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61. 发明授权

KR100343652B1 공기를 사용하지 않는 연마패드 컨디셔닝 장치 失效
标题翻译：无气抛光垫修整器
公开(公告)号：KR100343652B1
公开(公告)日：2002-07-11
申请号：KR1020000049234
申请日：2000-08-24
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 한정길 , 김태형 , 조정훈 , 오상헌 , 김익주
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 본 발명은 웨이퍼의 표면을 연마하기 위한 연마패드를 컨디셔닝하기 위한 컨디셔닝 장치를 개시한다. 컨디셔너 블래더는 소정의 길이를 가지며 내부에 공동이 마련된 실린더형 블래더 몸체와 이 실린더형 블래더 몸체의 바깥 면의 한 쪽에는 길이방향을 따라서 "T"자형 고정부재가 일체적으로 형성되어 있고, 다른 한 쪽에는 상기 연마패드와 접촉하여 상기 연마패드의 표면을 컨디셔닝하기 위한 다이아몬드 스트립퍼가 접착되어 있다. 컨디셔너 아암은 "T"자형 고정부재를 끼워서 컨디셔너 블래더를 일체적으로 매달기 위한 구조를 갖는다. 컨디셔너 블래더의 몸체는 탄성재질로 만들어지며 평상시의 단면 형상은 원 또는 타원형의 형상을 유지하지만, 연마패드를 컨디셔닝하기 위해 컨디셔너 아암이 컨디셔너 블래더에 힘을 가하여 연마패드쪽으로 누를 때에는 블래더 몸체의 내부 공동에 공기를 집어넣지 않고서도 블래더 몸체의 탄성에 의해 연마패드와 접하는 부분의 다이아몬드 스트립퍼는 편편하게 펴져서 연마패드의 표면에 고르게 압착한다. 다른 예로서, 블래더 몸체의 내부를 공동화하지 않고 탄성재질로 꽉채우고 다이아몬드 스트립퍼가 부착되는 바닥면을 약간의 라운드 형상으로 만들되 라운드의 곡률은 컨디셔너 아암이 힘을 가할 때 연마패드와 편편하게 압착할 수 있는 정도로 만든다.

62. 发明公开

KR1019990040735A 반도체장치 제조설비의 척조립체 失效
公开(公告)号：KR1019990040735A
公开(公告)日：1999-06-05
申请号：KR1019970061206
申请日：1997-11-19
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 조정훈 , 김덕중
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은 웨이퍼를 복수개 수용하는 캐리어와 보트 등의 사이에서 한 번에 소정 개수의 웨이퍼를 흡착 고정하도록 형성된 반도체장치 제조설비의 척조립체에 관한 것이다.
본 발명의 반도체장치 제조설비의 척조립체는 장방형으로 상면 전단부에 내부의 진공통로와 연통하는 진공홈이 형성되고, 후단부에 상· 하측 관통된 진공홀이 형성된 진공척과; 상기 진공척이 삽입식으로 안착되도록 후단부를 커버하며, 소정 위치에 상기 진공홀과 연통하는 홀이 형성된 압착부재와; 상면에 상기 압착부재를 포함한 상기 진공척이 위치되는 안착홈이 형성된 고정체블록; 및 상기 복수개의 고정체블록이 적층된 상측과 하측을 커버하여 체결됨으로써 상기 각각의 진공척과 압착부재를 가압하도록 형성된 커버블록;을 포함한 구성으로 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 각각의 압착부재가 안착홈과 자리홈에 위치됨과 동시에 진공홀과 홀 및 구멍이 일치되고, 압착부재에 진공척을 삽입 또는 인출식으로 설치함에 따라 교체가 용이하며, 척조립체의 분해 조립에 따른 노동력 감소와 조립 시간이 단축되는 효과가 있다.

63. 发明公开

KR1019990018616A 화학약품 공급용 바틀 无效
标题翻译：化学供应瓶
公开(公告)号：KR1019990018616A
公开(公告)日：1999-03-15
申请号：KR1019970041819
申请日：1997-08-28
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 조정훈 , 임정백
IPC分类号： B65D25/38
摘要： 본 발명은 화학약품 공급용 바틀(Bottle)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 밀폐된 바틀내에 가압가스를 불어넣어 가압함으로서 수용된 화학약품 용액을 원하는 공정에 공급하는 화학약품 공급용 바틀에 관한 것이다.
본 발명은, 바틀 하단부가 우물모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학약품 공급용 바틀을 구비하여 이루어진다.
따라서, 종래의 바틀을 사용할때 보다 사용하지 않고 폐기되는 화학약품을 월등히 줄여 원가상승의 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.

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