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61. 发明专利

TW200414986A 大氣壓機械臂處理設備 ATMOSPHERIC ROBOT HANDLING EQUIPMENT 审中-公开
简体标题：大气压机械臂处理设备 ATMOSPHERIC ROBOT HANDLING EQUIPMENT
公开(公告)号：TW200414986A
公开(公告)日：2004-08-16
申请号：TW092131990
申请日：2003-11-14
申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
发明人：柯林約翰迪恩森 COLIN JOHN DICKINSON
IPC分类号： B25J , H01L
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67201
摘要：一種半導體製造工具，其具有兩個加載互鎖室，一個用於使半導體晶圓進入該工具以進行加工，且另一個用於使晶圓在被加工後離開該工具。該等加載互鎖室為新一代加載互鎖室，與先前技術之加載互鎖室相比，其能在更短時間內被排空或使其通風，且可允許高生產量。該工具聯合了三個大氣壓晶圓處理機械臂，以獲得由該等加載互鎖室所允許之高生產量。一機械臂將待加工之晶圓自供應源轉移至一晶圓預對準器，另一機械臂將晶圓自該晶圓預對準器轉移至該用於使晶圓進入該工具之加載互鎖室，且第三機械臂將加工後的晶圓自該用於使晶圓離開該工具之加載互鎖室轉移回該供應源。
简体摘要：一种半导体制造工具，其具有两个加载互锁室，一个用于使半导体晶圆进入该工具以进行加工，且另一个用于使晶圆在被加工后离开该工具。该等加载互锁室为新一代加载互锁室，与先前技术之加载互锁室相比，其能在更短时间内被排空或使其通风，且可允许高生产量。该工具联合了三个大气压晶圆处理机械臂，以获得由该等加载互锁室所允许之高生产量。一机械臂将待加工之晶圆自供应源转移至一晶圆预对准器，另一机械臂将晶圆自该晶圆预对准器转移至该用于使晶圆进入该工具之加载互锁室，且第三机械臂将加工后的晶圆自该用于使晶圆离开该工具之加载互锁室转移回该供应源。

62. 发明专利

TW200413079A 用於超臨界萃取之CO2回收方法 CO2 RECOVERY PROCESS FOR SUPERCRITICAL EXTRACTION 审中-公开
简体标题：用于超临界萃取之CO2回收方法 CO2 RECOVERY PROCESS FOR SUPERCRITICAL EXTRACTION
公开(公告)号：TW200413079A
公开(公告)日：2004-08-01
申请号：TW092127331
申请日：2003-10-02
申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
发明人：凱莉賴奇 KELLY LEITCH , 蓋文哈特甘 GAVIN HARTIGAN , 羅伯特德歐瑞塞歐 ROBERT D'ORAZIO
IPC分类号： B01D
CPC分类号： B01D53/04 , B01D53/261 , B01D2256/22 , B01D2257/704 , B01D2259/40001 , B01D2259/40086 , B08B7/0021 , Y10S62/928
摘要：用於超臨界萃取之二氧化碳回收裝置(1)及方法包含自超臨界萃取程序(60)供應方法流(61)，其中該方法流(61)包含經加壓之二氧化碳、萃取方法廢料及視需要至少一種共溶劑；降低該方法流之壓力至低於臨界壓力；通氣低壓力二氧化碳蒸氣(66)至排氣；冷卻該方法流以生成兩－相混合物；分離該兩－相混合物成為方法液體(71)(倘若共溶劑存在，則其包含共溶劑)、及方法汽相流(72)；收集該方法液體；過濾該方法汽相流(72)以移除粒子及視需要殘餘之共溶劑；將經過濾之方法蒸氣流(81)通過吸附器(85)以移除微量雜質，以生成經純化之二氧化碳蒸氣流(90)；及，乾燥該經純化之二氧化碳蒸氣流(90)以移除殘餘之水蒸氣。
简体摘要：用于超临界萃取之二氧化碳回收设备(1)及方法包含自超临界萃取进程(60)供应方法流(61)，其中该方法流(61)包含经加压之二氧化碳、萃取方法废料及视需要至少一种共溶剂；降低该方法流之压力至低于临界压力；通气低压力二氧化碳蒸气(66)至排气；冷却该方法流以生成两－相混合物；分离该两－相混合物成为方法液体(71)(倘若共溶剂存在，则其包含共溶剂)、及方法汽相流(72)；收集该方法液体；过滤该方法汽相流(72)以移除粒子及视需要残余之共溶剂；将经过滤之方法蒸气流(81)通过吸附器(85)以移除微量杂质，以生成经纯化之二氧化碳蒸气流(90)；及，干燥该经纯化之二氧化碳蒸气流(90)以移除残余之水蒸气。

