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    • 51. 发明授权
    • Method and apparatus for simultaneous high-speed acquisition of multiple images
    • 同时高速采集多幅图像的方法和装置
    • US07528943B2
    • 2009-05-05
    • US11318715
    • 2005-12-27
    • David L. BrownYung-Ho Chuang
    • David L. BrownYung-Ho Chuang
    • G01N21/00
    • G01N21/95607
    • A method and apparatus for simultaneous high-speed inspection and acquisition of multiple data channels is provided. The method and apparatus enables inspecting semiconductor wafers and reticles and comprises converting a single image region into two image sections, reorienting one image into a transposed configuration enabling simultaneous scanning of two inspected object locations with a single sensor, and controlling acquisition parameters for a second image by using information collected from a first image in a feedback arrangement. The design provides a dual-linear or time-delay-integration sensor operating in a split readout configuration mode to simultaneously provide data from two regions of the sensor using two sets of readout circuitry.
    • 提供了用于同时高速检查和获取多个数据信道的方法和装置。 该方法和装置能够检测半导体晶片和标线,并且包括将单个图像区域转换成两个图像部分,将一个图像重新定向为转置配置,使得能够利用单个传感器同时扫描两个检查对象位置,并且控制第二图像的获取参数 通过使用从反馈安排中的第一图像收集的信息。 该设计提供了以分离读出配置模式工作的双线性或时间延迟积分传感器,以使用两组读出电路同时从传感器的两个区域提供数据。