030051140
申请日：2003-07-24
申请人： 한국과학기술원
发明人： 정희태 , 이상엽 , 정대환 , 김병훈 , 고영관
IPC分类号： C12Q1/00 , B82Y5/00 , B82Y15/00
摘要： 본 발명은 카르복실기가 노출된 고밀도의 탄소나노튜브(CNT) 패턴에 표적 바이오물질과 결합하는 바이오 리셉터가 화학적 또는 물리화학적으로 결합되어 있는 CNT-바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 카르복실기가 노출된 CNT 패턴 또는 상기 카르복실기를 다양한 화학적 작용기로 개질한 CNT 패턴에 다양한 바이오 리셉터를 화학적 또는 물리화학적으로 결합시킨 CNT-바이오센서의 제작이 가능하다.

63. 发明授权

KR100533316B1 포토리쏘그래피법과 드라이 에칭법을 이용한 탄소나노튜브다층막 패턴의 제조방법 失效
标题翻译：使用光刻和干蚀刻制造碳纳米管多层图案的方法
公开(公告)号：KR100533316B1
公开(公告)日：2005-12-02
申请号：KR1020040021031
申请日：2004-03-27
申请人： 한국과학기술원
发明人： 정희태 , 김도현 , 최도환 , 정대환 , 이재신
IPC分类号： G03F7/00 , B82B3/00 , B82B1/00
CPC分类号： B82Y40/00 , B82Y30/00 , C01B32/168
摘要： 본 발명은 아민기가 노출된 기질 위에 카르복실기가 노출된 CNT를 아미드 결합을 통해 반복적으로 고정하여 CNT 다층막 필름을 형성한 다음, 상기 CNT 다층막 필름으로부터 포토리쏘그래법과 드라이 에칭기술을 이용하여 CNT 다층막 패턴을 형성하는 방법 및 상기 CNT 다층막 패턴을 열처리하여 표면에 결함부위(defect site)가 없는 CNT 다층막 패턴을 수득한 다음, 상기 결함부위가 없는 CNT 다층막 패턴에, 계면활성제류 또는 파이-스태킹 (π-stacking)이 가능한 부위를 가지고 있는 화학물질을 물리적으로 고정시켜 다양한 화학적 작용기가 노출되어 있는 CNT 다층막 패턴을 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 선택되지 않은 영역에서도 CNT가 일부 고정되는 종래기술의 문제점을 해결하여, 선택된 영역에서만 CNT가 고정되어 있는 선명한 CNT 다층막 패턴을 형성하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명에 따른 화학적 작용기가 물리적으로 고정되어 표면에 노출된 CNT 다층막 패턴은 바이오센서 제작에 유용하다.

64. 发明授权

KR100527409B1 백나노미터 이하의 고정밀 나노 미세패턴 및 자성 금속 점정렬 형성방법 失效
标题翻译：具有亚100nm特征尺寸的高分辨率纳米图案和金属点阵的制造方法
公开(公告)号：KR100527409B1
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：KR1020030025194
申请日：2003-04-21
申请人： 한국과학기술원
发明人： 양승만 , 정희태 , 최대근 , 권기영 , 신성철 , 정종률
IPC分类号： H01L21/28 , B82Y40/00
摘要： 본 발명은 패턴화를 요하는 금속박막 위에 규칙적인 다공성 고분자 패턴을 형성하는 단계; 마스크용 금속을 상기 형성된 홀에 선택적으로 증착하는 단계; 선택적으로 고분자층을 제거하는 단계; 및 상기 패턴화를 요하는 금속박막을 식각하는 단계를 포함하는 금속점 정렬의 형성방법을 제공한다.
상기 구성에 의하면, 종래 광식각 공정으로는 구현하기 힘든 백나노미터 이하의 미세패턴화가 가능하고, 간단한 공정에 의해 다양한 크기와 모양의 금속패턴을 형성할 수 있다. 또한 미리 원하는 성질의 자성 금속을 증착하므로 자성금속의 선택이 자유롭고, 사용되는 마스크 금속의 성질에 따라 종횡비가 큰 금속패턴을 형성하는 것이 가능하다.

65. 发明公开

KR1020050051148A 자기조립 물질로 랩핑된 탄소나노튜브의 제조방법 有权
标题翻译：用自组装材料生产碳纳米管的方法
公开(公告)号：KR1020050051148A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：KR1020030084888
申请日：2003-11-27
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이상엽 , 정희태 , 이석재 , 박종필 , 박태정 , 최종현
IPC分类号： B82B3/00 , B82Y25/00 , B82Y30/00
CPC分类号： B82Y30/00 , G01N33/544
摘要： 본 발명은 자기조립(self-assembly)물질을 탄소나노튜브 상에 자기조립시키는 것을 특징으로 하는 자기조립물질로 랩핑(wrapping)된 수용성 탄소나노튜브의 제조방법 및 자기조립물질로 랩핑되어 있는 수용성 탄소나노튜브에 관한 것이다.
본 발명에 따른, 자기조립물질로 랩핑된 탄소나노튜브는 수용성 성질을 나타내므로 일반 탄소나노튜브와 비교하여 월등히 우수한 응용성을 가지게 된다. 특히, 상기 자기조립물질로 랩핑된 탄소나노튜브에 표적 바이오물질 혹은 유기화합물과 결합하는 리셉터를 선택적으로 부착하여 바이오센서를 제작하는 것이 가능하다.