63. 发明专利

TW200305935A 行進於軌道上的起飛蒸氣沉積系統 PLANETARY LIFT-OFF VAPOR DEPOSITION SYSTEM 审中-公开
简体标题：行进于轨道上的起飞蒸气沉积系统 PLANETARY LIFT-OFF VAPOR DEPOSITION SYSTEM
公开(公告)号：TW200305935A
公开(公告)日：2003-11-01
申请号：TW092105908
申请日：2003-03-18
申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
发明人：張賓 PING CHANG , 葛芮格瓦林斯 GREGG WALLACE , 陸西 J 喜爾 RUSSELL J. HILL , 克芮斯肯農柏格 CRIS KRONEBERGER , 賓克尼 A 喬伊史密斯 PINKNEY A. JOEL SMITH
IPC分类号： H01L
CPC分类号： C23C14/505 , C23C14/30
摘要：本發明揭示一種物理蒸氣沈積塗層系統，用以產生垂直起飛塗層。該系統包含圍繞源（source）中心線及另一旋轉軸旋轉的多個圓頂，以便保證一均勻塗層並利用大部份從該源所蒸發的材料。
简体摘要：本发明揭示一种物理蒸气沉积涂层系统，用以产生垂直起飞涂层。该系统包含围绕源（source）中心线及另一旋转轴旋转的多个圆顶，以便保证一均匀涂层并利用大部份从该源所蒸发的材料。

64. 发明专利

TWI393803B 用於使用溶液為主先質以供原子層沉積之方法及裝置有权
简体标题：用于使用溶液为主先质以供原子层沉积之方法及设备
公开(公告)号：TWI393803B
公开(公告)日：2013-04-21
申请号：TW095115406
申请日：2006-04-28
申请人： BOC集團公司 , THE BOC GROUP, INC.
发明人：榭馬 , MA, CE , 王清民 , WANG, QING MIN , 派翠克J 黑利 , HELLY, PATRICK J. , 理察侯枸 , HOGLE, RICHARD
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/52
CPC分类号： C23C16/45544 , C23C16/448 , C23C16/45525 , Y10T428/8305

65. 发明专利

TW200827291A 氣體混合裝置及使用方法 GAS MIXING DEVICE AND METHODS OF USE 审中-公开
简体标题：气体混合设备及使用方法 GAS MIXING DEVICE AND METHODS OF USE
公开(公告)号：TW200827291A
公开(公告)日：2008-07-01
申请号：TW096135620
申请日：2007-09-21
申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
发明人：李夫大衛朶夫 DAVYDOV, LEV , 江偉斌 JIANG, WEIBIN , 傑森諾曼 NORMAN, JASON , 布魯斯厄爾曼 UHLMAN, BRUCE
IPC分类号： C01B , B01J
CPC分类号： C01B3/386 , B01J4/002 , C01B2203/0261 , C01B2203/1023 , C01B2203/1276
摘要：本發明提供一種氣體混合裝置及其在一催化部分氧化反應器中之用途。該氣體混合裝置通常為諸如文氏管型引入器之引入器,其將混合用於催化部分氧化製程中之進料氣體。可依次使用兩個氣體混合裝置。
简体摘要：本发明提供一种气体混合设备及其在一催化部分氧化反应器中之用途。该气体混合设备通常为诸如文氏管型引入器之引入器,其将混合用于催化部分氧化制程中之进料气体。可依次使用两个气体混合设备。

