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51. 发明专利

DE102009000528A1 Inspektionsvorrichtung und -verfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen, insbesondere von Waferoberflächen 未知
公开(公告)号：DE102009000528A1
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：DE102009000528
申请日：2009-01-30
申请人： NANOPHOTONICS AG
发明人： WENZ HOLGER
IPC分类号： G01N21/95
摘要： Die Erfindung betrifft eine Inspektionsvorrichtung sowie ein Inspektionsverfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen (12), insbesondere von Waferoberflächen (12), bei dem die Objektoberfläche (12) von einer ersten und einer zweiten Beleuchtungseinrichtung (20, 30) beleuchtet und mit einem im Dunkelfeld der ersten und zweiten Beleuchtungseinrichtung (20, 30) operierenden Streulichtdetektor (80, 80', 90, 90') das von Unregelmäßigkeiten der Objektoberfläche (12) reflektierte Licht erfasst wird, wobei die erste Beleuchtungseinrichtung (20) einen Laser (20') zur Ausleuchtung eines Messpunktes auf der Oberjektoberfläche (12) aufweist. Die zweite Beleuchtungseinrichtung (30) ist eingerichtet, unter Verwendung von Licht geringerer Kohärenz und/oder mit geringerer Anisotropie als der Laser (20) denselben Messpunkt auf der Objektoberfläche (12) mit einem größeren Strahlfleck auszuleuchten.

56. 发明专利

DE10237477A1 未知
公开(公告)号：DE10237477A1
公开(公告)日：2003-11-06
申请号：DE10237477
申请日：2002-08-16
申请人： NANOPHOTONICS AG
发明人： ABRAHAM MICHAEL , LANG ANDREAS , SCHWEIGER MICHAEL
IPC分类号： G01F23/284 , G01N21/21 , G01N21/47 , G01N21/95 , G01Q30/02 , G01Q60/00 , G01N21/89
摘要： In view of the miniaturization of semiconductor components, the prevention of particles and other defects on the wafer surface during production is of great importance. The inspection should proceed as process-oriented as possible. For this purpose, devices are needed which on the one hand, are of very compact construction, while on the other hand, they still are equipped with measuring systems meeting the highest requirements. The device according to the invention for measuring surface defects, comprising a sample holder, a rotation drive for the sample holder, wherein the rotational axis runs perpendicular to the sample surface to be measured, an optical measuring system ( 10 ) for measuring scattered light, as well as at least one linear drive ( 23 ) for the measuring system, wherein the rotational direction is radial to the rotational axis of the sample holder, is capable of scanning the entire sample surface ( 16 ). By moving not only the sample, but also the measuring system, the need for space as a whole is reduced and the total device can be constructed with a more compact design.

58. 发明专利

DE19816974C1 Device to identify relative position of sample to be tested 未知
公开(公告)号：DE19816974C1
公开(公告)日：2000-01-13
申请号：DE19816974
申请日：1998-04-17
申请人： NANOPHOTONICS AG
发明人： ABRAHAM MICHAEL , DEPNER OLIVER , EBERHARDT MATTHIAS
IPC分类号： G01B11/03 , G01B11/26 , G01J4/00 , G01B11/00 , G01B11/14
摘要： The device has a light source (21) and optical elements (22,23), with which two beams (27a,27b) are deflectable on the surface of a sample (1) to be tested. Two position-responsive detectors are provided, which measure the light reflected from the sample surface. The first detector (24) is provided to measure the amount of tilting of the sample. The second detector (25) is provided to measure the sample distance.

59. 发明专利

DE102006045866B4 Halte- und Drehvorrichtung für berührungsempfindliche ebene Objekte 未知
公开(公告)号：DE102006045866B4
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：DE102006045866
申请日：2006-09-28
申请人： NANOPHOTONICS AG
发明人： SIEBERT SOENKE , DREWS DIETRICH , WENZ HOLGER
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/687

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