专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

51. 发明专利

JP2008541093A System for the manufacture of a primary standard gas mixture 有权
公开(公告)号：JP2008541093A
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：JP2008511365
申请日：2006-05-11
申请人：プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド
发明人：ハイダーマン、ダグラス、チャールズ , マルチェフスキー、マーク、レオナルド
IPC分类号： G01N1/00
CPC分类号： G05D11/132 , B01F3/022 , B01F3/026 , F17C2265/025 , G01N33/0006 , Y10T137/86389 , Y10T436/10 , Y10T436/100833
摘要：提供されるのは、一次標準ガス混合物を製造するための新規のシステム及び装置２００である。このシステムは、温度制御された筐体２２０の中に一定の拡散速度を有するガス透過装置２１０を用意することと、透過装置２１０に成分の供給源２３０を連結することと、製品容器２９０の中で前記成分が所望の量に達するまでガス透過装置２１０から製品容器２９０に上述成分を送ることと、一次標準ガス混合物の中の既知の成分濃度を得るために製品容器２９０に精製されたバランス・ガスを供給することとを含む。

52. 发明专利

JP3880519B2 Cooling device and the aerosol generating system including the same 有权
公开(公告)号：JP3880519B2
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：JP2002528379
申请日：2001-09-19
申请人：ケー.シー.テックカンパニーリミテッドK.C.Tech Co.,Ltd.
发明人：セホキム
IPC分类号： B08B7/02 , B01F3/00 , B01F3/02 , B08B7/00 , B24C1/00 , C01B32/55 , F25B1/00 , F25B7/00 , F28D7/00 , F28D7/04 , F28D7/10 , H01L21/304
CPC分类号： B08B7/0092 , B01F3/0092 , B01F3/022 , B01F2003/0057 , B24C1/003 , F25B1/00 , F25B7/00 , F25B2309/06
摘要： The present invention relates a cooling device of the reverse Carnot cycle-type using a refrigerant, and an aerosol generation system including it. The cooling device includes a refrigerator of the reverse Carnot cycle-type, a cleaning medium conduit, a temperature sensor, and a heater. The intermediate portion of the cleaning medium conduit and the evaporator are wound like a coil in the same configuration so as to maximize the contacting area therebetween. The temperature sensor measures the temperature of the carbon dioxide discharged from the cooling device, and the heater is arranged to contact the evaporator of the refrigerator and the intermediate portion of the cleaning medium conduit so as to precisely adjust the liquefying rate of the carbon dioxide according to the temperature measured by the temperature sensor. The carbon dioxide is refrigerated at a temperature in the range of -80° C. to -100° C. through the cooling device, transformed into liquid phase.

53. 发明专利

JP2004528971A Membrane dryer 审中-公开
公开(公告)号：JP2004528971A
公开(公告)日：2004-09-24
申请号：JP2002581076
申请日：2002-04-08
申请人：アクリオン・エルエルシー
发明人：カシュコウシュ，イスマイル , ノバク，リチャード , マイランド，ラリー
IPC分类号： B01D61/36 , B01D71/32 , B01D71/34 , B01D71/36 , B01F3/02 , B01F3/04
CPC分类号： B01F3/022 , B01F3/04021
摘要：ガス流（２１）を少なくとも１個の疎水性チューブ（１１）を通して供給し、液体（１４）がチューブ（１１）に浸透しガス流（２１）に入るように、該チューブ（１１）の外側表面を液体（１４）に晒し、気−液蒸気（４１）をチューブ（１１）内に生成し、気−液蒸気（４１）をプロセス・タンク（６０）に運ぶことを含む、気−液蒸気（４１）をプロセス・タンク（６０）に供給するためのシステム。

