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    • 61. 发明授权
    • 슬릿빔을 이용한 오토포커싱 장치 및 이를 이용한 오토포커싱 방법
    • 使用狭缝光束的自动聚焦装置和使用其的自动聚焦方法
    • KR101707990B1
    • 2017-02-17
    • KR1020150031936
    • 2015-03-06
    • (주) 인텍플러스
    • 강민구강성용
    • G01N21/88G03B3/10
    • 본발명은슬릿빔과다단으로단차진반사수단을이용하여피검체의높이를파악하고, 검사용카메라의위치를조절하는슬릿빔을이용한오토포커싱장치및 이를이용한오토포커싱방법이개시된다. 본발명은슬릿빔을출력하는광원과, 상기광원에서출력된슬릿빔을피검체의표면으로반사시켜전달하되, 상기슬릿빔의라인을따라다단으로단차지게형성되어, 상기피검체에복수의슬릿빔으로분할하여조사하는제1반사수단과, 상기피검체에서반사된라인이미지를획득하는이미지센서와, 상기이미지센서에서획득한라인이미지의결상위치에따라피검체의높이를판단하는분석부와, 상기분석부에서판단된피검체의높이와대응하여상기검사용카메라와피검체의간격을조절하는거리조절부를포함하는슬릿빔을이용한오토포커싱장치및 이를이용한오토포커싱방법에관한것이다.
    • 本发明涉及一种自动对焦装置,其使用多级和阶梯式反射装置的狭缝光束来识别检查目标的高度并调整检查照相机的位置以及使用其的自动聚焦方法。 根据本发明,自动对焦装置包括:输出狭缝光束的光源; 将从光源输出的狭缝光束反射到检查对象的表面的第一反射装置形成为沿着狭缝光束的多个台阶阶梯状,并且向检查对象发射多个分裂狭缝光束; 获取从检查对象反射的线法师的图像传感器; 分析单元,其根据从图像传感器获得的行图像的成像位置确定检查对象的高度; 以及距离调节装置,其调整检查照相机和检查对象之间的间隙,以对应于由分析单元确定的检查对象的高度。
    • 62. 发明公开
    • 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법
    • 用于检查玻璃边缘的装置和使用其检查玻璃边缘的方法
    • KR1020150091920A
    • 2015-08-12
    • KR1020140012739
    • 2014-02-04
    • (주) 인텍플러스
    • 강민구이현민
    • G01N21/958G01B11/24
    • G01N21/958G01B11/24
    • 본 발명은 기판의 상부와 하부에서 광학적으로 기판의 에지부분의 결함을 검사하는 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법이 개시된다.
      본 발명은 글래스 기판의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판이 상면의 에지(edge)에 빛을 조사하는 제1 조명수단과, 상기 글래스 기판의 상부에 설치되어 상기 글래스 기판의 상면의 에지의 이미지를 획득하는 제1 촬영수단과, 상기 글래스 기판의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판의 하면의 에지에 빛을 조사하는 제2 조명수단과, 상기 글래스 기판의 하부에 설치되어 상기 글래스 기판의 하면의 에지의 이미지를 획득하는 제2 촬영수단을 포함하는 글래스 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것이다.
    • 根据本发明,公开了一种用于检查基板的边缘的装置,其用于光学地检查基板的上部和下部中的基板的边缘部分的缺陷,以及用于检查基板的边缘的方法 底物使用相同。 本发明涉及一种用于检查基板的边缘的装置以及使用该装置检查基板的边缘的方法。 用于检查基板的边缘的装置包括:第一照明装置,安装在玻璃基板的上部,以将光照射到玻璃基板的上表面的边缘; 第一拍摄装置,安装在所述玻璃基板的上部,以获取所述玻璃基板的上表面的边缘的图像; 第二照明装置,安装在所述玻璃基板的下部,以将光照射到所述玻璃基板的下表面的边缘; 以及第二拍摄装置,安装在所述玻璃基板的下部,以获取所述玻璃基板的下表面的边缘的图像。
    • 64. 发明公开
    • 디스플레이 패널 검사장치
    • 显示面板检查装置
    • KR1020140012339A
    • 2014-02-03
    • KR1020120078930
    • 2012-07-19
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근강민구유준호이현민
    • G01J3/02G01J3/40G01N21/88H01L51/56
    • In the trend for enlargement, the present invention relates to a display panel inspection apparatus which provides a more rapid inspection speed and is able to inspect the whole screen of a display evenly and minutely in order to increase the production efficiency of a display panel. The present invention detects a fault of a display panel by grasping the strength of each wavelength from a spectrum image which is obtained from a camera by including: a lens which is arranged on the upper part of the display panel in order to cover a part or a whole of the display panel which outputs a surface type image and receives the surface type image which is outputted from the display panel; a slit which is arranged on the upper part of the lens and makes the surface type image outputted from the lens permeate the slit to make a line type image; a spectroscope which generates a spectrum of the line type image which is outputted from the slit; and an inspection unit which is arranged on a same axis as the camera which obtains a surface type spectrum image which is generated through the spectroscope.