66. 发明公开

KR1020050033312A 블록 공중합체의 나노패턴을 이용한 나노-바이오칩의제조방법 失效
标题翻译：使用嵌段共聚物纳米生物制备纳米生物技术的方法
公开(公告)号：KR1020050033312A
公开(公告)日：2005-04-12
申请号：KR1020030069302
申请日：2003-10-06
申请人： 한국과학기술원 , 한국생명공학연구원
发明人： 정희태 , 정봉현 , 권기영 , 정진미
IPC分类号： G01N33/544 , G01N33/554 , G01N33/553
摘要： A method for fabricating a nano-biochip by using nano-pattern of block copolymers is provided, thereby immobilizing real-life samples on the surface of the nanometer-sized biochip with high density without loss of tertiary structure of a protein in the real-life samples. The method for fabricating a nano-biochip by using nano-pattern of block copolymers comprises the steps of: (a) forming a metal thin layer with affinity to a bio-receptor on a substrate; (b) coating the metal thin layer with the block copolymers; (c) heating the block copolymers to induce self-assembly of the copolymers and form a regular structure; (d) etching the copolymers to form a porous nano-pattern; and (e) attaching the bio-receptor to the metal exposed by the porous nano-pattern, wherein the bio-receptor is an enzyme substrate, a ligand, an amino acid, a peptide, a protein, a nucleic acid, a lipid, a cofactor or a carbohydrate; the metal with affinity to the bio-receptor is Au, Ag, Pt, Nb, Ta, Zr or alloy of Co and Cr; and the block copolymer is polystyrene-polymethylmethacrylate(PS-PMMA), polystyrene-polybutadiene(PS-PB) or polystyrene-polyisoprene(PS-PI).
摘要翻译：提供了一种通过使用嵌段共聚物纳米图案制造纳米生物芯片的方法，从而将现实生活中的样品以高密度固定在纳米尺寸的生物芯片的表面上，而不会损失现实生活中蛋白质的三级结构样本。通过使用嵌段共聚物的纳米图案制造纳米生物芯片的方法包括以下步骤：（a）形成与基底上的生物受体具有亲和力的金属薄层; （b）用嵌段共聚物涂覆金属薄层; （c）加热嵌段共聚物以引起共聚物的自组装并形成规则结构; （d）蚀刻共聚物以形成多孔纳米图案; 和（e）将生物受体附着到由多孔纳米图案暴露的金属上，其中生物受体是酶底物，配体，氨基酸，肽，蛋白质，核酸，脂质，辅助因子或碳水化合物; 对生物受体具有亲和力的金属是Au，Ag，Pt，Nb，Ta，Zr或Co和Cr的合金; 嵌段共聚物是聚苯乙烯 - 聚甲基丙烯酸甲酯（PS-PMMA），聚苯乙烯 - 聚丁二烯（PS-PB）或聚苯乙烯 - 聚异戊二烯（PS-PI）。