66. 发明专利

TW200807477A 電子束槍 ELECTRON BEAM GUN 审中-公开
简体标题：电子束枪 ELECTRON BEAM GUN
公开(公告)号：TW200807477A
公开(公告)日：2008-02-01
申请号：TW096106542
申请日：2007-02-26
申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
发明人：克瑞斯凱斯克隆柏格 KRONEBERGER, CRIS KEITH , 平張 CHANG, PING
IPC分类号： H01J
CPC分类号： H01J37/065 , H01J3/027 , H01J37/07 , H01J2237/06308 , H01J2237/3132
摘要：本發明揭示一種電子束槍,其具有一作為一大的陰極塊之一整體部分的拱形射束形成器且具有一為了改良之對準而安裝至該陰極塊之長絲,該大的陰極塊引導熱量遠離該射束形成器。
简体摘要：本发明揭示一种电子束枪,其具有一作为一大的阴极块之一整体部分的拱形射束形成器且具有一为了改良之对准而安装至该阴极块之长丝,该大的阴极块引导热量远离该射束形成器。

67. 发明专利

TW200745479A 液體施配系統 LIQUID DISPENSE SYSTEM 审中-公开
简体标题：液体施配系统 LIQUID DISPENSE SYSTEM
公开(公告)号：TW200745479A
公开(公告)日：2007-12-16
申请号：TW096107384
申请日：2007-03-03
申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
发明人：班哲明R. 羅勃茲 ROBERTS, BENJAMIN R.
IPC分类号： F17D , B67D , B24B
CPC分类号： B24B57/02 , B24B37/04
摘要：本發明提供一種用於經由一施配迴路而將液體供應至需要此液體之工具的系統、裝置及方法。特定言之,本發明提供一種用於將液體或研磨漿供應至一半導體製造過程之CMP(化學機械研磨法)工具的系統、裝置及方法。根據本發明,藉由在該施配迴路中使用與流量感測器或壓力感測器結合之泵來控制流動速率及壓力,而將液體以一致的流動速率及壓力輸送至該等工具。
简体摘要：本发明提供一种用于经由一施配回路而将液体供应至需要此液体之工具的系统、设备及方法。特定言之,本发明提供一种用于将液体或研磨浆供应至一半导体制造过程之CMP(化学机械研磨法)工具的系统、设备及方法。根据本发明,借由在该施配回路中使用与流量传感器或压力传感器结合之泵来控制流动速率及压力,而将液体以一致的流动速率及压力输送至该等工具。

68. 发明专利

TW200720853A 製備超高純度水之方法與設備 A METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING ULTRA-HIGH PURITY WATER 审中-公开
简体标题：制备超高纯度水之方法与设备 A METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING ULTRA-HIGH PURITY WATER
公开(公告)号：TW200720853A
公开(公告)日：2007-06-01
申请号：TW095138327
申请日：2006-10-18
申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
发明人：奈吉爾溫登 WENDEN, NIGEL
IPC分类号： G03F , C02F
CPC分类号： B01D19/0031 , B01D2317/08 , C02F1/001 , C02F1/20 , C02F1/32 , C02F1/42 , C02F1/441 , C02F1/444 , C02F9/005 , C02F2103/04
摘要：本發明係關於一種製備尤其用於浸漬式微影製程中之超純水的系統及方法。在本發明之一實施例中,提供一獨立使用點式櫃,該櫃可一直提供用於浸漬式微影設備之超純水。本發明亦係關於一種提供一具有一預定特殊折射率之材料至一浸漬式微影裝置之系統及方法。
简体摘要：本发明系关于一种制备尤其用于浸渍式微影制程中之超纯水的系统及方法。在本发明之一实施例中,提供一独立使用点式柜,该柜可一直提供用于浸渍式微影设备之超纯水。本发明亦系关于一种提供一具有一预定特殊折射率之材料至一浸渍式微影设备之系统及方法。