    • 在扩大的趋势中,本发明涉及一种显示面板检查装置,其提供更快的检查速度,并且能够均匀且细致地检查显示屏的整个屏幕,以便提高显示面板的生产效率。 本发明通过以下方式来检测显示面板的故障:通过包括:布置在显示面板的上部以覆盖一部分的透镜,或者 输出表面型图像并接收从显示面板输出的表面型图像的整体显示面板; 布置在透镜的上部的狭缝,使从透镜输出的表面型图像透过狭缝,形成线型图像; 产生从狭缝输出的线型图像的光谱的分光镜; 以及检查单元,其布置在与获得通过分光器产生的表面类型光谱图像的相机的相同轴上。
    • 65. 发明公开
    • PC 성능에 적응적인 실시간 영상 획득 장치
    • 实时图像获取装置适应PC能力
    • KR1020130113244A
    • 2013-10-15
    • KR1020120035671
    • 2012-04-05
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근이상윤강민구구자철
    • H04N5/225
    • H04N5/232G06F13/1673G06F13/24
    • PURPOSE: A real-time image acquiring system adaptable to pc performance is provided for an image acquiring board to vary and generate an interrupt for user memory storing at a PC according to the performance of the PC. CONSTITUTION: A camera interface (110) is connected to a camera. A buffer (120) buffers an image photographed by the camera connected to the camera interface in real time. A direct memory access (DMA) controller (130) transmits the image buffered at the buffer to a PC system memory. The DMA controller generates an interrupt for user memory storing. The DMA controller variably generates the interrupt for user memory storing according to the PC performance. [Reference numerals] (110) Camera interface; (120) Buffer; (131) Non volatile memory; (132) Transmitting control unit; (133) Interrupt generating unit; (210) System memory; (220) User memory; (230) Image processing unit; (240) Environment setting unit; (300) Camera
    • 目的:提供适用于PC性能的实时图像采集系统,用于图像采集板根据PC的性能改变并产生用于PC存储的用户存储器的中断。 构成:相机接口(110)连接到相机。 缓冲器(120)实时缓冲由相机接口连接的相机拍摄的图像。 直接存储器访问(DMA)控制器(130)将缓冲器缓冲的图像发送到PC系统存储器。 DMA控制器为用户存储器生成中断。 DMA控制器根据PC性能可变地生成用于存储用户的中断。 (附图标记)(110)相机接口; (120)缓冲液; (131)非易失性存储器; (132)发射控制单元; (133)中断发生单元; (210)系统内存; (220)用户记忆; (230)图像处理单元; (240)环境设定单位; (300)相机
    • 66. 发明授权
    • 광학식 영상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법
    • 物体的测量光学形状系统及其测量方法
    • KR101116593B1
    • 2012-03-16
    • KR1020090087307
    • 2009-09-16
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근이상윤강민구구자철한원섭
    • G01B11/24
    • 본 발명은 카메라를 이용한 영상 획득시 촬영 모드에 따라 카메라의 노출 파형을 최적화시켜 효율적인 측정을 수행할 수 있도록 하는 광학식 영상 측정 시스템 및 측정 방법에 관한 것이다.