67. 发明公开

KR1020040107225A 전도성 탄소나노튜브를 이용한 바이오센서 및 그 제조방법 有权
标题翻译：导电碳纳米管（CNT） - 使用导电碳纳米管的碳纳米管（CNT） - 传感器，其中金属或导电碳纳米管与金属和其制备方法相结合
公开(公告)号：KR1020040107225A
公开(公告)日：2004-12-20
申请号：KR1020030038232
申请日：2003-06-13
申请人： 한국과학기술원
发明人： 이상엽 , 정희태 , 김도현 , 이석재 , 김병훈 , 정대환 , 고영관 , 이재신
IPC分类号： C12Q1/00 , B82Y5/00 , B82Y15/00
CPC分类号： B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/168 , C01B32/174 , G01N33/551
摘要： PURPOSE: A conductive carbon nanotube(CNT)-biosensor by using a conductive CNT dotted with metals or a conductive CNT dotted with metals where bioreceptor is combined and a preparation method thereof are provided. The biosensor has large surface area, improved conductivity to increase the amount of immobilized biological molecules, and improved accuracy with a small amount of a sample. CONSTITUTION: The conductive-carbon nanotube(CNT) biosensor has a bioreceptor which binds to or reacts with a target bio-material in metals scattering on the conductive CNT or a pattern of the conductive CNT, wherein the bioreceptor is enzyme substrate, ligand, amino acid, peptide, protein, nucleic acid, lipid, cofactor or carbohydrate; and the conductive CNT dotted with metals has a form of CNT-(CONH-R1-S-M)r in which M is metal, r is an integer of 1 or over, and R1 is C1-20 carbohydrate, unsaturated carbohydrate or aromatic organic group. The method for preparing the conductive CNT-biosensor comprises binding a conductive CNT-M-nucleic acid complex to a substrate with amine/lysine group on its surface through UV radiation.
摘要翻译：目的：提供一种导电性碳纳米管（CNT） - 双极性传感器，其通过使用点状金属的导电性CNT或带有生物受体结合的金属的导电性CNT及其制备方法。生物传感器具有较大的表面积，改善的电导率以增加固定的生物分子的数量，并且用少量样品提高了精度。构成：导电碳纳米管（CNT）生物传感器具有生物受体，其在导电CNT上散射的金属或导电CNT的图案上与靶生物材料结合或与靶生物材料反应，其中生物受体是酶底物，配体，氨基酸，肽，蛋白质，核酸，脂质，辅因子或碳水化合物; 并且金属点缀的导电CNT具有CNT-（CONH-R1-SM）r的形式，其中M是金属，r是1或更大的整数，R1是C1-20碳水化合物，不饱和碳水化合物或芳族有机基团。制备导电CNT-生物传感器的方法包括通过UV辐射将导电CNT-M-核酸复合物与其表面上的胺/赖氨酸基团结合到底物上。

68. 发明公开

KR1020040105320A 10나노 이하 사이즈의 바이오 나노어레이 제조방법 失效
标题翻译：通过在纳米尺寸图上固定生物体或生物受体，生产小于10纳米的生物纳米粒子的制造方法
公开(公告)号：KR1020040105320A
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：KR1020030036531
申请日：2003-06-05
申请人： 한국과학기술원
发明人： 정희태 , 권기영 , 이수림
IPC分类号： B82B3/00 , B82Y15/00 , B82Y5/00 , B82Y40/00
CPC分类号： B82B3/0095 , B82Y15/00 , B82Y40/00
摘要： PURPOSE: Provided is a method for manufacturing bio nanoarrays by fixing biomaterial or bio-receptor on a nano-sized pattern based on self-assembly of polymeric supramolecules and stanning of metal. CONSTITUTION: The bio nanoarrays are manufactured by the following steps of: (i) forming a thin film of organic molecules inducing self-assembly on a substrate formed by spin-coating, rubbing or solution spreading; (ii) annealing the thin film to form ordered structure by self-assembling organic molecules, wherein the organic molecules are annealed by heating to 240deg.C, higher than phase transition temperature(230deg.C) of the liquid crystal and cooling; (iii) adsorbing metals selectively on the ordered structure formed in self-assembling by using RuO4; (iv) etching the thin film through reactive ion etching and/or ion milling to remove the parts on which the metal is not adsorbed, resulting in formation of a nano-sized pattern of organic molecules; (v) printing the nano-sized pattern having a uneven hole or columnar shape on the substrate; (vi) fixing biomaterial or bio-receptor bonding to biomaterials on the nano-sized pattern due to the amine-aldehyde reaction between amine group on the ends of biomaterial or bio-receptor and aldehyde on the surface of substrate, wherein the biomaterials are selected from the group consisting of protein, peptide, amino acid, ligand, carbohydrate, DNA, oligonucleotide and RNA.
摘要翻译：目的：提供一种通过基于聚合物超分子的自组装和金属鞣制将生物材料或生物受体固定在纳米尺寸图案上来制造生物纳米阵列的方法。构成：通过以下步骤制造生物纳米阵列：（i）在通过旋涂，摩擦或溶液扩散形成的基底上形成诱导自组装的有机分子的薄膜; （ii）通过自组装有机分子对薄膜进行退火以形成有序结构，其中有机分子通过加热退火至240℃，高于液晶的相变温度（230℃）并冷却; （iii）通过使用RuO4在自组装形成的有序结构上选择性地吸附金属; （iv）通过反应离子蚀刻和/或离子研磨来蚀刻薄膜以去除不吸附金属的部分，形成纳米尺度的有机分子图案; （v）在基板上印刷具有不均匀孔或柱状的纳米尺寸图案; （vi）由于生物材料或生物受体的端部上的胺基与底物表面上的醛之间的胺 - 醛反应，将生物材料或生物受体结合固定在纳米尺寸图案上的生物材料上，其中选择生物材料来自由蛋白质，肽，氨基酸，配体，碳水化合物，DNA，寡核苷酸和RNA组成的组。