54. 发明专利

JP2004524148A Manifold fluid delivery system 审中-公开
公开(公告)号：JP2004524148A
公开(公告)日：2004-08-12
申请号：JP2002567474
申请日：2002-02-28
申请人：ポーター・インストゥルメント・カンパニー・インコーポレイテッドPorter Instrument Company, Inc.
发明人：ジョージ・ケイ・ポーター , セス・ビー・ウルフ , チャールズ・ダブリュー・アルブレヒト
IPC分类号： B05B7/04 , B01F3/02 , B01F3/04 , B01F5/04 , B05B7/24 , C23C16/448 , F16K27/00 , F22B27/14 , F22B27/16 , G05D7/06 , H01L21/205
CPC分类号： F22B27/16 , B01F3/022 , B01F3/04049 , B01F5/0413 , B01F2215/0096 , B67D2210/0006 , C23C16/4481 , C23C16/4486 , F16K27/003 , F22B27/14 , Y10T137/87885
摘要：統合化流体配送システム（ＩＦＤＳ）（１５）が、半導体処理室のような処理目的地に、高純度流体流のような流体流を配送するために提供される。その配送システムは、シームレススロット（１８）に沿って高純度流体流を内部に導くための第１モジュラマニホールドを包含する。その第１モジュラマニホールドは、対応するポーティング開口（３０）において、各高純度流体流を受け入れる。流体コントローラ、バルブ、フィルタ及び圧力変換器で構成される一組からなる少なくとも一つの流体装置（１２）が提供される。その少なくとも一つの流体装置（１２）が、統合液体配送システムから半導体処理室へ高純度流体流を分配するために、第１モジュラマニホールドの高純度液体流のうちの対応する一つと流体結合している。

55. 发明专利

JP2003071332A Apparatus and method for supplying water 有权
标题翻译：装置和供水方法
公开(公告)号：JP2003071332A
公开(公告)日：2003-03-11
申请号：JP2001264627
申请日：2001-08-31
申请人： Lam Research Kk , ラムリサーチ株式会社
发明人： SAGANE YOICHI , NOJIRI KAZUO , KOBAYASHI NAOAKI , SAITO TERUO , NAKAJIMA SHU
IPC分类号： B01F3/02 , B01F3/04 , B01F5/04 , B05B7/04 , B05B7/06 , B08B3/00 , B08B3/02 , B08B3/10 , G03F7/42 , H01L21/00 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67051 , B01F3/022 , B01F3/04049 , B01F5/045 , B01F2215/0045 , B01F2215/0096 , B05B7/0433 , B05B7/0475 , B05B7/065 , B05B7/066 , B08B3/00 , B08B3/02 , G03F7/422 , Y10S134/902
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a water supplying apparatus which has high capacity for debonding/removing an unwanted substance on a resist film or the like and in which steam is used efficiently and to provide a water supplying method.
SOLUTION: This water supplying apparatus is used for cleaning, purifying or processing a subject and provided with a means for supplying steam and a means for supplying water mist containing particulates of liquid water. Steam and the water mist are supplied to the subject by controlling these two means independently.
COPYRIGHT: (C)2003,JPO
摘要翻译：要解决的问题：提供一种在抗蚀剂膜等上剥离/去除不需要的物质并且有效地使用蒸汽并提供供水方法的高容量的供水装置。解决方案：该供水装置用于清洗，净化或加工受试者并提供蒸汽供应装置和用于供应含有液态水微粒的水雾的装置。蒸汽和水雾通过独立地控制这两种方式提供给受试者。