      이를 위한, 본 발명의 광학식 영상 측정 시스템은 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영하여 출력하는 카메라와, 촬영 영역에 조명광을 조사하는 조명장치 및 조명컨트롤러와, 조명장치의 구동을 제어하는 동기신호발생부 및 카메라에서 출력되는 영상을 포획하여 출력하는 영상포획부와, 영상 포획부에서 포획된 영상을 신호처리하는 영상신호 처리부와, 동기신호발생부와 영상포획부로 촬영 모드별 설정값에 따라 측정 개시명령을 출력하는 제어부와, 제어부에 외부 장치로부터의 제어 신호를 출력하는 데이터 입력부를 포함하는 광학식 영상 측정 시스템에 있어서, 동기신호발생부는 제어부로부터 입력된 설정값에 따라 조명장치의 구동 제어 신호와 함께 카메라 노출 파형을 갖는 제어 신호를 생성하여 출력하고, 영상포획부는 동기신호발생부로부터 출력된 제어 신호를 카메라로 바이패스하여 동기신호발생부의 출력 신호에 의해 카메라가 직접 제어되도록 한다.
      동기신호, 영상, 카메라 노출, 트리거
    • 67. 发明公开
    • 광학식 형상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법
    • 光学测量系统对象的形状和使用它的测量方法
    • KR1020100023652A
    • 2010-03-04
    • KR1020080082535
    • 2008-08-22
    • (주) 인텍플러스
    • 강민구이상윤임쌍근이현민
    • G01B11/24G01B11/00
    • PURPOSE: An optical shape measurement system and a measurement method using the same are provided to prevent delay of image acquisition time and improve image acquisition efficiency. CONSTITUTION: An optical shape measurement system comprises one or more CCD cameras(1), a lighting device(11), an illumination controller(12), a synchronization signal generating unit(23), one or more image capturing units(24), an image signal processor(25), a controller(22), and a data Input unit(21). The controller outputs driving signals to the image capturing units and the synchronization signal generating unit. The synchronization signal generating unit outputs driving signals to the CCD cameras and the illumination controller at the same time as the controller outputs the driving signals.
    • 目的:提供光学形状测量系统及其测量方法,以防止图像采集时间的延迟并提高图像采集效率。 构成:光学形状测量系统包括一个或多个CCD照相机(1),照明装置(11),照明控制器(12),同步信号产生单元(23),一个或多个图像捕获单元(24) 图像信号处理器(25),控制器(22)和数据输入单元(21)。 控制器将驱动信号输出到图像捕获单元和同步信号生成单元。 同步信号发生单元在控制器输出驱动信号的同时,向CCD摄像机和照明控制器输出驱动信号。
    • 68. 发明授权
    • 입체 형상 측정 장치
    • 用于测量三维尺寸的装置
    • KR100939538B1
    • 2010-02-03
    • KR1020070131393
    • 2007-12-14
    • (주) 인텍플러스
    • 유준호강민구임쌍근
    • G01B11/24G01B11/30
    • G01B11/2441G01B9/02028G01B2290/35
    • 본 발명은 입체 형상을 가지는 측정물에 대한 최고점의 측정광과 동일한 기준광 및 최저점의 측정광과 동일한 기준광을 각각 생성하는 반사거리 조절수단을 구비하여, 측정물의 최저점과 최고점에 대한 간섭무늬를 동시에 획득할 수 있도록 하는 입체 형상 측정장치에 관한 것이다.
      이를 위한, 본 발명의 입체형상 측정장치는, 광원과, 상기 원으로부터의 조명광을 분할시키는 빔분할기와, 상기 빔분할기로부터의 조명광이 조사되며 최고점과 최저점 단차를 가지는 측정물과, 상기 빔분할기로부터의 조명광이 조사되는 기준미러와, 상기 측정물 표면으로부터의 측정광과 상기 기준미러에서 반사되는 기준광이 합쳐져 생성되는 간섭무늬를 검출하는 광검출소자, 및 상기 광검출소자를 통해 검출된 화상을 처리하는 제어 컴퓨터를 포함하는 입체 형상 측정장치에 있어서, 상기 빔분할기와 상기 기준미러 사이에는 상기 빔분할기로부터의 광의 경로를 변환하여 보조 기준광을 생성하는 보조기준광 생성수단이 구비하는 것이다.
