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    • 61. 发明专利
    • Hard film coated object and a method of manufacturing the same
    • JP2008545063A
    • 2008-12-11
    • JP2008519933
    • 2006-07-04
    • フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウFraunhofer−Gesellschaft zur Foerderung der angewandten Forschung e.V.
    • エントラー インゴルフ
    • C23C16/34B23B27/14
    • C23C30/005C23C16/34C23C28/044C23C30/00
    • 本発明は、少なくとも1のTi
      1-x Al
      x N硬質皮膜を有する単層または多層の層構造を有する硬質膜被覆された物体およびその製造方法に関する。 本発明は、このような硬質膜被覆された物体において、実質的に改善された耐摩耗性および耐酸化性を達成するという課題に基づいている。 本発明による硬質膜被覆された物体は、プラズマ励起を行わずにCVDにより生じる、x>0.75〜x=0.93の化学量論係数および0.412nm〜0.405nmの格子定数a
      fcc を有する立方晶NaCl構造の単層として存在するか、またはその主要な層が、x>0.75〜x=0.93の化学量論係数および0.412nm〜0.405nmの格子定数a
      fcc を有する立方晶NaCl構造を有するTi
      1-x Al
      x Nからなり、その際、別の層としてTi
      1-x Al
      x Nをウルツ鉱構造として、および/またはNaCl構造のTiN
      x として含有している多相の層である、少なくとも1のTi
      1-x Al
      x N硬質皮膜で物体が被覆されていることを特徴とする。 この硬質皮膜のもう1つの特徴は、塩素含有率が、わずか0.05〜0.9原子%の範囲内であることである。 物体を製造するために本発明は、物体を反応器中、700℃〜900℃の範囲の温度でプラズマ励起を行わないCVDにより被覆し、その際、前駆体として、チタンハロゲン化物、アルミニウムハロゲン化物、および反応性窒素化合物を使用し、これらの高温で混合することを特徴とする方法を含む。 本発明による被覆は特に、中ぐりバイト、フライスおよびスローアウェイチップのような鋼、超硬合金、サーメットおよびセラミックからなる工具において使用することができる。