56. 发明授权

KR100800390B1 워터가스 발생장치 失效
标题翻译：用于生成水气的装置
公开(公告)号：KR100800390B1
公开(公告)日：2008-02-04
申请号：KR1020060134882
申请日：2006-12-27
申请人： 손복수 , 허종현
发明人： 손복수 , 허종현
IPC分类号： C25B1/02
CPC分类号： C25B1/06 , B01D19/0031 , B01F3/022 , C25B15/08
摘要： An apparatus for generation of water gas is provided to increase purity of water gas by installing filter parts on top parts of an electrolyzer tank, a water tank and a hexane tank through which water gas generated from an electrolyzer passes, thereby removing water contained in the water gas while water gas in a bubble state passes through the filter parts in respective steps. An apparatus for generation of water gas includes: an electrolyzer(11) for supplying a power to both electrodes to electrolyze an electrolyte in an inner space of the electrolyzer; a cooling unit(12) for cooling heat generated from the electrolyzer; an electrolyzer tank(13) for supplying an electrolyte into the electrolyzer; a first filter part(14) for adsorbing water in water gas that has passed through the electrolyte of the electrolyzer tank; a water tank(15) in which water is filled, and through which water gas that has passed through the first filter part passes; a second filter part(16) for adsorbing water contained in the water gas that has passed through the water tank; an auxiliary filter(17) disposed together with the second filter part on a water gas moving line to completely remove water contained in the water gas; a hexane tank(18) in which a hexane solution is filled, and through which water gas that has passed through the second filter part passes; a third filter part(19) for adsorbing and removing water contained in the water gas that has passed through the hexane tank; a storage tank(20) for storing the water gas that has passed through the third filter part; a compressor(21) for forcibly injecting oxygen into the storage tank to compress the oxygen; an auxiliary storage tank(22) in which the water gas that has been extracted from the storage tank is compressed and stored through the compressor; an electrolyte supply pipe(23) for supplying water into the electrolyzer tank; a hexane supply pipe(24) for supplying a hexane solution into the hexane tank; and an oxygen generator(25) for supplying oxygen to the compressor.
摘要翻译：提供了一种用于产生水气的装置，以通过在电解槽，水箱和己烷罐的顶部安装过滤器部分来提高水气的纯度，电解槽产生的水气通过该过滤器，从而除去水中所含的水水气体，而气泡状态的水气体在各个步骤中通过过滤器部件。一种用于产生水气的装置包括：电解槽（11），用于向两个电极供电以电解电解槽的内部空间中的电解质; 用于冷却从电解器产生的热的冷却单元（12）; 用于将电解质供给到电解槽中的电解槽（13）用于吸附已经通过电解槽的电解液的水气中的水的第一过滤部分（14）; 其中填充有水的水箱（15），并且已经通过第一过滤器部分的水气通过; 第二过滤器部分（16），其用于吸收通过所述水箱的水气中包含的水; 辅助过滤器（17），其与第二过滤器部件一起设置在水气移动线上，以完全除去水气中所含的水; 己烷罐（18），其中填充有己烷溶液，通过第二过滤器部分的水气经过; 用于吸附和去除已经通过所述己烷罐的水气中所含的水的第三过滤器部件（19）; 储存罐（20），用于储存通过第三过滤器部分的水气; 压缩机（21），用于将氧气强制地注入到储罐中以压缩氧气; 辅助储罐（22），其中从储罐中提取的水气被压缩并通过压缩机储存; 用于向所述电解槽供给水的电解质供给管（23）己烷供给管（24），用于将己烷溶液供给到己烷罐中; 和用于向压缩机供氧的氧气发生器（25）。

57. 发明授权

KR100386217B1 액체재료 기화방법 및 장치 有权
标题翻译： 액체재료기화방법및장치
公开(公告)号：KR100386217B1
公开(公告)日：2003-06-02
申请号：KR1020000053937
申请日：2000-09-14
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 니시자토히로시 , 미야모토히데아키
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： B01F3/022 , B01D3/346 , C23C16/4481 , Y10S261/65
摘要： A method and an apparatus for gasifying a liquid material are described by which gasification of liquid material can be made efficiently and in stabilized state at all times. The invention comprises mixing a liquid material (LM) and a carrier gas (CG) while making flow control in a gas-liquid mixing unit (39) in a control valve (1) provided with a liquid flow control function, and discharging the resulting gas-liquid mixture (M) from the nozzle (42) formed in the vicinity of the flow control unit (39) to gasify the liquid material (LM) under reduced pressure.
摘要翻译：描述了一种用于气化液体材料的方法和设备，通过该方法和设备，液体材料的气化可以始终高效且稳定地进行。本发明包括在具有液体流量控制功能的控制阀（1）中的气液混合单元（39）中进行流量控制的同时混合液体材料（LM）和载气（CG），并且将得到的（39）附近形成的来自喷嘴（42）的气液混合物（M），以在减压下气化液体材料（LM）。＆lt;图像＆GT;

58. 发明授权

KR100385432B1 표면 세정용 에어로졸 생성 시스템 有权
标题翻译： 표면세정용에어로졸생성시스템
公开(公告)号：KR100385432B1
公开(公告)日：2003-05-27
申请号：KR1020000054910
申请日：2000-09-19
申请人： 주식회사 케이씨
发明人： 김세호 , 윤철남
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B08B7/0092 , B01F3/0092 , B01F3/022 , B01F2003/0057 , B24C1/003 , F25B1/00 , F25B7/00 , F25B2309/06
摘要： The present invention relates a cooling device of the reverse Carnot cycle-type using a refrigerant, and an aerosol generation system including it. The cooling device includes a refrigerator of the reverse Carnot cycle-type, a cleaning medium conduit, a temperature sensor, and a heater. The intermediate portion of the cleaning medium conduit and the evaporator are wound like a coil in the same configuration so as to maximize the contacting area therebetween. The temperature sensor measures the temperature of the carbon dioxide discharged from the cooling device, and the heater is arranged to contact the evaporator of the refrigerator and the intermediate portion of the cleaning medium conduit so as to precisely adjust the liquefying rate of the carbon dioxide according to the temperature measured by the temperature sensor. The carbon dioxide is refrigerated at a temperature in the range of -80° C. to -100° C. through the cooling device, transformed into liquid phase.
摘要翻译：本发明涉及一种使用制冷剂的逆卡诺循环型冷却装置以及包括它的气雾剂生成系统。该冷却装置包括逆卡诺循环式制冷机，清洁介质导管，温度传感器和加热器。清洁介质导管和蒸发器的中间部分以相同构造的线圈缠绕，以使它们之间的接触面积最大化。温度传感器测量从冷却装置排出的二氧化碳的温度，并且加热器布置成接触冰箱的蒸发器和清洁介质导管的中间部分，从而精确地调节二氧化碳的液化速率到由温度传感器测量的温度。二氧化碳在-80℃的温度下冷藏; C.至-100℃; C.通过冷却装置，转化为液相。