      입체 형상, 기준미러, 보조기준미러, 보조기준광 생성수단, 간섭
    • 69. 发明公开
    • 입체 형상 검사 장치 및 그를 이용한 입체 형상 검사 방법
    • 检查三维形状的装置及其检测方法
    • KR1020080089314A
    • 2008-10-06
    • KR1020080070755
    • 2008-07-21
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근이상윤강민구
    • G01B11/24G01B11/00
    • An apparatus for inspecting a three-dimensional shape and an inspection method using the same are provided to improve the accuracy of an image by using a display control unit for complementarily controlling the brightness with respect to the reflectivity of each pixel. An apparatus for inspecting a three-dimensional shape comprises a light source(200), a beam splitter(220), a projection unit(210), and an imaging unit(240). The beam splitter splits beam from the light source to the surface of an object(P) and a reflector(230). The projection unit projects the beam from the light source to the beam splitter. The imaging unit captures a beam pattern overlapped from the inspection surface and the reflector. Defects in the object are detected by measuring a three-dimensional shape of the object from the captured image. The projection unit includes a display control unit(211) controlling the brightness of the beam projected to the beam splitter according to pixel. The reflector includes a display control unit(231) complementarily controlling brightness with respect to the brightness of the projection unit.
    • 提供一种用于检查三维形状的装置和使用其的检查方法,以通过使用用于相对于每个像素的反射率互补地控制亮度的显示控制单元来提高图像的精度。 用于检查三维形状的装置包括光源(200),分束器(220),投影单元(210)和成像单元(240)。 分束器将光束从光源分离到物体(P)的表面和反射器(230)。 投影单元将光束从光源投影到分束器。 成像单元捕获从检查表面和反射器重叠的束图案。 通过从捕获的图像测量物体的三维形状来检测物体中的缺陷。 投影单元包括控制根据像素投射到分束器的光束的亮度的显示控制单元(211)。 反射器包括相对于投影单元的亮度互补地控制亮度的显示控制单元(231)。
    • 70. 发明授权
    • 반도체 소자의 분류 방법
    • 半导体器件的分类方法
    • KR100705652B1
    • 2007-04-09
    • KR1020050077997
    • 2005-08-24
    • (주) 인텍플러스
    • 강민구이현민이상윤임쌍근
    • H01L21/66
    • 본 발명은 비전 검사가 완료된 반도체 소자의 양,불량품을 신속하게 분류하도록 하는 반도체 소자의 분류 방법에 관한 것이다.
      이를 위하여 본 발명은 동일 반도체 소자를 다수개 수납한 트레이의 외관을 비전 검사하고 비전 검사되어 분류부로 이송되는 트레이에 수납된 반도체 소자를 언로딩 트레이(TR1) 또는 불량품 트레이(TR3)로 분류하는 반도체 소자의 분류 방법에 있어서, 해당 랏(Lot)의 마지막 트레이가 비전 검사되어 분류부로 공급되면 해당 버퍼 트레이(TR2)의 불량품을 불량품 트레이(TR3)로 이송하고(S21) 불량품 이송이 완료되면 불량품 트레이(TR3)를 배출하는 단계와; 상기 해당 버퍼 트레이(TR2)의 양품 수와 상기 언로딩 트레이(TR1)에 남아 있는 양품 수를 상호 비교하는 단와; 상기 비교 결과 버퍼 트레이(TR2)의 양품수가 언로딩 트레이(TR1)의 양품수 보다 많을 경우 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩부로 이송하는데 소요되는 시간(T1)과 언로딩 트레이의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하고(T2) 버퍼 트레이(TR2)를 언로딩부로 배출하는데 소요되는 시간(T3)을 상호 비교하는 단계와; 상기 비교 결과 양품 수가 언로딩 트레이(TR1)에 더 많을 경우와 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩 트레이(TR1)로 이송하는데 소요되는 시간이 언로딩 트레이(TR1)의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하고 버퍼 트레이(TR2)를 언로딩부로 이송하는데 소요되는 시간보다 크지 않을 경우 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩 트레이(TR1)로 이송하는 단계와; 상기 비교 결과 버퍼 트레이(TR2)의 양품을 언로딩 트레이(TR1) 로 이송하는데 소요되는 시간이 언로딩 트레이(TR1)의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하고 버퍼 트레이(TR2)를 언로딩부로 이송하는데 소요되는 시간보다 클 경우 언로딩 트레이(TR1)의 양품을 버퍼 트레이(TR2)로 이송하는 단계를 포함한다.
      버퍼, 양품 수, 언로딩 트레이
    • 本发明涉及一种对半导体器件进行分类的方法,用于快速分类有缺陷和有缺陷的半导体元件。