69. 发明公开

KR1020040105319A 탄소나노튜브 어레이의 제작방법 失效
标题翻译：碳纳米管在纳米尺寸图上的对比制备碳纳米管阵列
公开(公告)号：KR1020040105319A
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：KR1020030036530
申请日：2003-06-05
申请人： 한국과학기술원
发明人： 정희태 , 정대환 , 권기영 , 이수림 , 최도환
IPC分类号： B82B3/00 , B82Y15/00 , B82Y5/00 , B82Y40/00
CPC分类号： B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/162 , C01B2202/08
摘要： PURPOSE: Provided is a simple method for manufacturing carbon nanotube(CNT) arrays by aligning carbon nanotubes on a nano-sized pattern based on self-assembly of polymeric supramolecules and stanning of metal. CONSTITUTION: The carbon nanotube arrays are manufactured by the following steps of: (i) forming a thin film of polymeric supramolecules inducing self- assembly on a substrate formed by spin-coating, rubbing or solution spreading, wherein the polymeric supramolecules are disk-shaped dendrimer, fan or corn-shaped supramolecules; (ii) annealing the thin film to form ordered structure by self-assembling polymeric supramolecules, wherein the supramolecules are annealed by heating to 240deg.C, higher than phase transition temperature(230deg.C) of the liquid crystal and cooling; (iii) adsorbing metals selectively on the ordered structure formed in self-assembling by using RuO4; (iv) reactive ion etching the thin film to remove the parts on which the metal is not adsorbed, resulting in formation of a nano-sized pattern of supramolecules; (v) printing the nano-sized pattern on the substrate; (vi) arraying carbon nanotubes on the pattern after depositing metal catalyst(Fe, Co or Ni) on the patterned substrate. Also, bio-nanoarrays are manufactured by attaching biomaterials or bio-receptor, bonding to biomaterials selected from the group consisting of protein, peptide, amino acid, DNA, ligand, carbo hydrate, RNA, etc. to CNT arrays.
摘要翻译：目的：提供一种简单的制造碳纳米管（CNT）阵列的方法，其通过基于聚合超分子的自组装和金属扫描将纳米尺寸图案上的碳纳米管取向。构成：通过以下步骤制造碳纳米管阵列：（i）在通过旋涂，摩擦或溶液扩散形成的基底上形成诱导自组装的聚合物超分子的薄膜，其中聚合物超分子是盘形的树枝状大分子，扇形或玉米状超分子; （ii）通过自组装聚合物超分子对薄膜进行退火以形成有序结构，其中超分子通过加热退火至240℃，高于液晶的相变温度（230℃）并冷却; （iii）通过使用RuO4在自组装形成的有序结构上选择性地吸附金属; （iv）反应离子蚀刻薄膜以去除不吸附金属的部分，形成超分子的纳米尺寸图案; （v）在衬底上印刷纳米尺寸图案; （vi）在图案化衬底上沉积金属催化剂（Fe，Co或Ni）之后，在图案上排列碳纳米管。另外，生物纳米阵列是通过将生物材料或生物受体连接到碳纳米管阵列上，与选自蛋白质，肽，氨基酸，DNA，配体，碳水化合物，RNA等的生物材料结合而制造的。

70. 发明公开

KR1020040091377A 백나노미터 이하의 고정밀 나노 미세패턴 및 자성 금속 점정렬 형성방법 失效
标题翻译：高精度纳米精细图案不超过万能纳米颗粒和形成磁选金属点对准于FREELY SELECT MAGNETIC METAL的方法
公开(公告)号：KR1020040091377A
公开(公告)日：2004-10-28
申请号：KR1020030025194
申请日：2003-04-21
申请人： 한국과학기술원
发明人： 양승만 , 정희태 , 최대근 , 권기영 , 신성철 , 정종률
IPC分类号： H01L21/28 , B82Y40/00
摘要： PURPOSE: A method for forming a magnetic metal point alignment is provided to freely select a magnetic metal and form a metal pattern having a high aspect ratio according to the property of used mask metal by forming metal patterns of various sizes and shapes by a simple method and by previously depositing magnetic metal of a desired property. CONSTITUTION: A regular porous polymer pattern is formed on a metal thin film that needs to be patterned. Mask metal is selectively deposited in a hole. The polymer layer is selectively eliminated. The metal thin film that needs to be patterned is etched.
摘要翻译：目的：提供一种用于形成磁性金属点对准的方法，通过简单的方法形成各种尺寸和形状的金属图案，根据所使用的掩模金属的性质，自由选择磁性金属并形成具有高纵横比的金属图案并预先沉积所需性质的磁性金属。构成：在需要图案化的金属薄膜上形成规则的多孔聚合物图案。掩模金属被选择性地沉积在孔中。选择性地消除聚合物层。蚀刻需要图案化的金属薄膜。

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