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    • 70. 发明申请
    • 냉각수가 상하층으로 구분되어 흐르는 급속열처리장치의 히터블록
    • 快速热处理设备的加热器块,其中冷却水被分成上层和下层
    • WO2011021797A2
    • 2011-02-24
    • PCT/KR2010/005120
    • 2010-08-04
    • 에이피시스템 주식회사심장우김성철김동현전효영
    • 심장우김성철김동현전효영
    • H05B3/40H01J7/24
    • H01L21/67109F27B17/0025H01L21/67115
    • 본 발명은 가열램프가 끼워지는 램프 포켓(21)을 복수개 가지며, 냉각수 유입구(111a, 111b) 및 냉각수 유출구(112a, 112b)가 마련되어 냉각수 유입구(111a, 111b)에서 유입되어 냉각수 유출구(112a, 112b)로 토출되는 냉각수의 흐름에 의하여 램프 포켓(21)이 냉각되는 급속열처리장치의 히터블록에 관한 것으로서, 구체적으로 냉각수 유입구(111a, 111b)에서 유입되어 냉각수 유출구(112a, 112b)로 토출되는 냉각수의 흐름의 상하층으로 구분되도록 흐르도록 냉각수 유입구(111a, 111b) 및 냉각수 유출구(112a, 112b)가 각각 상하층에 구분되어 설치되는 것을 특징으로 한다. 냉각수 유입구(112a, 112b)의 유입부에는 냉각수를 측방향으로 분산시키기 위한 냉각수 분산수단(140)이 설치되는 것이 바람직하다. 본 발명에 의하면, 냉각수가 상층 및 하층으로 구분되어 흐르기 때문에 냉각효율이 증가하게 되고, 특히 가열램프의 발열이 주로 이루어지는 램프 포켓 하단부의 냉각을 극대화시킬 수 있게 된다. 또한 냉각수 분산수단의 설치로 인하여 사영역(dead zone)이 형성되는 것을 방지할 수 있어 히터블록의 전체가 골고루 냉각되게 된다.
    • 本发明具有多个光口袋(21),其装配在加热灯,一个冷却水入口(111A,111B)和冷却水出口在冷却水入口设置(112A,112B)(111A,111B) 通过排出到冷却水出口112a和112b中的冷却水的流动来冷却冷却袋21,并且冷却剂注入到冷却水出口(111a和111b)中, 112A,112B)的冷却水入口(111A,111B)和冷却水出口(112A,112B的冷却水的流动的流向上层和下层由放电分离成)安装的特征在于,每个划分的上层和下层的。 在冷却水流入口112a,112b的流入部设置有用于使冷却水沿横向分散的冷却水分配单元140。 根据本发明,水是冷却效率增加,因为该流被分为上层和下层,特别是通过加热灯产生的热量能够最大化主要由灯冷却袋的下端的。 另外,可以防止由于设置冷却水分散装置而形成死区,从而使整个加热器块均匀冷却。