59. 发明公开

KR1020010030372A 액체재료 기화방법 및 장치 有权
标题翻译：用于气化材料的方法和装置
公开(公告)号：KR1020010030372A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020000053937
申请日：2000-09-14
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 니시자토히로시 , 미야모토히데아키
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： B01F3/022 , B01D3/346 , C23C16/4481 , Y10S261/65
摘要： PURPOSE: A method and an apparatus for gasifying a liquid material are provided by which gasification of liquid material can be made efficiently and in stabilized state at all times. CONSTITUTION: The apparatus comprises mixing a liquid material(LM) and a carrier gas(CG) while making flow control in a gas-liquid mixing unit(39) in a control valve provided with a liquid flow control function, and discharging the resulting gas-liquid mixture(M) from the nozzle(42) formed in the vicinity of the flow control unit(39) to gasify the liquid material(LM) under reduced pressure.
摘要翻译：目的：提供一种用于气化液体材料的方法和装置，其中液体材料的气化可以始终有效地并且处于稳定状态。构成：该装置包括在液体流动控制功能的控制阀中的气液混合单元（39）中进行流体控制的同时混合液体材料（LM）和载气（CG），并排出所得到的气体 - 液体混合物（M）从形成在流量控制单元（39）附近的喷嘴（42）在减压下气化液体材料（LM）。

60. 发明授权

KR101845580B1 액체 기화기 有权
标题翻译：液体汽化器
公开(公告)号：KR101845580B1
公开(公告)日：2018-04-04
申请号：KR1020137019682
申请日：2011-09-01
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고오케츠마사유키 , 이타후지히로시
IPC分类号： B01J7/02 , H01L21/027 , H01L21/304
CPC分类号： C23C16/4482 , B01B1/00 , B01B1/005 , B01D1/14 , B01F3/022 , C23C14/24 , H01L21/67017
摘要： 본발명은약액공급구로부터공급된약액을기화시켜서매체가스에혼합시키는액체기화기(100)를제공한다. 액체기화기(100)는혼합가스생성공간(116)을갖는기화기본체(110)와, 혼합가스생성공간(116)의내부에배치된기화부(120)를구비한다. 기화부(120)는기화면(87)이형성되어있는기화부(120) 본체와, 선재를그물눈형상으로규칙적으로짬으로써면 형상으로형성되어있는망 형상체(69)를갖는다. 망형상체(69)는선재에의해둘러싸여있는공간으로서, 망형상체(69)의면 내방향으로규칙적으로배열되어있는복수의그물눈공간을형성하고, 기화부(120)는망 형상체(69)와기화면(87)이서로접촉함으로써선재와기화면(87)에의해둘러싸여있는공간으로서, 망형상체(69)의면 내방향으로규칙적으로배열되어있는복수의약액공급공간을형성하고있다.
摘要翻译：本发明提供了一种液体蒸发器（100），用于蒸发从化学液体进料口供应的化学液体以与中等气体混合。液体蒸发器100包括具有气体混合物产生空间116的蒸发器主体110和设置在混合气体产生空间116内的蒸发部分120。汽化单元120具有汽化单元120的主体，在汽化单元120中形成基板屏幕87，网状体69通过规则地将网状材料拉成网状而形成为平面形状。网状体部69是由线材包围的空间，形成在网状体69的内方向规则地排列的多个网状空间。气化部120具有网状体69 以形成多个药液供应空间，所述多个药液供应空间在网状体69的面内方向上规则地布置为由线材和基底屏87包围的空间。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式