69. 发明专利

TW200716785A 用於雙絲電弧噴塗塗層之應用的方法及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR THE APPLICATION OF TWIN WIRE ARC SPRAY COATINGS 审中-公开
简体标题：用于双丝电弧喷涂涂层之应用的方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR THE APPLICATION OF TWIN WIRE ARC SPRAY COATINGS
公开(公告)号：TW200716785A
公开(公告)日：2007-05-01
申请号：TW095127610
申请日：2006-07-28
申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
发明人：約翰吉柏特狄姆 DEEM, JOHN GILBERT , 勞柏特馬紐爾寇恩 COYNE, ROBERT MANUEL
IPC分类号： C23C
CPC分类号： H01J37/32871 , C23C4/131 , H01J37/32477 , Y10T428/12472
摘要：本發明揭示用於塗敷雙絲電弧噴塗複合物塗層以於具有預先決定之特徵的基板上達成表面效應之方法及裝置。
简体摘要：本发明揭示用于涂敷双丝电弧喷涂复合物涂层以于具有预先决定之特征的基板上达成表面效应之方法及设备。

70. 发明专利

TW200715754A 具嵌入式乙太網路以用於輔助配置裝置及該裝置與網路連接之自動化鏈之網路連結之裝置 DEVICE HAVING AN EMBEDDED ETHERNET NETWORKING AUTOMATED LINK FOR FACILITATING CONFIGURATION OF THE DEVICE AND CONNECTION OF THE DEVICE TO A NETWORK 审中-公开
简体标题：具嵌入式以太网以用于辅助配置设备及该设备与网络连接之自动化链之网络链接之设备 DEVICE HAVING AN EMBEDDED ETHERNET NETWORKING AUTOMATED LINK FOR FACILITATING CONFIGURATION OF THE DEVICE AND CONNECTION OF THE DEVICE TO A NETWORK
公开(公告)号：TW200715754A
公开(公告)日：2007-04-16
申请号：TW095130309
申请日：2006-08-17
申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP, INC.
发明人：湯瑪斯羅素 RUSSELL, THOMAS
IPC分类号： H04L
CPC分类号： H04L41/0806 , H04L29/12066 , H04L61/1511 , H04L61/2015
摘要：本發明揭示一種提供具有各種具體實施例以供嵌入一網路裝置中的乙太網路裝置之系統及方法。該乙太網路裝置係用於在一網路連結環境中配置及操作該網路裝置。依據具體實施例,該乙太網路裝置包括以下項目中的至少一項目:1)DHCP伺服器;2)DHCP用戶端;3)DNS伺服器,以及4)對上游或下游連接之偵測。該等DHCP與DNS伺服器係用於將該網路裝置連接至一用於配置該網路裝置之外部裝置。進一步,該DHCP伺服器與DHCP用戶端可用於將一IP位址指派給該網路裝置,此時該裝置係連接至一網路中。
简体摘要：本发明揭示一种提供具有各种具体实施例以供嵌入一网络设备中的以太网设备之系统及方法。该以太网设备系用于在一网络链接环境中配置及操作该网络设备。依据具体实施例,该以太网设备包括以下项目中的至少一项目:1)DHCP服务器;2)DHCP用户端;3)DNS服务器,以及4)对上游或下游连接之侦测。该等DHCP与DNS服务器系用于将该网络设备连接至一用于配置该网络设备之外部设备。进一步,该DHCP服务器与DHCP用户端可用于将一IP位址指派给该网络设备,此时该设备系连接至一网络中。

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